一种集成电路生产工艺中使用的真空石英加热器由石英套管、电炉丝、电极片、钨丝及电源线组成，在石英套管两端出口处各加有一电极片并抽成真空，两电极片一端分别与电源线连接，另一端与钨丝焊接，钨丝的另一端与电炉丝的两端焊接在一起。本实用新型既耐腐...