用于吊灯型喷头安装的工具和方法技术

提供了一种对准设备，以经对准配置将两个部件拉接在一起。示例性对准设备包括行星齿轮组和一个或更多侧板，该行星齿轮组包括环形齿轮和至少两个行星齿轮，而该一个或更多侧板用于支撑齿轮。两个行星齿轮中的每一者包括孔口，该孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，该螺纹紧固件用于与各自螺纹杆接合，而该各自螺纹杆与该两个部件中的一者接合，其中该环形齿轮的转动将转动动作传递至螺纹紧固件，以使该对准设备沿着两个螺纹杆同步前进。对准设备沿着两个螺纹杆同步前进。对准设备沿着两个螺纹杆同步前进。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于吊灯型喷头安装的工具和方法
优先权主张
[0001]本申请要求于2020年7月1日申请的美国专利申请序列No.62/705,522的优先权利益，其全部公开内容都通过引用合并于此。


[0002]本公开总体上吊灯型喷头安装用的工具和方法，且更具体而言涉及能够精确安装重型吊灯型式样喷头的对准设备和套件。

技术介绍

[0001]在现有的一些半导体制造操作中，喷头是通过手动安装的，且依赖于喷头和冷却板中的键锁特征的对准。手动安装处理通常会对该两个部件之间的热接口造成损害，从而显著影响热转移并限制工具性能(减少高达30％的热转移，从而影响总体工具生产量和工艺性能)。该键控特征经常是太小的，以致无法应付新式喷头的增大的质量，且在与较新一代的喷头共同使用时还会使损害提高以及产生残骸。
[0002]这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。当前指定的专利技术人的工作在其在此
技术介绍
部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的说明书的各方面中描述的范围内既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。

