六英寸硅片气动倒舟器制造技术

本发明专利技术公开了六英寸硅片气动倒舟器，包括机架、前机壳、后机壳、夹持机构、举升机构、倒片器座、操作台、控制按钮，其中前机壳与后机壳均环绕包裹于机架的外周并与其固定连接，操作台包括操作台座与操作台面，操作台座为长方形平板且其顶面固定连接有操作台面，操作台面的一端滑动连接有倒片器座，夹持机构包括气缸一、气缸二、带齿片托一组、带齿片托二组、倒片器夹具、气缸架、滑杆组，举升机构包括升降气缸、支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿，所述支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿均位于前机壳内，升降气缸位于后机壳内，本发明专利技术能自动将硅片在片筐于石英片舟之间倒换，降低操作员工的劳动强度，提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
六英寸硅片气动倒舟器


[0001]本专利技术涉及半导体器件芯片制造
，具体地，涉及六英寸硅片气动倒舟器。

技术介绍

[0002]半导体元器件生产行业中扩散工艺，硅片日常存储使用的是泰富龙材质片盒，在进行扩散工艺时使用的是石英片舟，所以硅片反复倒舟是日常操作人员必备工作，硅片在进行扩散工艺前后会反复两次将硅片在片舟与片盒之间倒舟，大量的人工操作会极大的影响生产效率，长时间的低头倒舟也会对操作人员的身体造成一定的伤害。
[0003]因此亟需一种设备能够替代现有设备操作员工手动操作，模拟操作员工的手动操作，降低操作员工的劳动强度，更好保证操作的一致性，减少人为因素对产品质量的影响，也避免了操作员工长时间机械性工作疲劳，从而保障了操作员工的身心健康。

