一种SOG匀胶机加液装置制造方法及图纸

本技术提出了一种SOG匀胶机加液装置，属于匀胶机技术领域。解决了现有的匀胶机需要对废胶进行多次收集，影响生产效率的问题。它包括压力罐、胶瓶、出胶管、空气阀、胶盘和废胶罐，所述胶瓶放置在压力罐内，所述压力罐上端开设有进气口、排气口和出胶口，所述进气口与氮气管道相连，所述排气口与第一排气管相连，所述出胶管通过出胶口插入胶瓶内部，所述出胶管上设置有空气阀和排胶球阀，所述排胶球阀与排胶管相连，所述出胶管下方设置有胶盘，所述胶盘底端开设有废胶管和第二排气管，所述排胶管和废胶管均与废胶罐相连，所述废胶罐下方设置有托盘。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于匀胶机，特别是涉及一种sog匀胶机加液装置。

技术介绍

1、匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度；半导体功率器件工艺流程钝化时需要使用聚酰亚胺胶，该胶可以在硅片金属层表面形成一层钝化膜防止漏电击穿，防潮作用；还可以形成一层表面张力，在减薄时减少碎片；还可以在封装时提高可靠性。该胶分为光敏型和非光敏型。其中光敏型粘度在1500cp-3000cp左右，非光敏型粘度在800cp-1000cp左右。而现有的匀胶机大多是适用于粘度100cp以下的聚酰亚胺胶，现有的匀胶机难以适用目前的高粘度聚酰亚胺胶做片工艺流程，并且现有的匀胶机需要对废胶进行多次收集，影响生产效率。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术旨在提出一种sog匀胶机加液装置，以解决现有匀胶机难以适用目前的高粘度聚酰亚胺胶做片工艺流程，并且现有的匀胶机需要对废胶进行多次收集，影响生产效率的问题。

2、为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：它包括压力罐(4)、胶瓶、出胶管(7)、空气阀(8)、胶盘(10)和废胶罐(13)，所述胶瓶放置在压力罐(4)内，所述压力罐(4)上端开设有进气口、排气口和出胶口，所述进气口与氮气管道(1)相连，所述排气口与第一排气管(6)相连，所述出胶管(7)通过出胶口插入胶瓶内部，所述出胶管(7)上设置有空气阀(8)和排胶球阀，所述排胶球阀与排胶管(9)相连，所述出胶管(7)下方设置有胶盘(10)，所述胶盘(10)底端开设有废胶管(11)和第二排气管(12)，所述排胶管(9)和废胶管(11)均与废胶罐(13)相连，所述废胶罐(13)下方设置有托盘(15)。<...

【技术特征摘要】

1.一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：它包括压力罐(4)、胶瓶、出胶管(7)、空气阀(8)、胶盘(10)和废胶罐(13)，所述胶瓶放置在压力罐(4)内，所述压力罐(4)上端开设有进气口、排气口和出胶口，所述进气口与氮气管道(1)相连，所述排气口与第一排气管(6)相连，所述出胶管(7)通过出胶口插入胶瓶内部，所述出胶管(7)上设置有空气阀(8)和排胶球阀，所述排胶球阀与排胶管(9)相连，所述出胶管(7)下方设置有胶盘(10)，所述胶盘(10)底端开设有废胶管(11)和第二排气管(12)，所述排胶管(9)和废胶管(11)均与废胶罐(13)相连，所述废胶罐(13)下方设置有托盘(15)。

2.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述氮气管道(1)上沿氮气流动方向依次设置有减压阀(2)和压力表(3)。

3.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所述胶瓶内设置光敏聚酰亚胺胶。

4.根据权利要求1所述的一种sog匀胶机加液装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李兴后，宗宇，荆凯，初尚卿，赵一铭，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：