配线基板的制造方法及电子设备技术

技术编号:3727232 阅读:111 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种配线基板的制造方法,其中具有包括对基体上成膜区域实施表面处理的第1表面处理工序、在上述成膜区域内配置第1液体材料,以形成配线图案的配线形成工序、对上述成膜区域实施再次表面处理的第2表面处理工序、和向上述配线图案间隙中配置第2液体材料,以形成绝缘膜的绝缘膜形成工序的配线层形成工序,上述绝缘膜形成工序中的上述第2液体材料和上述成膜区域的亲和性,比上述配线形成工序中的第1液体材料和上述成膜区域的亲和性还大。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及配线基板的制造方法以及电子设备。
技术介绍
在构成电子设备的配线图案的形成中,例如使用光刻法。然而,光刻法不仅需要真空装置等大型设备和复杂的工序,而且材料的使用效率只有百分之几,绝大部分材料不得不被废弃掉,制造成本高。进而,配线图案的细微化存在限制。因此,作为取代光刻法的工艺,研制了一种向基体材料上喷射含有功能性材料的液体,直接描绘形成配线图案的方法(液滴喷射方式)。该方法,例如,如美国专利第5132248号说明书中揭示的,首先由液滴喷头向基板上喷射使导电性微粒分散了的液体,形成液状线。接着通过热处理或照射激光,烧结液状线,形成配线图案。根据这种液滴喷射方式,由于可以简化制造工序,提高材料使用效率,所以能降低制造成本。并能使配线图案细微化。然而,近年来,构成电子设备的电路的高密度化越来越发展,对于构成电路的配线图案也更加要求细微化、细线化。然而,利用上述液滴喷射方式的方法形成这种细微配线图案时,由于喷射的液滴着落在基板上后湿润扩展,所以为了准确、稳定地形成细微的配线图案,需要适当的表面控制。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决上述课题,提供一种能准确、稳定地形成细微的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种配线基板的制造方法,其特征在于,具有配线层形成工序,其中包括:对基体上的成膜区域实施表面处理的第1表面处理工序;在上述成膜区域内配置第1液体材料,形成配线图案的配线形成工序;对上述成膜区域再次实施表面处理的第2表 面处理工序;和向上述配线图案的间隙中配置第2液体材料,形成绝缘膜的绝缘膜形成工序;上述绝缘膜形成工序中的上述第2液体材料和上述成膜区域的亲和性,比上述配线形成工序中的第1液体材料和上述成膜区域的亲和性还大。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:上原升新馆刚樱田和昭
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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