真空沉积系统、基板运输系统和运输基板通过真空腔室的方法技术方案

描述了一种用于涂覆基板的真空沉积系统(100)。所述真空沉积系统包括：第一真空腔室(101)；和基板运输系统(110)，所述基板运输系统具有多个运输辊(111)，所述多个运输辊沿载体运输路径(T)布置以用于运输基板载体(10)通过所述第一真空腔室。所述多个运输辊中的至少一个运输辊(120)或至少一个运输辊的外支撑层(122)是弹力安装的。具体地，所述至少一个运输辊可包括柔性层或柔性元件。进一步描述了一种基板运输系统和一种运输基板通过真空腔室的方法。方法。方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空沉积系统、基板运输系统和运输基板通过真空腔室的方法


[0001]本公开内容的实施方式涉及运输基板通过真空沉积系统的真空腔室。特别地，本公开内容的实施方式涉及一种基板运输系统，所述基板运输系统被配置为沿基板运输路径运输基板载体通过至少一个基板处理腔室，所述基板载体承载要涂覆的基板。另外的实施方式涉及一种运输基板通过真空沉积系统的真空腔室的方法以及一种具有基板运输系统的真空沉积系统。

技术介绍

[0002]表面加工、表面涂覆、表面活化/钝化和其他表面相关工艺是许多薄膜、蚀刻和表面活化技术的基础。作为一个示例，等离子体辅助表面工艺提供了一种用于活化、涂覆和/或蚀刻基板(诸如玻璃基板)的强力工具。在这些工艺期间，基板可移动通过真空沉积系统的若干真空模块。例如，基板可在装载腔室处进入真空沉积系统，可被运输到其中基板被涂覆一个或多个层的一个或多个真空处理腔室，并且之后可被运输到其中基板可离开真空沉积系统的卸载腔室。在行进通过真空腔室期间，基板可由承载基板的基板载体(本文也简称为“载体”)承载。
[0003]具体地，真空沉积系统可以是包括若干真空处理腔室的直列式(in
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line)系统，基板随后被运输通过这些真空处理腔室。一个或多个层可在真空处理腔室中被沉积在基板上。基板载体可由基板运输系统运输通过真空沉积系统，所述基板运输系统包括多个运输辊，在运输期间，在所述多个运输辊上至少部分地支撑基板载体的重量。
[0004]然而，在基板运输系统的运输辊上支撑和运输基板载体可能导致因在运输辊的外支撑层与基板载体之间的摩擦力而产生的小颗粒。这些小颗粒可能不利地影响沉积层的质量。另外，在运输辊上运输基板载体可能引起基板中的振动和材料张力，使得存在基板损坏或甚至破裂的风险，特别是在基板载体被不均地支撑在多个运输辊上或被支撑在未准确对准的运输辊上的情况下。
[0005]鉴于上文，提供一种用于运输基板载体通过真空沉积系统的基板运输系统将是有益的，所述基板运输系统允许平稳的载体运输，其中降低损坏基板和使基板破裂的风险。另外，提供一种适合于在真空沉积系统的真空环境中使用并且使得能够提高沉积质量的具有运输辊的基板运输系统将是有益的。

