部件安装装置制造方法及图纸

本发明专利技术即使在Ｘ轴框架与两个Ｙ轴之间的垂直度错位的情况下，也能可靠地再现垂直度，并且能够使原点传感器正常地发挥功能。在具有ＸＹ工作台的部件安装装置中，在ＹＬ轴框架（１２）及ＹＲ轴框架（１４）上，设有用于检测Ｘ轴框架（１０）的在Ｙ轴方向上的原点位置的原点传感器（２４）、（２８），而且在头部单元（１６）上附设有图像识别装置（３０），在基座面（３４）上安装带有与直角三角形的顶点对应的三个基准标记的垂直度基准板（Ｓ），通过上述图像识别装置（３０）对三个标记顺次进行图像识别，求出各标记在装置上的坐标值，由各坐标值算出Ｘ轴框架（１０）相对于Ｙ轴方向的垂直度的错位，根据该错位，驱动ＹＬ轴电动机或ＹＲ轴电动机，对Ｘ轴框架的垂直度进行修正。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种部件安装装置，特别是在具有包括X轴与两个Y轴的XY工作台的部件安装装置中，适合在调整X轴与Y轴的垂直度时使用的部件安装装置。
技术介绍
图7是将部件安装装置所采用的XY工作台抽出而表示的概略立体图，上述部件安装装置用于将电子部件安装在配线基板上。在该XY工作台上，X轴框架10，通过与滚珠丝杠或皮带组合的电动机、或线性电动机等(均未图示)，在左侧的YL轴框架12及右侧的YR轴框架14上被驱动。此外，在X轴框架10上，用于将电子部件安装在基板上的头部单元(head unit)16被设置成能够沿着该X轴框架10移动，并且设置成在YL轴框架12、YR轴框架14上，与X轴框架10一体地沿Y轴方向移动。X轴框架10的左右两端部分别由彼此独立的电动机驱动，其Y轴方向的位置分别通过YL位置传感器18及YR位置传感器20检测。同样地，头部单元16由X位置传感器22检测。这些位置传感器18、20、22，可使用线性编码器，该线性编码器平行地设置在分别对应的轴上。X轴框架10在Y轴方向的位置是这样获得的，即，通过X轴框架10在YL、YR的各轴框架12、14上移动，借助于上述位置传感器18、20检测变化量，因此，通过接通电源，可得知距离最初可驱动状态下的位置的相对位置。但是，由于无法知道装置(机械)内的绝对位置，所以，为了在固定于预定位置的基板上所确定的位置处正确地安装电子部件，必须准确地得到头部单元16、即X轴框架10在装置内所处位置。以往，作为获得该位置的装置，关于Y轴方向，如图中所示，在一个YL轴框架12上设置YL轴原点传感器24，以X轴框架10通过该传感器24的位置作为原点，来设定绝对的基准位置。头部单元16在X轴方向上的位置，也同样，以该头部单元16通过X轴框架10上所设置的X轴原点传感器26的位置作为原点。此外，借助于原点传感器来检测Y轴方向上的位置，例如在专利文献1中已经公开。一般，在部件安装装置(半导体制造装置)中，在安装电子部件时，有必要高精度地保持上述X轴框架10与YL轴框架12及YR轴框架14之间的垂直度、即X轴与左右Y轴正交的状态。假如，XY轴的垂直度不正确的情况下，由于坐标系不准确而引起的在搭载(安装)部件时的错位，或因X轴扭曲，而对左右Y轴电动机的驱动产生影响，在将头部单元16定位在目标位置上时，会产生调整(减振(damping))不良等影响。专利文献1日本特开平11-145694号公报即使通过上述原点传感器获得装置内的绝对基准位置，但由于装置会产生热变形，或者XY工作台的设置基座的水平度(标准(水準))不准确，将导致X轴与Y轴的垂直度错开。在这种情况下，即使用上述原点传感器检测出X框架，但由于坐标系不准确，所以会产生原点传感器不能正常发挥功能的问题。
技术实现思路
本专利技术就是为了解决上述以往的问题而提出的，其目的是提供一种部件安装装置，即使因装置的热变形等的任何原因，使X轴框架与两个Y轴框架之间的垂直度错开的情况下，也能正确地再现垂直度，能够使原点传感器正常地发挥功能。本专利技术的第一方面，一种部件安装装置，其具有平行配设的YL轴框架以及YR轴框架；X轴框架，通过相对应的YL轴电动机以及相对应的YR轴电动机，在上述YL轴框架以及YR轴框架上分别能够向Y轴方向移动；XY工作台，将用于把部件安装在基板上的头部单元以能够向X轴方向移动的方式搭载于上述X轴框架上，，其特征在于，具有图像识别装置，设置在上述头部单元上；垂直度基准板，附有至少包括与直角三角形的顶点对应的三个标记的多个基准标记，并且安装在上述XY工作台的基座面上；修正单元，使上述头部单元向XY方向移动，并通过上述图像识别装置依次图像识别上述三个标记，从进行该图像识别时的头部单元的位置，求出各个标记在装置上的坐标值，由所求得的三个标记的坐标值，算出上述X轴框架相对于Y轴方向的垂直度的错位，根据所算出的错位，驱动上述YL轴电动机和/或YR轴电动机，对上述X轴框架的垂直度进行修正。