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一种集成电路生产工艺中使用的真空石英加热器由石英套管、电炉丝、电极片、钨丝及电源线组成，在石英套管两端出口处各加有一电极片并抽成真空，两电极片一端分别与电源线连接，另一端与钨丝焊接，钨丝的另一端与电炉丝的两端焊接在一起。本实用新型既耐腐蚀又...
该专利属于中国航天工业总公司七七一研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天工业总公司七七一研究所授权不得商用。

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