真空沉积系统、基板运输系统和运输基板通过真空腔室的方法技术方案

描述了一种用于涂覆基板的真空沉积系统(100)。所述真空沉积系统包括：第一真空腔室(101)；和基板运输系统(110)，所述基板运输系统具有多个运输辊(111)，所述多个运输辊沿载体运输路径(T)布置以用于运输基板载体(10)通过所述第一真空腔室。所述多个运输辊中的至少一个运输辊(120)或至少一个运输辊的外支撑层(122)是弹力安装的。具体地，所述至少一个运输辊可包括柔性层或柔性元件。进一步描述了一种基板运输系统和一种运输基板通过真空腔室的方法。方法。方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空沉积系统、基板运输系统和运输基板通过真空腔室的方法


[0001]本公开内容的实施方式涉及运输基板通过真空沉积系统的真空腔室。特别地，本公开内容的实施方式涉及一种基板运输系统，所述基板运输系统被配置为沿基板运输路径运输基板载体通过至少一个基板处理腔室，所述基板载体承载要涂覆的基板。另外的实施方式涉及一种运输基板通过真空沉积系统的真空腔室的方法以及一种具有基板运输系统的真空沉积系统。

技术介绍

[0002]表面加工、表面涂覆、表面活化/钝化和其他表面相关工艺是许多薄膜、蚀刻和表面活化技术的基础。作为一个示例，等离子体辅助表面工艺提供了一种用于活化、涂覆和/或蚀刻基板(诸如玻璃基板)的强力工具。在这些工艺期间，基板可移动通过真空沉积系统的若干真空模块。例如，基板可在装载腔室处进入真空沉积系统，可被运输到其中基板被涂覆一个或多个层的一个或多个真空处理腔室，并且之后可被运输到其中基板可离开真空沉积系统的卸载腔室。在行进通过真空腔室期间，基板可由承载基板的基板载体(本文也简称为“载体”)承载。
[0003]具体地，真空沉积系统可以是包括若干真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于涂覆基板的真空沉积系统(100)，包括：第一真空腔室(101)；和基板运输系统(110)，所述基板运输系统具有多个运输辊(111)，所述多个运输辊沿基板运输路径(T)布置以用于运输基板载体(10)通过所述第一真空腔室，其中所述多个运输辊中的至少一个运输辊(120)或至少一个运输辊的至少外支撑层(122)是弹力安装的，或者其中至少一个运输辊的外支撑层是弹力层。2.根据权利要求1所述的真空沉积系统，其中所述至少一个运输辊(120)包括在重量载荷下可变形并且包围所述至少一个运输辊(120)的旋转轴线(A)的柔性层(130)或柔性元件(330)。3.根据权利要求2所述的真空沉积系统，其中所述柔性层(130)包括可弹性变形材料、特别是FKM。4.根据权利要求2所述的真空沉积系统，其中所述柔性元件(330)是可弹性弯折元件、特别是弹簧元件或容差套筒。5.根据权利要求4所述的真空沉积系统，其中所述弹簧元件是波形弹簧环。6.根据权利要求2至5中任一项所述的真空沉积系统，其中所述柔性层或柔性元件允许所述外支撑层(122)的接触区域在重量载荷下相对于所述旋转轴线(A)倾斜。7.根据权利要求2至6中任一项所述的真空沉积系统，其中所述外支撑层(122)是由所述至少一个运输辊的旋转轴承(124)可旋转地支撑的外衬套，其中所述柔性层(130)或柔性元件(330)包围所述旋转轴承并且布置在所述旋转轴承与所述外衬套之间。8.根据权利要求7所述的真空沉积系统，其中所述外衬套包括经抛光金属表面，所述经抛光金属表面用于在所述经抛光金属表面上支撑所述基板载体(10)。9.根据权利要求1至6任一项所述的真空沉积系统，其中所述至少一个运输辊包括：旋转轴承(124)，所述旋转轴承安装在沿所述旋转轴线(A)延伸的轴(126)上，所述旋转轴承具有固定内壳和可旋转的外壳；和外衬套(123)，所述外衬套由所述旋转轴承可旋转地支撑，其中柔性层或柔性元件布置在以下位置中的至少一者处：
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在所述轴(126)与所述旋转轴承(124)的所述固定内壳之间；
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在所述轴(126)与支撑所述轴的所述轴支撑件(140)之间；和
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在所述外衬套(123)的外表面上。10.根据权利要求1所述的真空沉积系统，其中所述至少一个运输辊(120)安装在柔性支撑件上、特别是柔性棒上。11.根据权利要求10所述的真空沉积系统，其中所述柔性支撑件是可弹性弯折棒，当所述至少一个运输辊承载重量时，所述可旋转弯折棒像板簧一样起...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋开云，拉尔夫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：