由此解决上述课题。另外，本专利技术的上述修正单元也可以根据由Y轴方向的标记坐标值求出的、垂直度基准板相对于绝对坐标系的Y轴的倾斜角度，和由X轴方向的标记坐标值求出的、X轴框架相对于垂直度基准板的倾斜角度这两个角度之间的差，来算出X轴框架相对于绝对坐标系的Y轴方向的垂直度的错位，从而可正确地算出垂直度的错位。另外，本专利技术还可以在上述YL轴框架及YR轴框架上分别设置原点传感器，上述修正单元也可以使上述X轴框架向上述原点传感器方向移动，检测各Y轴框架上的原点传感器，并且由上述垂直度基准板的三个标记的坐标值，算出上述两个原点传感器的相对于Y轴方向的垂直度的错位。因此，在拆卸了垂直度基准板的情况下，即使没有再度设置，也能测定X轴框架的倾斜度或进行原点位置恢复动作。另外，本专利技术的修正单元还可以预先保存上述X轴框架相对于Y轴方向的垂直度的错位与调整时间之间的相关数据，并根据通过上述图像识别算出的垂直度的错位，来调节安装时的调整时间。根据本专利技术，通过附设在头部单元上的图像识别装置，从安装在XY工作台的基座面上的垂直度基准板，对与直角三角形的顶点对应的三个标记分别进行图像识别，从识别各标记时的头部单元的位置，算出X轴框架的垂直度的错位，因此，可正确地修正并再现该X轴框架的垂直度。附图说明图1是表示本专利技术的一个实施方式的主要部分的示意概略立体图。图2是表示具有本实施方式的部件安装装置的控制装置的特征的方框图。图3是表示本实施方式的作用的线型图。图4是表示有关左右原点传感器的垂直度错位的图像的说明图。图5是表示基准板与垂直度错位的图像的线型图。图6是表示垂直度的错位所带来的影响的一个例子的图表。图7是示意地表示现有的部件安装装置的主要部分的概略立体图。标号说明10X轴框架，12YL轴框架，14YR轴框架，16头部单元，18YL位置传感器，20YR位置传感器，22X位置传感器，24YL轴原点传感器，26X轴原点传感器，28YR轴原点传感器，30图像识别装置，32基座部，34基座面，36脚部，40控制装置，42控制器(CPU)，46YL轴电动机，48YR轴电动机，50X轴电动机，52存储部，S垂直度基准板具体实施方式下面，参照附图，对本专利技术的实施例进行详细的说明。图1是将XY工作台的主要部分抽出而示意地表示的、相当于上述图7那样的立体图，上述XY工作台具有本专利技术的一实施方式的部件安装装置。本实施方式的XY工作台采用的结构是，在YR轴框架14上增加YR轴原点传感器28，而且在左右Y轴框架上分别设置有原点传感器。在头部单元16上附设有CCD照相机等图像识别装置(图像识别手段)30，能够图像识别后面详述的垂直度基准板S，除此之外，实质上与上述图7所示相同，因此在此省略了对其的详细说明。此外，这里，左右原点传感器24、28预先设置在沿着Y轴方向的直线上。在图2中，概括地表示了具有本实施方式的部件安装装置的控制装置。该控制装置40，除了通过由CPU等构成的控制器42，根据未图示的ROM或RAM等所输入的数据，来控制安装装置整体的以往的控制功能之外，还具有下文说明的修正单元。该修正单元，通过上述控制器42等实现，根据从上述YL位置传感器18、YR位置传感器20、X位置传感器22输入的各位置数本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种部件安装装置，具有：平行配设的ＹＬ轴框架以及ＹＲ轴框架；Ｘ轴框架，通过相对应的ＹＬ轴电动机以及相对应的ＹＲ轴电动机，在上述ＹＬ轴框架以及ＹＲ轴框架上分别能够向Ｙ轴方向移动；ＸＹ工作台，将用于把部件安装在基板上的头部单元以能够向Ｘ轴方向移动的方式搭载于上述Ｘ轴框架上，其特征在于，具有：图像识别装置，设置在上述头部单元上；垂直度基准板，附有至少包括与直角三角形的顶点对应的三个标记的多个基准标记，并且安装在上述ＸＹ工作台的基座面上；修正单元，使上述头部单元向ＸＹ方向移动，并通过上述图像识别装置依次图像识别上述三个标记，从进行该图像识别时的头部单元的位置，求出各个标记在装置上的坐标值，由所求得的三个标记的坐标值，算出上述Ｘ轴框架相对于Ｙ轴方向的垂直度的错位，根据所算出的错位，驱动上述ＹＬ轴电动机和／或ＹＲ轴电动机，对上述Ｘ轴框架的垂直度进行修正。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：加藤礼贵，东盛夫，
申请(专利权)人：重机公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]