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本发明的布线具有层叠结构，它包括具有第一宽度的第一导电层（第一层），由选自Ｗ和Ｍｏ，或主要含该元素的合金或化合物的一种或多种元素制成；低阻的第二导电层（第二层），其具有小于第一宽度的第二宽度，由主要含Ａｌ的合金或化合物制成；及第三导电层（第...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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