【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆腐蚀检测，具体而言，涉及一种晶圆腐蚀检测装置。
技术介绍
1、超薄晶圆减薄后需要腐蚀去除多余硅厚度达到最终的厚度标准，为达到严格的晶圆厚度标准，需要晶圆腐蚀检测装置对每片腐蚀前晶圆与腐蚀后晶圆进行片测厚度。
2、现有技术中的晶圆腐蚀检测装置包括光学探头模块、采集模块、传输模块以及供电模块。光学探头模块用于检测设置在腐蚀装置的俯视腔内的晶圆，在晶圆下方设置并半包覆晶圆的聚焦环，设置在聚焦环下方的静电吸盘，间隔晶圆并在晶圆上方设置的淋气头，淋气头包括至少两个喷淋孔洞。在工作状态下，基于光学探头模块所采集拍摄的淋气头图像确定两个喷淋孔洞的中心像素之间的相对距离、喷淋孔洞的孔内径的相对尺寸；基于喷淋孔洞的中心孔间距确定两个喷淋孔洞的中心孔间距的实际距离；确定每个喷淋孔洞的孔内径的实际尺寸，并基于实际尺寸判断淋气头内喷淋孔洞的腐蚀程度，以确定检测晶圆在腐蚀过程中的厚度。该晶圆腐蚀检测装置通过光学探头模块可以实时地检测晶圆在腐蚀过程中的厚度，从而可以使晶圆更容易达到相应的厚度标准。
3、然而，现有技术中晶圆腐蚀检测装置中的光线探头模块的位置是固定的，因此，不便于光线探头模块检测晶圆不同部位的厚度，从而使得同一晶圆不同部位的厚度一致性较差。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种晶圆腐蚀检测装置，旨在解决现有技术中晶圆腐蚀检测装置中探头的位置固定，从而不便于探头模块检测晶圆不同部位的厚度的技术问题。
2、为解决上述技术问题，本申请提供了一
3、第一支撑板；所述第一支撑板安装在所述腐蚀装置的腐蚀平台上，所述腐蚀平台上开有腐蚀腔，所述第一支撑板上开有位于竖直方向的第一滑动槽；
4、竖直升降机构；部分所述竖直升降机构安装在所述腐蚀平台的顶面，部分所述竖直升降机构延伸至所述第一滑动槽内；
5、第一水平调节机构；所述第一水平调节机构安装在所述竖直升降机构上；
6、探头；所述探头安装在所述第一水平调节机构上，所述探头对准所述腐蚀腔，以检测安装在所述腐蚀腔内的晶圆的厚度。
7、在一种可能的实施方式中，所述竖直升降机构包括安装在所述腐蚀平台顶面的升降电机，所述升降电机的电机轴上安装有竖直螺杆，所述竖直螺杆上通过竖直螺母连接有位于水平方向的升降板，所述升降板的一端延伸至所述第一滑动槽内，所述升降板上开有位于所述腐蚀腔上方的检测通孔，所述探头通过所述检测通孔对准所述腐蚀腔。
8、在一种可能的实施方式中，所述第一水平调节机构包括相对安装在所述升降板顶面的两个第一安装板，两个所述第一安装板间通过轴承安装有第一水平螺杆，所述第一水平螺杆上通过第一水平螺母安装有第一水平滑动板，两个所述第一安装板间还安装有穿过所述第一水平滑动板的第一水平滑杆，所述升降板上还安装有与所述第一水平螺杆的一端连接的第一水平电机，所述探头安装在所述第一水平滑动板上。
9、在一种可能的实施方式中，所述检测装置还包括安装在所述第一水平滑动板上的第二水平调节机构，所述第二水平调节机构的调节方向与所述第一水平调节机构的调节方向相交，所述探头安装在所述第二水平调节机构上。
10、在一种可能的实施方式中，所述第二水平调节机构包括安装在所述升降板顶面的滑动组件，所述滑动组件沿第一水平调节机构调节的方向滑动；
11、所述滑动组件上安装有第二安装板，所述第一水平滑动板的顶面安装有第三安装板，所述第三安装板与所述第二安装板间通过轴承安装有第二水平螺杆，所述第二水平螺杆上通过第二水平螺母安装有第二水平滑动板，所述第二安装板与所述第三安装板间还安装有穿过所述第二水平滑动板的第二水平滑杆，所述第一水平滑动板上还安装有与所述第二水平螺杆的端部连接的第二水平电机，所述探头安装在所述第二水平滑动板上。
12、在一种可能的实施方式中，所述滑动组件包括相对安装在所述升降板顶面的两个第四安装板，两个所述第四安装板间安装有第三水平滑杆，所述第三水平滑杆上安装有滑块，所述第二安装板安装在所述滑块上，所述滑块沿第一水平调节机构调节的方向滑动。
13、在一种可能的实施方式中，所述检测装置还包括安装在所述第二水平滑动板上的角度调节机构，所述探头安装在所述角度调节机构上。
14、在一种可能的实施方式中，所述角度调节机构包括相对安装在所述第二水平滑动板顶面的两个第五安装板，两个所述第五安装板间通过轴承安装有旋转杆，所述旋转杆上安装有角度调节块，所述探头安装在所述角度调节块上，所述第二水平滑动板的顶面还安装有与所述旋转杆的一端连接的角度调节电机。
15、在一种可能的实施方式中，所述腐蚀平台的顶面还安装有与所述第一支撑板相对设置的导向组件。
16、在一种可能的实施方式中，所述导向组件包括第二支撑板和竖直滑杆；
17、所述第二支撑板安装在所述腐蚀平台的顶面且与所述第一支撑板相对设置，所述第二支撑板上安装有位于竖直方向的第二滑动槽，所述升降板的另一端延伸至所述第二滑动槽内，所述竖直滑杆安装在所述腐蚀平台的顶面且穿过所述升降板。
18、相对于现有技术而言，本申请具有以下有益效果：
19、本申请实施例提出的一种晶圆腐蚀检测装置，通过竖直升降机构可以调节探头与晶圆在竖直方向的相对位置，通过第一水平调节机构可以调节探头与晶圆在第一水平调节机构调节方向的相对位置，从而可以调节探头检测晶圆不同部位的厚度，进而可以使同一晶圆不同部位的厚度的一致性更好。
