加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供加工装置，其降低从电动机向倾斜调整机构或卡盘工作台传递热的程度，并且降低加工水的使用量。该加工装置具有对被加工物进行保持的保持单元以及对被加工物进行加工的加工单元，其中，保持单元具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行吸引保持的保持面；电动机，其用于使卡盘工作台绕规定的旋转轴旋转；壳体，其在内侧的空间中配置有电动机；第1管部，其用于向壳体的内侧的空间提供空气；以及第2管部，其用于从壳体的内侧的空间排出空气，利用从第1管部向壳体提供的空气而使电动机冷却。却。却。

【技术实现步骤摘要】
加工装置


[0001]本专利技术涉及加工装置，其具有对被加工物进行保持的保持单元以及对被加工物进行加工的加工单元。

技术介绍

[0002]作为对被加工物进行加工的加工装置的一例，已知有对被加工物进行切入式磨削的磨削装置。磨削装置具有用于对被加工物进行吸引保持的圆板状的卡盘工作台。在卡盘工作台的下方设置有用于使卡盘工作台绕规定的旋转轴旋转的电动机。
[0003]例如在电动机的输出轴上固定有驱动带轮，驱动带轮的旋转经由带而传递至固定于卡盘工作台的旋转轴的从动带轮。在手动式的磨削装置中，电动机和卡盘工作台固定于能够沿着规定方向移动的移动板。
[0004]例如电动机借助电动机托架而固定于移动板的侧方，卡盘工作台被支承为能够在该移动板上旋转。当移动板在规定方向上移动时，电动机和卡盘工作台一起在规定方向上移动(例如参照专利文献1)。
[0005]另外，在进行切入式磨削的磨削装置中，卡盘工作台的保持面具有中央部比外周部突出的圆锥形状，卡盘工作台的旋转轴按照保持面的一部分与水平方向大致平行的方式相对于铅垂方向倾斜。
[0006]卡盘工作台通过支承于移动板的圆筒状的工作台基座支承为能够旋转，工作台基座的倾斜(即、卡盘工作台的旋转轴的倾斜)通过支承卡盘工作台的倾斜调整机构进行调整。
[0007]倾斜调整机构具有配置成将工作台基座的周向的不同的三个部位进行支承的三个支承部。三个支承部包含：一个固定支承部，其相对于移动板固定工作台基座的铅垂方向的位置；以及两个可动支承部，它们能够相对于移动板改变工作台基座的铅垂方向的位置。
[0008]在磨削时，由于电动机的动作而产生热，由于该热，基于可动支承部的工作台基座的铅垂方向的支承位置发生微妙地变化，因此存在卡盘工作台的旋转轴的倾斜从预先设定的倾斜变化的问题。另外，还存在所产生的热传递至卡盘工作台而使保持面的形状发生变化的问题。
[0009]当卡盘工作台的旋转轴的倾斜或保持面的形状发生变化时，磨削后的完工厚度的面内均匀性降低。因此，提出了如下的磨削装置：对电动机的安装位置下工夫，以便使提供至被加工物与磨削磨具的接触区域的纯水等磨削水在磨削时飞散而有助于电动机的冷却(例如参照专利文献2)。
[0010]专利文献1：日本特开2010
‑
89234号公报
[0011]专利文献2：日本特开2017
‑
42875号公报
[0012]但是，在通过在磨削(加工)时飞散的磨削水(加工水)使电动机冷却的情况下，即使是在被加工物的磨削前的预热运转时，为了使电动机冷却，也需要持续提供加工水，因此加工水的使用量增大，其结果是，生产成本增加。

