【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
1、各种各样的处理工具被用来在晶片衬底上形成集成电路。举例而言，电沉积常用于集成电路制造过程中以形成导电结构。
技术实现思路
1、提供本
技术实现思路
以便以简化的形式介绍一些构思，这些构思将于以下的具体实施方式中进一步描述。本
技术实现思路
不旨在识别所请求保护的主题的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所请求保护的主题的范围。此外，所请求保护的主题不限于解决本公开内容的任何部分中所提到的任何或所有缺点的实施方案。
2、公开了涉及使用机器学习分类器诊断晶片处理工具的状况的示例。一示例提供了一种包含杯体的电沉积工具。所述杯体包含晶片界面。所述晶片界面包含唇形密封件以及多个电接触点。所述电沉积工具还包含相机，其定位成对晶片界面的至少一部分进行成像。所述电沉积工具更包含逻辑机，以及存储机，其存储可由逻辑机执行的指令。所述可执行指令以经由相机获取晶片界面的图像。所述指令可进一步执行以从经过训练的机器学习函数获得晶片界面的图像的分类。所述指令可进一步执行以控制电沉积工具基于分类采取行动。
3、在一些这样的示例中，晶片界面被配置以旋转，且相机被配置为于晶片界面的相对应的多个旋转角度摄取晶片界面的多个图像。所述晶片界面被配置以旋转，且所述相机被配置为在所述晶片界面的相对应的多个旋转角度摄取所述晶片界面的多个图像。
4、在一些这样的示例中，所述指令附加地或替代地能执行以获得所述多个图像中的每一图像的分类。
5、在一些这样的示例中，所述指令附加地
6、在一些这样的示例中，所述经过训练的机器学习函数包含残差神经网络。
7、在一些这样的示例中，所述指令附加地或替代地能执行以控制所述电沉积工具响应于获得脏污的分类来执行清洁程序。
8、在一些这样的示例中，所述指令附加地或替代地能执行以控制所述电沉积工具响应于获得潮湿的分类来执行槽干燥程序。
9、在一些这样的示例中，所述指令附加地或替代地能执行以控制所述电沉积工具响应于获得受损的分类而输出错误代码以供用户干预。
10、在一些这样的示例中，所述指令附加地或替代地能执行以控制所述电沉积工具响应于获得正常或不明确中的一者的分类来继续正常操作。
11、另一示例提供了一种用于操作电沉积工具的方法。所述方法包含：经由相机获取所述电沉积工具的晶片界面的图像。所述方法还包含：从经过训练的机器学习函数获得所述图像的分类。所述方法还包含：在获得所述分类后，基于所述分类控制所述电沉积工具以执行维护程序。
12、在一些这样的示例中，所述分类包含脏污分类，且所述维护程序包含槽清洁程序。
13、附加地或替代地，在一些这样的示例中，所述分类包含潮湿分类，且所述维护程序包含槽干燥程序。
14、附加地或替代地，在一些这样的示例中，所述分类包含受损分类，且所述维护程序包含触发错误代码的输出以供用户干预。
15、附加地或替代地，在一些这样的示例中，所述方法还包含于所述晶片界面的相对应的多个旋转角度获取所述晶片界面的多个图像，且从所述经过训练的机器学习函数获得所述多个图像中的每一图像的分类。
16、附加地或替代地，在一些这样的示例中，所述方法还包含获得正常分类，且控制所述电沉积工具以继续正常操作。
17、附加地或替代地，在一些这样的示例中，所述方法还包含获得不明确分类，且作为响应，触发警告代码。
18、另一示例提供了一种计算机系统，其包含：逻辑机；以及存储机，其存储能由所述逻辑机执行的指令。所述指令能执行以获得电沉积工具的晶片界面的图像，所述晶片界面包含唇形密封件以及多个电接触点。所述指令还能执行以经由将所述图像输入至经过训练的机器学习函数来获得分类。所述指令还能执行以输出所述分类。
19、在一些这样的示例中，所述经过训练的机器学习函数包含残差神经网络。
20、附加地或替代地，在一些这样的示例中，所述指令能进一步执行以在将所述图像输入至所述经过训练的机器学习函数之前裁剪所述晶片界面的所述图像。
21、附加地或替代地，在一些这样的示例中，所述指令能进一步执行以使用已标记的训练图像来训练所述经过训练的机器学习函数，所述已标记的训练图像中的每一者标记有正常、潮湿、脏污或受损中的一者的分类。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种电沉积工具，其包含：
2.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述晶片界面被配置以旋转，且其中所述相机被配置为在所述晶片界面的相对应的多个旋转角度摄取所述晶片界面的多个图像。
3.根据权利要求2所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以获得所述多个图像中的每一图像的分类。
