一种探头的遮挡结构制造技术

本申请提供一种探头的遮挡结构，所述探头垂直穿过真空蒸镀机主腔体的上面板，上面板的下方设置有顶部防着板，顶部防着板具有第一通孔，第一通孔设置在探头的正下方，第一通孔的直径大于探头的下部的直径，探头下部垂直穿过第一通孔或者探头下部设置在第一通孔的上方；遮挡结构设置在顶部防着板的下方并且与顶部防着板可拆卸的连接，遮挡结构包括连接件和遮挡件，连接件用于将遮挡件与顶部防着板连接，遮挡件具有第二通孔，遮挡件在初始位置时第二通孔设置在第一通孔的正下方，第二通孔的直径小于第一通孔的直径并且小于等于探头的底端盖帽的直径。盖帽的直径。盖帽的直径。

【技术实现步骤摘要】
一种探头的遮挡结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种探头的遮挡结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机的探头用于镀膜时检测被镀膜工件的膜厚，用于小型真空蒸镀机的探头只具有一个晶振片，一般水平设置。具有多个晶振片的探头，一般垂直穿过主腔体的上面板，设置多个晶振片是用于利用马达或者电机自动更换晶振片，可以不用停机就能更换晶振片，多个晶振片全部用完之后再更换，也能提高工作效率。具有多个晶振片的探头如专利202011618398.7，该探头具有6个晶振片，能够自动更换，该探头结构利用气缸带动连轴器、第一杆体和探头晶振片固定件同步旋转60
°
，底端的盖帽具有一个通孔，盖帽是固定的，探头晶振片固定件旋转之后更换一个新的晶振片与盖帽通孔的位置对应，即更换了新的晶振片开始工作。
[0003]当所有晶振片都使用完之后，需要一次性的更换所有晶振片，拧开探头底端的盖帽，就能进行更换。我们知道，主腔体内壁上如果覆盖上膜料，膜料积累之后，会脱离形成颗粒释放到腔体中，污染被镀膜工件产品，因此主腔体的顶部、底部和四周都平行设置有防着板，来防止膜料污染主腔体，防着板使用一段时间后能够方便更换。
[0004]探头为了能够检测，探头正下方的防着板需要开通孔，为了手从下向上穿过该通孔拧开探头底端的盖帽，并进行更换所有晶振片的操作空间，防着板通孔的直径要大于探头底端盖帽的直径。那么防着板通孔大于探头底端盖帽的空间，膜料就会通过这个空间覆盖到主腔体的内壁上，主腔体又不好更换，会对被镀膜工件造成污染。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于，提供一种探头的遮挡结构，该遮挡结构与顶部防着板可拆卸的连接，镀膜时遮挡结构能够遮挡住防着板通孔大于探头盖帽的空间，更换晶振片时，遮挡结构能够移动或拆下，方便更换晶振片。
[0006]本申请的探头的遮挡结构，镀膜时能够起到遮挡住顶部防着板通孔大于探头盖帽的空间的作用，更换晶振片时，又能够很方便的移开或者拆下。并且，针对探头的下部垂直穿过顶部防着板通孔以及探头的下部设置在顶部防着板上方的两种情形，为了更方便的实际应用，分别设计了两种不同结构的遮挡结构。对于探头的下部设置在顶部防着板上方的情形，连接件为蝴蝶螺丝固定在矩形薄板的遮挡件的一个顶角，矩形薄板中间的通孔与探头盖帽的直径相同，从而遮挡住多余的空间，拧松蝴蝶螺丝矩形薄板能够以蝴蝶螺丝为轴线旋转，方便更换晶振片。对于探头的下部垂直穿过顶部防着板通孔的情形，连接件为多个抻腿，遮挡件为圆环形薄板，利用抻腿材料本身的韧性，捏住抻腿穿过顶部防着板通孔，释放后抵住该通孔周围的防着板起到固定的作用，矩形薄板中间的通孔与探头盖帽的直径相同从而遮挡住多余的空间，再次捏住抻腿又能拆下遮挡结构，更换晶振片。本申请人在此基础上完成了本申请。
[0007]一种探头的遮挡结构，所述探头1垂直穿过真空蒸镀机主腔体的上面板2，上面板2的下方设置有顶部防着板3，上面板2与顶部防着板3之间具有间距；所述顶部防着板3具有第一通孔31，第一通孔31设置在探头1的正下方，第一通孔31的直径大于探头1的下部11的直径，所述下部11垂直穿过第一通孔31或者下部11设置在第一通孔31的上方；所述遮挡结构4设置在顶部防着板3的下方并且与顶部防着板3可拆卸的连接，遮挡结构4包括连接件41和遮挡件42，连接件41用于将遮挡件42与顶部防着板3连接，遮挡件42具有第二通孔421，遮挡件42在初始位置时第二通孔421设置在第一通孔31的正下方，第二通孔421的直径小于第一通孔31的直径并且小于等于探头1的底端盖帽111的直径。
[0008]在一些实施方式中，当探头1的下部11设置在第一通孔31的上方时，底端盖帽111设置在第一通孔31的上方并且与第一通孔31之间具有间距，所述连接件41为蝴蝶螺丝，遮挡件42与顶部防着板3的下表面通过蝴蝶螺丝固定，所述遮挡件42为薄板，遮挡件42的长度大于第一通孔31的直径。
[0009]进一步的，所述蝴蝶螺丝设置在遮挡件42的一个顶角，所述遮挡件42为矩形薄板，遮挡件42水平设置时为初始位置，在初始位置时蝴蝶螺丝拧紧并且第二通孔421设置在探头1的正下方，拧松蝴蝶螺丝遮挡件42能够以蝴蝶螺丝为轴线旋转。