技术实现思路

[0006]鉴于上文，提供了一种用于涂覆基板的真空沉积系统、一种用于真空沉积系统的基板运输系统以及一种运输基板通过真空腔室的方法。本公开内容的另外的方面、优点和特征从描述和附图中明白易懂。
[0007]根据一个方面，提供一种用于涂覆基板的真空沉积系统。所述真空沉积系统包括：第一真空腔室；和基板运输系统，所述基板运输系统具有多个运输辊，所述多个运输辊沿基
板运输路径布置以用于运输基板载体通过第一真空腔室。多个运输辊中的至少一个运输辊、或至少一个运输辊的至少外支撑层是弹力安装的。替代地，至少一个运输辊的外支撑层可以是弹力层、特别是弹性层。
[0008]在一些实施方式中，多个运输辊中的每个运输辊是弹力安装的，或者多个运输辊中的每个运输辊具有弹力安装的外支撑层。替代地，多个运输辊中的每个运输辊具有作为弹力层的外支撑层。
[0009]换句话说，至少一个运输辊的外支撑层(即，在基板运输期间直接地支撑基板载体的辊层)可弹力安装。替代地，至少一个运输辊的包括外支撑层的若干层可弹力安装。替代地，整个运输辊可弹力安装。替代地，至少一个运输辊的外支撑层可以是弹性层。上述替代方案中的一些也可组合在一个实施方式内。
[0010]在一些实施方式中，可在至少一个运输辊的外支撑层下方提供柔性层，使得外支撑层可在重量载荷下弹性地向下移动并且当重量载荷移除时再次向上移动。这允许更平稳的基板载体运输。
[0011]根据另一方面，提供了一种用于真空沉积系统的基板运输系统。所述基板运输系统包括多个运输辊，所述多个运输辊沿基板运输路径布置以用于在所述多个运输辊上运输基板载体。多个运输辊中的至少一个运输辊包括柔性层或柔性元件，使得至少一个运输辊的外支撑层经由柔性层或柔性元件弹力安装。相应地，当在至少一个运输层的外支撑层上支撑基板载体时，所述外支撑层可在向下方向上弹性移动。
[0012]在一些实施方式中，多个运输层中的每个运输辊的外支撑层可弹力安装。替代地或附加地，整个运输辊、特别是多个运输辊中的每个运输辊可弹力安装。
[0013]根据另一个方面，提供了一种运输基板通过真空腔室的方法。所述方法包括将基板载体支撑在基板运输系统的多个运输辊中的两个、三个或更多个运输辊上，其中所述两个、三个或更多个运输辊中的至少一个运输辊或所述至少一个运输辊的至少外支撑层是弹力安装的，以用于在基板载体的重量载荷下在两个、三个或更多个运输辊上提供更均等的载荷分布。所述方法进一步包括在多个运输辊上运输基板载体通过真空腔室，特别是运输到在其中涂覆基板的沉积源。
[0014]根据一个方面，提供了一种在本文所述的真空沉积系统中制造涂经覆基板的方法。所述方法包括：用基板运输系统朝沉积源运输承载基板的基板载体通过真空沉积系统的真空腔室；和用沉积源在基板上沉积涂层。
[0015]实施方式还针对用于进行所公开的方法的设备并且包括用于执行每个所描述方法方面的设备部分。这些方法方面可借助于硬件部件、由适当软件编程的计算机、这两者的任何组合或以任何其他方式执行。另外，根据本公开内容的实施方式还针对用于制造所描述的设备和产品的方法、和操作所描述的设备的方法。所描述的实施方式包括用于执行所描述的设备的每一功能的方法方面。
附图说明
[0016]为了可详细地理解本公开内容的上文陈述的特征，可参考实施方式来得到上文简要地概述的本公开内容的更特别的描述。附图涉及本公开内容的实施方式并且被描述如下：
[0017]图1示出根据本文所述的实施方式的包括基板运输系统的真空沉积系统的示意图；
[0018]图2示出本文所述的基板运输系统的运输辊的示意性截面图，
[0019]图3A至图3C示出本文所述的基板运输系统的运输辊的示意性截面图；
[0020]图4示出本文所述的基板运输系统的运输辊的示意性截面图，
[0021]图5A至图5B示出本文所述的基板运输系统的运输辊的示意性截面图；
[0022]图6A至图6C示出本文所述的基板运输系统的运输辊的示意性截面图；并且
[0023]图7是图示根据本文所述的实施方式的运输基板通过真空腔室的方法的流程图。
具体实施方式
[0024]现在将详细地参考本公开内容的各种实施方式，各图中图示这些实施方式的一个或多个示例。在各图的以下描述内，相同的参考数字代表相同的部件。仅描述相对于单独实施方式的差异。每个示例以解释本公开内容的方式提供并且不意在作为本公开内容的限制。另外，被图示或描述为一个实施方式的部分的特征可在其他实施方式上或结合其他实施方式使用，以产生又一个实施方式。说明书旨在包括这样的修改和变化。
[0025]在各图的以下描述内，相同的参考数字代表相同或类似的部件。一般来讲，仅描述相对于单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于涂覆基板的真空沉积系统(100)，包括：第一真空腔室(101)；和基板运输系统(110)，所述基板运输系统具有多个运输辊(111)，所述多个运输辊沿基板运输路径(T)布置以用于运输基板载体(10)通过所述第一真空腔室，其中所述多个运输辊中的至少一个运输辊(120)或至少一个运输辊的至少外支撑层(122)是弹力安装的，或者其中至少一个运输辊的外支撑层是弹力层。2.根据权利要求1所述的真空沉积系统，其中所述至少一个运输辊(120)包括在重量载荷下可变形并且包围所述至少一个运输辊(120)的旋转轴线(A)的柔性层(130)或柔性元件(330)。3.根据权利要求2所述的真空沉积系统，其中所述柔性层(130)包括可弹性变形材料、特别是FKM。4.根据权利要求2所述的真空沉积系统，其中所述柔性元件(330)是可弹性弯折元件、特别是弹簧元件或容差套筒。5.根据权利要求4所述的真空沉积系统，其中所述弹簧元件是波形弹簧环。6.根据权利要求2至5中任一项所述的真空沉积系统，其中所述柔性层或柔性元件允许所述外支撑层(122)的接触区域在重量载荷下相对于所述旋转轴线(A)倾斜。7.根据权利要求2至6中任一项所述的真空沉积系统，其中所述外支撑层(122)是由所述至少一个运输辊的旋转轴承(124)可旋转地支撑的外衬套，其中所述柔性层(130)或柔性元件(330)包围所述旋转轴承并且布置在所述旋转轴承与所述外衬套之间。8.根据权利要求7所述的真空沉积系统，其中所述外衬套包括经抛光金属表面，所述经抛光金属表面用于在所述经抛光金属表面上支撑所述基板载体(10)。9.根据权利要求1至6任一项所述的真空沉积系统，其中所述至少一个运输辊包括：旋转轴承(124)，所述旋转轴承安装在沿所述旋转轴线(A)延伸的轴(126)上，所述旋转轴承具有固定内壳和可旋转的外壳；和外衬套(123)，所述外衬套由所述旋转轴承可旋转地支撑，其中柔性层或柔性元件布置在以下位置中的至少一者处：
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在所述轴(126)与所述旋转轴承(124)的所述固定内壳之间；
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在所述轴(126)与支撑所述轴的所述轴支撑件(140)之间；和
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在所述外衬套(123)的外表面上。10.根据权利要求1所述的真空沉积系统，其中所述至少一个运输辊(120)安装在柔性支撑件上、特别是柔性棒上。11.根据权利要求10所述的真空沉积系统，其中所述柔性支撑件是可弹性弯折棒，当所述至少一个运输辊承载重量时，所述可旋转弯折棒像板簧一样起...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋开云，拉尔夫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：