【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路生产工艺中使用的化学腐蚀和清洗器皿中的加热器，特别是一种真空石英加热器。现有集成电路基片化学腐蚀和清洗器皿的加热器通常是把加热丝直接穿在石英套管中，与电源线连接，石英管两端敞开，加热丝暴露在外，直接与空气接触。在集成电路生产工艺的腐蚀和清洗中，常需要温度升高到110℃-180℃，但在硫酸、盐酸、硝酸或磷酸等化学气氛中，加热器的加热丝尤其是接头处常常受到腐蚀，以致烧毁，寿命短，使加热终止，并且在加热过程中，极易挥发出金属氧化物粉末或金属粉尘，常常污染腐蚀液、剥离液或清洗液，造成集成电路基片的杂质污染，带进金属离子，影响到电路或器件的稳定性、可靠性，成品率下降。本技术的目的在于克服上述加热器的不足，提供一种使加热丝既耐腐蚀，又能防止金属离子沾污的真空石英加热器，提高集成电路的可靠性和成品率。本技术的目的通过如下措施达到它包括石英套管、穿在石英套管中加热用的电炉丝和电源线，其特点在于在石英套管两端出口处各加一个电极片并抽成真空，两电极片一端分别与电源线连接，另一端与钨丝焊接，钨丝的另一端与加热丝的两端焊接在一起。当接通电源时，电炉丝通过电极片和钨丝受热、发红，起到加热作用。以下结合附图及实施例对本技术进一步详细说明。附图说明图1为本技术采用U形管状石英套管的结构示意图；图2为本技术采用W形管状石英套管的结构示意图；图3为本技术用在石英杯中的使用示意图。参见附图1，本技术由石英套管1、穿在其中间的加热丝6、电源线3、电极片4及钨丝5组成，石英套管1的两端口处插入电极片4，电极片4由石英玻璃2封住，该石英玻璃2外圈再与石英套管1烧结，并经机械...
【技术保护点】
一种真空石英加热器，包括石英套管、穿在石英套管中加热用的电炉丝和电源，其特征在于：在石英套管两端出口处各有一个电极片并抽成真空，两电极片一端分别与电源线连接，另一端与钨丝焊接，钨丝的另一端与电炉丝的两端焊接在一起。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘振芳，
申请(专利权)人：中国航天工业总公司七七一研究所，
类型：实用新型
国别省市：61[中国|陕西]
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