技术实现思路

[0003]本公开总体上涉及吊灯型喷头的安装工具和方法，并且更具体地涉及能够精确安装重型吊灯型喷头的手动操作式“同步拉动”齿轮箱和对准套件。在将喷头设置或安装于处理室中时，一些示例将喷头相对于冷却板的移动限制在单一维度中(例如，朝向或远离彼此，但无侧向移动)，以允许两表面以几乎最佳的平行性进行接触，而无其他邻近表面摩擦或干扰所期望对准的情况。一些示例性齿轮箱包括行星齿轮组以同步及驱动两个螺纹杆，该两个螺纹杆将经对准的轴向移动传递至部件(例如，喷头或冷却板)。在一些示例中，在将喷头定位且紧固至于其最终安装位置中后，这些螺纹杆是可移除的。一些示例性齿轮箱包括推力轴承，以将喷头的重量负载传导至在正常运行期间承载该重量的相同负载
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轴承部件。一些示例性齿轮箱包括自对准齿轮，以使齿隙和摩擦最小化。
[0004]在一些示例中，提供一种对准设备以便以对准方式将两个部件拉接在一起。示例性的对准设备包括行星齿轮组，所述行星齿轮组包括环形齿轮和至少两个行星齿轮；以及一个或更多个侧板，其用于支撑所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮；其中所述至少两个行星齿轮中的每一者包括孔口，所述孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，所述螺纹紧固件用于与至少两个螺纹杆中的相应一者接合，而所述至少两个螺纹杆与所述两个部件中的一者接合，其中所述环形齿轮的转动将同步的转动移动传递至所述螺纹紧固件，以使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆线性移动。
[0005]一些示例还包括用于支撑所述至少两个行星齿轮的成对的块状扣件。所述成对的
块状扣件被配置成支撑所述至少两个行星齿轮，以使所述至少两个行星齿轮在缺乏太阳齿轮的情况下，在所述环形齿轮的内侧围绕所述至少两个螺纹杆中的相应一者转动。
[0006]在一些示例中，所述对准设备是便携式的；以及其中所述环形齿轮包括在其周缘上所提供的一个或更多个可手动接合构件，以由手转动所述环形齿轮而使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆移动。
[0007]一些示例还包括一个或更多个推力轴承，其用于支撑所述两个部件中的一者的重量，或者在转动所述环形齿轮后将由所述对准设备所产生的轴向力传送至所述两个部件中的一者。
[0008]在一些示例中，所述一个或更多个侧板包括第一孔口，以允许所述至少两个螺纹杆穿过所述一个或更多个侧板；以及一个或更多个第二孔口，以允许安全紧固件穿过而将所述两个部件固定在一起。
[0009]在一些示例中，所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮包括人字齿轮。
[0010]在一些示例中，所述两个部件中的第一部件包括喷头，而所述两个部件中的第二部件包括冷却板。
[0011]在一些示例中，提供了一种促进将两个部件以对准方式拉接在一起的对准套件，示例性的对准套件包括：至少两个螺纹杆，其各自与所述两个部件中的一者是能接合的；以及对准设备，所述对准设备包括：行星齿轮组，所述行星齿轮箱包括环形齿轮和至少两个行星齿轮；以及一个或更多个侧板，其用于支撑所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮；其中所述至少两个行星齿轮中的每一者包括孔口，所述孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，所述螺纹紧固件用于与所述至少两个螺纹杆中的相应一者接合，其中所述环形齿轮的转动将同步的转动移动传递至所述螺纹紧固件，以使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆线性移动。
[0012]在一些示例中，所述对准套件还包括与所述两个部件中的一者接合的螺纹杆导件。
[0013]在一些示例中，所述对准套件还包括对准检查器，以在将所述两个部件拉接在一起时检查或确认所述两个部件的对准。
[0014]在一些示例中，所述对准设备还包括用于支撑所述至少两个行星齿轮的成对的块状扣件。在一些示例中，所述成对的块状扣件被配置成支撑所述至少两个行星齿轮，以使所述至少两个行星齿轮在缺乏太阳齿轮的情况下，在所述环形齿轮的内侧围绕所述至少两个螺纹杆中的相应一者转动。
[0015]在一些示例中，所述对准设备是便携式的；以及所述环形齿轮包括在其周缘上所提供的一个或更多个可手动接合构件，以由手转动所述环形齿轮而使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆移动。
[0016]在一些示例中，所述对准设备还包括一个或更多个推力轴承，其用于支撑所述两个部件中的一者的重量，或者在转动所述环形齿轮后将由所述对准设备所产生的轴向力传送至所述两个部件中的一者。
[0017]在一些示例中，所述对准设备的所述一个或更多个侧板包括第一孔口，以允许所述相应的螺纹杆通过；以及一个或更多个第二孔口，以允许安全紧固件穿过而将所述两个部件固定在一起。
[0018]在一些示例中，所述对准设备的所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮包括人字齿轮。
[0019]在一些示例中，所述两个部件中的第一部件包括喷头，而所述两个部件中的第二部件包括冷却板。
[0020]在一些示例中，提供了一种将待拉接在一起的两个部件进行对准的方法。一种示例性方法包括：将两个或更多个螺纹杆连接至所述两个部件中的第一者；将对准设备与所述两个部件中的第二者接合，所述对准设备包括行星齿轮组，所述行星齿轮组包括环形齿轮和至少两个行星齿轮，所述对准设备包括用于支撑所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮的一个或更多个侧板，其中所述至少两个行星齿轮中的每一者包括孔口，所述孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，所述螺纹紧固件用于与所述两个或更多个螺纹杆中的一者接合，其中所述环形齿轮的转动将同步的转动移动传递至所述螺纹紧固件，以使所述对准设备相对于所述两个或更多个螺纹杆线性移动；以及转动所述环形齿轮，以使所述对准设备相对于所述两个或更多个螺纹杆移动。
[0021]在一些示例中，所述方法还包括将螺纹杆导件与所述两个部件中的一者接合。
[0022]在一些示例中，所述方法还包括使用对准检查器，以在将所述两个部件拉接在一起时检查或确认所述两个部件的对准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种将两个部件拉接在一起的对准设备，该对准设备包括：行星齿轮组，所述行星齿轮组包括环形齿轮和至少两个行星齿轮；一个或更多个侧板，其用于支撑所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮；其中所述至少两个行星齿轮中的每一者包括孔口，所述孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，所述螺纹紧固件用于与至少两个螺纹杆中的相应一者接合，而所述至少两个螺纹杆与所述两个部件中的一者接合，其中所述环形齿轮的转动将同步的转动移动传递至所述螺纹紧固件，以使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆线性移动。2.根据权利要求1所述的对准设备，其还包括用于支撑所述至少两个行星齿轮的成对的块状扣件。3.根据权利要求2所述的对准设备，其中所述成对的块状扣件被配置成支撑所述至少两个行星齿轮，以使所述至少两个行星齿轮在缺乏太阳齿轮的情况下，在所述环形齿轮的内侧围绕所述至少两个螺纹杆中的相应一者转动。4.根据权利要求1所述的对准设备，其中所述对准设备是便携式的；以及其中所述环形齿轮包括在其周缘上所提供的一个或更多个可手动接合构件，以由手转动所述环形齿轮而使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆移动。5.根据权利要求1所述的对准设备，其还包括一个或更多个推力轴承，其用于支撑所述两个部件中的一者的重量，或者在转动所述环形齿轮后将由所述对准设备所产生的轴向力传送至所述两个部件中的一者。6.根据权利要求1所述的对准设备，其中所述一个或更多个侧板包括第一孔口，以允许所述至少两个螺纹杆穿过所述一个或更多个侧板；以及一个或更多个第二孔口，以允许安全紧固件穿过而将所述两个部件固定在一起。7.根据权利要求1所述的对准设备，其中所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮包括人字齿轮。8.根据权利要求1所述的对准设备，其中所述两个部件中的第一部件包括喷头，而所述两个部件中的第二部件包括冷却板。9.一种促进将两个部件以对准方式拉接在一起的对准套件，所述对准套件包括：至少两个螺纹杆，其各自与所述两个部件中的一者是能接合的；以及对准设备，所述对准设备包括：行星齿轮组，所述行星齿轮箱包括环形齿轮和至少两个行星齿轮；一个或更多个侧板，其用于支撑所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮；其中所述至少两个行星齿轮中的每一者包括孔口，所述孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，所述螺纹紧固件用于与所述至少两个螺纹杆中的相应一者接合，其中所述环形齿轮的转动将同步的转动移动传递至所述螺纹紧固件，以使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆线性移动。10.根据权利要求9所述的对准套件，其还包括与所述两个部件中的一者接合的螺纹杆导件。11.根据权利要求9所述的对准套件，其还包括对准检查器，以在将所述两个部件拉接在一起时检查或确认所述两个部件的对准。12.根据权利要求9所述的对准套件，其中所述对准设备还包括用于支撑所述至少两个
行星齿轮的成对的块状扣件。13.根据权利要求12所述的对准套件，其中所述成对的块状扣件被配置成支撑所述至少两个行星齿轮，以使所述至少两个行星齿轮在缺乏太阳齿轮的情况下，在所述环形齿轮的内侧围绕所述至少两个螺纹杆中的相应一者转动。14.根据权利要求9所述的对准套件，其中所述对准设备是便携式的；以及其中所述环形齿轮包括在其周缘上所提供的一个或更多个可手动接合构件，以由手转动所述环形齿轮而使所述对准设备相对于所述至少两...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿列克谢，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：