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本申请公开了一种晶圆腐蚀检测装置，涉及晶圆腐蚀检测技术领域。用于解决现有技术中不便于探头模块检测晶圆不同部位的厚度的问题。所述检测装置包括第一支撑板、竖直升降机构、第一水平调节机构和探头，第一支撑板竖直安装在腐蚀装置的腐蚀平台上，腐蚀平台上...
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