技术实现思路

[0013]本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于降低从电动机向倾斜调整机构或卡盘工作台传递热的程度，并且与利用使用完的加工水使电动机冷却的情况相比降低加工水的使用量。
[0014]根据本专利技术的一个方式，提供加工装置，其具有对被加工物进行保持的保持单元以及对该被加工物进行加工的加工单元，其中，该保持单元具有：卡盘工作台，其具有对该被加工物进行吸引保持的保持面；电动机，其用于使该卡盘工作台绕规定的旋转轴旋转；壳体，其在内侧的空间中配置有该电动机；第1管部，其用于向该壳体的内侧的该空间提供空气；以及第2管部，其用于从该空间排出空气，利用从该第1管部向该壳体提供的空气而使该电动机冷却。
[0015]优选该壳体具有隔热构造。
[0016]另外，优选该隔热构造具有：外壁；内壁；以及真空层，其位于该外壁与该内壁之间的空间且处于具有低于大气压的压力的真空状态。
[0017]另外，优选该保持单元还具有环状的冷却板，该冷却板配置成与该壳体接触，并且具有供该电动机的输出轴插入的贯通孔，该冷却板在内部具有供冷却水通过的冷却水路。
[0018]另外，优选该保持单元还具有：驱动带轮，其安装于该电动机的输出轴；从动带轮，其安装于该卡盘工作台的该旋转轴；以及带，其卷绕于该驱动带轮和该从动带轮。
[0019]本专利技术的一个方式的加工装置利用提供至配置有电动机的壳体的内侧的空间的空气而使电动机冷却。由此，能够降低由于电动机进行动作而产生的热向倾斜调整机构或卡盘工作台传递的程度，并且与利用加工时飞散的加工水使电动机冷却的情况相比能够降低加工水的使用量。
附图说明
[0020]图1是磨削装置的立体图。
[0021]图2是包含卡盘工作台的保持单元的局部剖视侧视图。
[0022]图3是卡盘工作台和磨削磨轮的俯视图。
[0023]图4是保持单元的立体图。
[0024]图5的(A)是将壳体和托架取下的状态的保持单元的立体图，图5的(B)是壳体和托架的分解立体图。
[0025]图6是图5的(B)的B
‑
B剖视图。
[0026]图7是托架、冷却夹套和壳体的分解立体图。
[0027]图8是第2实施方式的保持单元的立体图。
[0028]标号说明
[0029]2：磨削装置(加工装置)；4：基台；4a：开口；6：工作台罩；6a、6b：折皱状罩；8：卡盘工作台；8a：保持面；8b：区域；11：被加工物；11a：正面；11b：背面；13：保护带；12：保持单元；14a：框体；14b：多孔质板；16：旋转轴；16a：中心线；18：工作台基座；18a：凸缘部；20：倾斜调整机构；20a：固定支承部；20b、20c：可动支承部；22：移动板；22a：凹部；24：从动带轮；26：壳体；26a：主体部；26b：开口；26c：凸缘部；26d：空间；28：托架；28a：外螺纹；28b：开口；30：电动机；30a：输出轴；30b：驱动带轮；32：环形带；34：空气；36a：第1管部；36b：第2管部；40：外
壁；42：内壁；44：真空层；46：柱部；48：Z轴方向移动单元；50：导轨；52：移动板；54：滚珠丝杠；56：驱动源；58：保持部件；60：磨削单元(加工单元)；62：主轴壳体；64：主轴；66：旋转驱动源；68：安装座；70：磨削磨轮；70a：磨轮基台；70b：磨削磨具；72：冷却夹套(冷却板)；72a：贯通孔；72b：冷却水路；74：提供管；76：冷却水；78：排出管；A1：搬入搬出区域；A2：磨削区域。
具体实施方式
[0030]参照附图，对本专利技术的一个方式的实施方式进行说明。图1是第1实施方式的用于进行切入式磨削的磨削装置(加工装置)2的立体图。本实施方式的磨削装置2是所谓的手动式，通过作业者进行被加工物11的搬入、搬出等。
[0031]图1所示的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向(磨削进给方向)相互垂直。在本实施方式中，X
‑
Y平面与水平方向大致平行，Z轴方向与铅垂方向大致平行。
[0032]磨削装置2具有对磨削装置2的构成要素进行支承的大致长方体状的基台4。在基台4的上表面上形成有矩形状的开口4a。开口4a的长边部沿着Y轴方向配置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加工装置，其具有对被加工物进行保持的保持单元以及对该被加工物进行加工的加工单元，其特征在于，该保持单元具有：卡盘工作台，其具有对该被加工物进行吸引保持的保持面；电动机，其用于使该卡盘工作台绕规定的旋转轴旋转；壳体，其在内侧的空间中配置有该电动机；第1管部，其用于向该壳体的内侧的该空间提供空气；以及第2管部，其用于从该空间排出空气，利用从该第1管部向该壳体提供的空气而使该电动机冷却。2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，该壳体具有隔热构造。3.根据权利要求2所述的加工装置，其特征在于，该隔热构...

【专利技术属性】
技术研发人员：小西洋辅，元木健顺，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：