技术实现思路

[0004]为克服上述现有技术的不足，本专利技术提供一种取缔操作员手动倒片动作的六英寸硅片气动倒舟器，每次将整盒硅片放置在倒舟器上，便能自动将硅片从片盒倒至石英片舟上，降低操作员工的劳动强度，提高生产效率，保证了操作人员的身体健康。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：
[0006]六英寸硅片气动倒舟器，包括机架、前机壳、后机壳、夹持机构、举升机构、倒片器座、操作台、控制按钮，所述前机壳与后机壳均环绕包裹于机架的外周并与其固定连接，且后机壳的高度高于前机壳的高度，所述前机壳的顶面与操作台固定连接，所述操作台包括操作台座与操作台面，所述操作台座为长方形平板且其顶面固定连接有操作台面，所述操作台面的一端滑动连接有倒片器座，所述夹持机构包括气缸一、气缸二、带齿片托一组、带齿片托二组、倒片器夹具、气缸架、滑杆组，所述气缸一、气缸二、气缸架、滑杆组均位于后机壳内，所述滑杆组包括两根平行并固定连接于机架上的滑杆，每根所述滑杆的两端各贯穿并滑动连接有一个气缸架，每两个同一高度的所述气缸架为一组，所述气缸一与气缸二的首尾两端分别与一组的气缸架固定连接，所述带齿片托一组包括两个带齿片托一，每个带齿片托一的侧面均固定连接于与其相对应的倒片器夹具的内侧，所述倒片器夹具的端部与相对应的气缸架固定连接，所述带齿片托二组包括两个带齿片托二，每个带齿片托二的侧面均固定连接于与其相对应的倒片器夹具的内侧，所述带齿片托一位于带齿片托二的正上方，所述后机壳的前面板的上部设有相平行的方孔，所述倒片器夹具每两个为一组从方孔内伸出，并将带齿片托一、带齿片托二露出前面板外，所述举升机构包括升降气缸、支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿，所述支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿均位于前机壳内，所述升降气缸位于后机壳内，所述支臂组包括两个支臂，所述两个支臂的底端分别固定连接于连板的两侧，所述每个支臂的顶端依次贯穿操作台座、操作台面，且均固定连接有一个倒片器呈片齿，所述导向杆竖直位于机架的下部且其两端均与机架固定连接，所述升降气缸竖直固定连接于机架上，且其活塞杆端与连板固定连接，所述导向套固定
连接于连板上且位于升降气缸活塞杆端的一侧，所述导向杆贯穿导向套并与其滑动连接，所述控制按钮包括安装于前机壳上的开始按钮、状态旋钮、暂停按钮、功能钮。
[0007]优选地，所述带齿片托一与带齿片托二的外形尺寸相同，所述带齿片托一设有二十五个齿，带齿片托二设有五十个齿，竖直方向相对应的带齿片托一与带齿片托二上的齿槽相互错开。
[0008]优选地，所述倒片器座的顶部设有一个凹槽，所述凹槽的底面对角分别设有两个长圆形凹陷，所述长圆形凹陷内嵌入有一个压块，所述压块固定连接有一个竖直的压杆，所述压杆贯穿倒片器座的底部并突出一定距离，所述倒片器座的底部两端各设有一个长条形凸起，所述操作台面上设有两条滑槽一，所述长条形凸起陷入滑槽一内，并与其滑动连接。
[0009]优选地，所述操作台面上位于滑槽一的内侧设有两个滑槽二，所述压杆下部陷入滑槽二内并与其滑动连接，所述两个滑槽二的末端各设有一个圆孔，所述两个圆孔之间的间距与两个压杆之间的间距相同，当倒片器座滑动到此位置时，压杆恰好陷入到圆孔中，用于对倒片器座的定位。
[0010]优选地，所述带齿片托一的齿槽位置与数量与倒片器呈片齿的齿槽位置与数量相同。
[0011]优选地，所述两个倒片器呈片齿之间的间距恰好和六寸片筐底部内侧间距相同，且倒片器呈片齿的齿槽数量和齿槽尺寸与六寸片筐内的齿槽数量和齿槽尺寸相同。
[0012]本专利技术的有益效果为：
[0013]本专利技术的六寸硅片气动倒舟器操作方便可靠，极大的减少人为因素对产品质量的影响，同时也避免了操作员工长时间机械性工作疲劳，从而保障了操作员工的身心健康，本专利技术定位准确，实现硅片的夹取精度高，不会损坏硅片。
附图说明
[0014]图1为本专利技术的结构示意图；
[0015]图2为本专利技术的内部结构示意图；
[0016]图3为本专利技术的俯视图；
[0017]图4为倒片器座的结构示意图；
[0018]图5实施例的示意图；
[0019]图6为本专利技术的气动控制原理图；
[0020]图中所示附图标记为：1
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机架、2
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前机壳、3
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后机壳、4
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倒片器座、5
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操作台座、6
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操作台面、7
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气缸一、8
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气缸二、9
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倒片器夹具、10
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气缸架、11
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滑杆、12
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带齿片托一、13
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带齿片托二、14
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前面板、15
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方孔、16
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升降气缸、17
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支臂、18
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导向杆、19
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导向套、20
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连板、21
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倒片器呈片齿、22
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开始按钮、23
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状态旋钮、24
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暂停按钮、25
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功能钮、26
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凹槽、27
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长圆形凹陷、28
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压块、29
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压杆、30
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长条形凸起、31
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滑槽一、32
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滑槽二、33
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圆孔、34
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六寸石英舟、35
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六寸片筐、36
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硅片
具体实施方式
[0021]以下结合附图对本设计方案进行详细说明。
[0022]如图1
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图6所示，六英寸硅片气动倒舟器，包括机架1、前机壳2、后机壳3、夹持机
构、举升机构、倒片器座4、操作台、控制按钮，其中前机壳2与后机壳3均环绕包裹于机架1的外周并与其固定连接，且后机壳3的高度高于前机壳2的高度，前机壳2的顶面与操作台固定连接，操作台包括操作台座5与操本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.六英寸硅片气动倒舟器，其特征在于，包括机架、前机壳、后机壳、夹持机构、举升机构、倒片器座、操作台、控制按钮，所述前机壳与后机壳均环绕包裹于机架的外周并与其固定连接，且后机壳的高度高于前机壳的高度，所述前机壳的顶面与操作台固定连接，所述操作台包括操作台座与操作台面，所述操作台座为长方形平板且其顶面固定连接有操作台面，所述操作台面的一端滑动连接有倒片器座，所述夹持机构包括气缸一、气缸二、带齿片托一组、带齿片托二组、倒片器夹具、气缸架、滑杆组，所述气缸一、气缸二、气缸架、滑杆组均位于后机壳内，所述滑杆组包括两根平行并固定连接于机架上的滑杆，每根所述滑杆的两端各贯穿并滑动连接有一个气缸架，每两个同一高度的所述气缸架为一组，所述气缸一与气缸二的首尾两端分别与一组的气缸架固定连接，所述带齿片托一组包括两个带齿片托一，每个带齿片托一的侧面均固定连接于与其相对应的倒片器夹具的内侧，所述倒片器夹具的端部与相对应的气缸架固定连接，所述带齿片托二组包括两个带齿片托二，每个带齿片托二的侧面均固定连接于与其相对应的倒片器夹具的内侧，所述带齿片托一位于带齿片托二的正上方，所述后机壳的前面板的上部设有相平行的方孔，所述倒片器夹具每两个为一组从方孔内伸出，并将带齿片托一、带齿片托二露出前面板外，所述举升机构包括升降气缸、支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿，所述支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿均位于前机壳内，所述升降气缸位于后机壳内，所述支臂组包括两个支臂，所述两个支臂的底端分别固定连接于连板的两侧，所述每个支臂的顶端依次贯穿操作台座、操作台面，且均固定连接有一个倒片器呈片齿，所述导向杆竖直位于机架的下部且其两端均与机架...

【专利技术属性】
技术研发人员：燕超，李伟，潘笑星，刘博宇，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：