[0010]进一步的，在蝴蝶螺丝的对角线上设置有限位块43，限位块43水平设置，遮挡件42在初始位置时，遮挡件42的底边与限位块43接触。
[0011]遮挡件42在初始位置时，遮挡件42水平设置，其底边被限位块43抵住，并且蝴蝶螺丝拧紧，使得遮挡件42与顶部防着板3的下表面固定，并且其第二通孔421设置在第一通孔31的正下方，起到遮挡的作用，防止膜料通过第一通孔31进入到主腔体顶部。需要更换晶振片时，拧松蝴蝶螺丝，遮挡件42以蝴蝶螺丝为轴线旋转并且远离限位块43，直到遮挡件42不与第一通孔31重合，人手从下向上穿过第一通孔31，拧开底端盖帽111，更换晶振片。
[0012]在一些实施方式中，当探头1的下部11垂直穿过第一通孔31时，所述连接件41为多个垂直设置的抻腿，抻腿的底端与遮挡件42的边缘固定，抻腿的顶端向外弯曲，抻腿用于其顶端向上穿过第一通孔31并与顶部防着板3抵住固定，所述遮挡件42为水平设置的薄板。
[0013]进一步的，所述抻腿有2
‑
4个，多个抻腿均匀分布，抻腿与顶部防着板3抵住固定时遮挡件42与顶部防着板3之间具有间距。
[0014]进一步的，所述抻腿与顶部防着板3抵住固定时，所述遮挡件42在初始位置，其第二通孔421设置在探头1的正下方，所述遮挡件42为圆环形薄板，遮挡件42的外直径等于第一通孔31的直径，第二通孔421的直径等于探头1的底端盖帽111的直径。
[0015]进一步的，所述顶部防着板3在紧靠第一通孔31的位置设置有多个凹陷部，凹陷部的数量与抻腿的数量相同并且凹陷部的位置与抻腿的位置相对应，凹陷部起到给抻腿的顶端定位的作用。
[0016]安装遮挡结构时，遮挡结构为与防着板相同的材料，利用抻腿材料的韧性，向内同时捏住多个抻腿，抻腿的顶端向内收缩，抻腿的顶端向上穿过第一通孔31，松开抻腿，抻腿回弹并与顶部防着板3抵住固定，转动遮挡件42，使得抻腿的顶端进入到凹陷部内定位，起到遮挡的作用，防止膜料通过第一通孔31进入到主腔体顶部。需要更换晶振片时，再次向内同时捏住多个抻腿，抻腿向下穿过第一通孔31，使得拆下遮挡结构，人手从下向上穿过第一通孔31，拧开底端盖帽111，更换晶振片。
[0017]在一些实施方式中，所述顶部防着板3与上面板2平行设置，顶部防着板3与上面板2均水平设置，探头1的下部11为圆柱体，第一通孔31为圆形。
[0018]在一些实施方式中，所述探头1的上部与上面板2固定，上面板2具有通孔用于供探头1的下部11垂直穿过，探头1的上部与上面板2的上表面之间还设置有密封圈，使得探头1与上面板2之间密封。
[0019]在一些实施方式中，所述探头1内设置有多个晶振片固定件，每个晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探头的遮挡结构，所述探头(1)垂直穿过真空蒸镀机主腔体的上面板(2)，上面板(2)的下方设置有顶部防着板(3)，上面板(2)与顶部防着板(3)之间具有间距；其特征在于，所述顶部防着板(3)具有第一通孔(31)，第一通孔(31)设置在探头(1)的正下方，第一通孔(31)的直径大于探头(1)的下部(11)的直径，所述下部(11)垂直穿过第一通孔(31)或者下部(11)设置在第一通孔(31)的上方；所述遮挡结构(4)设置在顶部防着板(3)的下方并且与顶部防着板(3)可拆卸的连接，遮挡结构(4)包括连接件(41)和遮挡件(42)，连接件(41)用于将遮挡件(42)与顶部防着板(3)连接，遮挡件(42)具有第二通孔(421)，遮挡件(42)在初始位置时第二通孔(421)设置在第一通孔(31)的正下方，第二通孔(421)的直径小于第一通孔(31)的直径并且小于等于探头(1)的底端盖帽(111)的直径。2.如权利要求1所述的探头的遮挡结构，其特征在于，当探头(1)的下部(11)设置在第一通孔(31)的上方时，底端盖帽(111)设置在第一通孔(31)的上方并且与第一通孔(31)之间具有间距，所述连接件(41)为蝴蝶螺丝，遮挡件(42)与顶部防着板(3)的下表面通过蝴蝶螺丝固定，所述遮挡件(42)为薄板，遮挡件(42)的长度大于第一通孔(31)的直径。3.如权利要求2所述的探头的遮挡结构，其特征在于，所述蝴蝶螺丝设置在遮挡件(42)的一个顶角，所述遮挡件(42)为矩形薄板，遮挡件(42)水平设置时为初始位置，在初始位置时蝴蝶螺丝拧紧并且第二通孔(421)设置在探头(1)的正下方，拧松蝴蝶螺丝遮挡件(42)能够以蝴蝶螺丝为轴线旋转。4.如权利要求2所述的探头的遮挡结构，其特征在于，在蝴蝶螺丝的对角线上设置有限位块(43)，限位块(43)水平设...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱文朔，薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：