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1.一种晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述竖直升降机构包括安装在所述腐蚀平台(1)顶面的升降电机(2)，所述升降电机(2)的电机轴上安装有竖直螺杆(5)，所述竖直螺杆(5)上通过竖直螺母(41)连接有位于水平方向的升降板(4)，所述升降板(4)的一端延伸至所述第一滑动槽(31)内，所述升降板(4)上开有位于所述腐蚀腔(1001)上方的检测通孔(42)，所述探头(8)通过所述检测通孔(42)对准所述腐蚀腔(1001)。
3.根据权利要求2所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述第一水平调节机构(6)包括相对安装在所述升降板(4)顶面的两个第一安装板(65)，两个所述第一安装板(65)间通过轴承安装有第一水平螺杆(63)，所述第一水平螺杆(63)上通过第一水平螺母(61)安装有第一水平滑动板(64)，两个所述第一安装板(65)间还安装有穿过所述第一水平滑动板(64)的第一水平滑杆(62)，所述升降板(4)上还安装有与所述第一水平螺杆(63)的一端连接的第一水平电机(66)，所述探头(8)
4.根据权利要求3所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括安装在所述第一水平滑动板(64)上的第二水平调节机构(7)，所述第二水平调节机构(7)的调节方向与所述第一水平调节机构(6)的调节方向相交，所述探头(8)安装在所述第二水平调节机构(7)上。
5.根据权利要求4所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述第二水平调节机构(7)包括安装在所述升降板(4)顶面的滑动组件(10)，所述滑动组件(10)沿第一水平调节机构(6)调节的方向滑动；
6.根据权利要求5所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述滑动组件(10)包括相对安装在所述升降板(4)顶面的两个第四安装板(101)，两个所述第四安装板(101)间安装有第三水平滑杆(102)，所述第三水平滑杆(102)上安装有滑块(103)，所述第二安装板(76)安装在所述滑块(103)上，所述滑块(103)沿第一水平调节机构(6)调节的方向滑动。
7.根据权利要求5所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括安装在所述第二水平滑动板(75)上的角度调节机构(9)，所述探头(8)安装在所述角度调节机构(9)上。
8.根据权利要求7所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述角度调节机构(9)包括相对安装在所述第二水平滑动板(75)顶面的两个第五安装板(91)，两个所述第五安装板(91)间通过轴承安装有旋转杆(94)，所述旋转杆(94)上安装有角度调节块(92)，所述探头(8)安装在所述角度调节块(92)上，所述第二水平滑动板(75)的顶面还安装有与所述旋转杆(94)的一端连接的角度调节电机(93)。
9.根据权利要求2-8任意一项所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述腐蚀平台(1)的顶面还安装有与所述第一支撑板(3)相对设置的导向组件。
10.根据权利要求9所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述导向组件包括第二支撑板(11)和竖直滑杆(12)；
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述竖直升降机构包括安装在所述腐蚀平台(1)顶面的升降电机(2)，所述升降电机(2)的电机轴上安装有竖直螺杆(5)，所述竖直螺杆(5)上通过竖直螺母(41)连接有位于水平方向的升降板(4)，所述升降板(4)的一端延伸至所述第一滑动槽(31)内，所述升降板(4)上开有位于所述腐蚀腔(1001)上方的检测通孔(42)，所述探头(8)通过所述检测通孔(42)对准所述腐蚀腔(1001)。
3.根据权利要求2所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述第一水平调节机构(6)包括相对安装在所述升降板(4)顶面的两个第一安装板(65)，两个所述第一安装板(65)间通过轴承安装有第一水平螺杆(63)，所述第一水平螺杆(63)上通过第一水平螺母(61)安装有第一水平滑动板(64)，两个所述第一安装板(65)间还安装有穿过所述第一水平滑动板(64)的第一水平滑杆(62)，所述升降板(4)上还安装有与所述第一水平螺杆(63)的一端连接的第一水平电机(66)，所述探头(8)安装在所述第一水平滑动板(64)上。
4.根据权利要求3所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括安装在所述第一水平滑动板(64)上的第二水平调节机构(7)，所述第二水平调节机构(7)的调节方向与所述第一水平调节机构(6)的调节方向相交，所述探头(8)安装在所述第二水平调节机构(7)上。
5.根据权利要求4所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：周锋，孙宏斌，张佳鑫，王斌，边绍成，孟鹤，邢文超，耿智蔷，常影，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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