4.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以将所述晶片界面的所述图像传输至提供所述经过训练的机器学习函数的远程计算系统，且从所述远程计算系统获得所述图像的所述分类。
5.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述经过训练的机器学习函数包含残差神经网络。
6.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以控制所述电沉积工具响应于获得脏污的分类来执行清洁程序。
7.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以控制所述电沉积工具响应于获得潮湿的分类来执行槽干燥程序。
8.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以控制所述电沉积工具响应于获得受损的分类而输出错误代码以供用户干预。
9.根
10.一种用于操作电沉积工具的方法，所述方法包含：
11.根据权利要求10所述的方法，其中所述分类包含脏污分类，且所述维护程序包含槽清洁程序。
12.根据权利要求10所述的方法，其中所述分类包含潮湿分类，且所述维护程序包含槽干燥程序。
13.根据权利要求10所述的方法，其中所述分类包含受损分类，且所述维护程序包含触发错误代码的输出以供用户干预。
14.根据权利要求10所述的方法，其还包含于所述晶片界面的相对应的多个旋转角度获取所述晶片界面的多个图像，且从所述经过训练的机器学习函数获得所述多个图像中的每一图像的分类。
15.根据权利要求10所述的方法，其还包含获得正常分类，且控制所述电沉积工具以继续正常操作。
16.根据权利要求10所述的方法，其还包含获得不明确分类，且作为响应，触发警告代码。
17.一种计算机系统，其包含：
18.根据权利要求17所述的计算机系统，其中所述经过训练的机器学习函数包含残差神经网络。
19.根据权利要求17所述的计算机系统，其中所述指令能进一步执行以在将所述图像输入至所述经过训练的机器学习函数之前裁剪所述晶片界面的所述图像。
20.根据权利要求17所述的计算机系统，其中所述指令能进一步执行以使用已标记的训练图像来训练所述经过训练的机器学习函数，所述已标记的训练图像中的每一者标记有正常、潮湿、脏污或受损中的一者的分类。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种电沉积工具，其包含：
2.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述晶片界面被配置以旋转，且其中所述相机被配置为在所述晶片界面的相对应的多个旋转角度摄取所述晶片界面的多个图像。
3.根据权利要求2所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以获得所述多个图像中的每一图像的分类。
4.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以将所述晶片界面的所述图像传输至提供所述经过训练的机器学习函数的远程计算系统，且从所述远程计算系统获得所述图像的所述分类。
5.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述经过训练的机器学习函数包含残差神经网络。
6.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以控制所述电沉积工具响应于获得脏污的分类来执行清洁程序。
7.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以控制所述电沉积工具响应于获得潮湿的分类来执行槽干燥程序。
8.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以控制所述电沉积工具响应于获得受损的分类而输出错误代码以供用户干预。
9.根据权利要求1所述的电沉积工具，其中所述指令能执行以控制所述电沉积工具响应于获得正常或不明确中的一者的分类来继续正常操作。
10.一种用于操作电沉积工具的方法，所述方法包含：
11.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨柳，李梦萍，尚蒂纳特·古艾迪，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：
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