一种含有液体供给系统的镀膜设备技术方案

本实用新型专利技术公开了一种含有液体供给系统的镀膜设备，包括供给系统和真空蒸镀机，所述供给系统包括：储液瓶，其用于存储液体原料，储液瓶内部密封，在储液瓶的顶部具有进气管和出液管，进气管连接高压气源，所述进气管高于液体原料的液面，出液管淹没于液体原料的底部；第一阀门，其通过输送管道连接出液管；过滤器，其通过输送管道连接第一阀门；液体质量流量计，其通过输送管道连接过滤器；气液分离器，其通过输送管道连接液体质量流量计；第二阀门，其通过输送管道连接气液分离器和真空蒸镀机；加热装置，其布置于输送管道上，本实用新型专利技术可以精确控制液体流量；并且设有输送管道加热装置，可以通过加热液体，改善其流动性，适用于不同粘度的液体输送。同粘度的液体输送。同粘度的液体输送。

【技术实现步骤摘要】
一种含有液体供给系统的镀膜设备


[0001]本技术属于工件镀膜
，更具体的说涉及一种含有液体供给系统的镀膜设备。

技术介绍

[0002]利用液体原料给工件镀膜在工业界的应用越来越多，例如反指纹涂层。这些涂层材料，通常由含F和Si的高分子化合物构成，溶于酒精等溶剂中，室温下为液体，而且其粘度更接近油脂。因此需要针对不同粘度的液体，设计专门供液系统，将其输送至真空腔体中，作为镀膜原料，同时，又要防止在供液系统中混入气体，以避免在镀膜时产生气泡，影响涂层质量，目前尚无一能够通用的供给系统达成上述目的。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术提供了一种可以精确控制液体流量；并且设有输送管道加热装置，可以通过加热液体，改善其流动性；该系统又设有气液分离，可以有效防止气体混入液体中，提高适用范围。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种含有液体供给系统的镀膜设备，包括供给系统和真空蒸镀机，所述供给系统包括：
[0005]储液瓶，其用于存储液体原料，储液瓶内部密封，在储液瓶的顶部具有进气管和出液管，进气管连接高压气源，所述进气管高于液体原料的液面，出液管淹没于液体原料的底部；
[0006]第一阀门，其通过输送管道连接出液管；
[0007]过滤器，其通过输送管道连接第一阀门；
[0008]液体质量流量计，其通过输送管道连接过滤器；
[0009]气液分离器，其通过输送管道连接液体质量流量计；
[0010]第二阀门，其通过输送管道连接气液分离器和真空蒸镀机；
[0011]加热装置，其布置于输送管道上。
[0012]进一步的所述储液瓶的瓶口处设置有密封盖子，所述密封盖子为具有弹性的塑料塞或胶塞，所述进气管和出液管均为硬质管。
[0013]进一步的所述储液瓶连接有升降机构，所述进气管和出液管的底端为针孔状的尖头。
[0014]进一步的所述进气管和出液管为不锈钢管。
[0015]进一步的所述加热装置包括加热带和温控装置，加热带缠绕在输送管道上，温控装置连接加热带控制加热带的温度。
[0016]进一步的所述进气管和出液管的内径为1
‑
2mm，高压气源的压力为10
‑
100PSI。
[0017]进一步的所述真空蒸镀机包括真空腔体，在真空腔体内设置有工件架，工件架连接有旋转马达，工件架下方设置有离子源和金属坩埚，金属坩埚连接有蒸发电源，所述第二
阀门通过输送管道连接至金属坩埚。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过该液体供给系统，可以精确控制液体流量；并且设有管道加热装置，可以通过加热液体，改善其流动性，并且根据不同的液体粘度，通过控制加热带的温度，即可使该液体供给系统适用于不同的液体输送；该系统又设有气液分离，可以有效防止气体混入液体中，避免产生气泡。
附图说明
[0019]图1为本技术含有液体供给系统的镀膜设备的结构示意图；
[0020]图2为镀膜方法的工艺流程图。
[0021]附图标记：1、进气管；2、液体原料；3、储液瓶；4、出液管；5、第一阀门；6、过滤器；7、液体质量流量计；8、加热带；9、温控装置；10、气液分离器；11、第二阀门；12、旋转马达；13、膜厚测量仪；14、工件架；15、工件；16、离子源；17、金属坩埚；18、蒸发电源。
具体实施方式
[0022]参照图1和图2对本技术含有液体供给系统的镀膜设备的实施例做进一步说明。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本技术的具体保护范围。
[0024]此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本技术描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0025]一种含有液体供给系统的镀膜设备，包括供给系统和真空蒸镀机，所述供给系统包括：
[0026]储液瓶3，其用于存储液体原料2，储液瓶3内部密封，在储液瓶3的顶部具有进气管1和出液管4，进气管1连接高压气源，所述进气管1高于液体原料2的液面，出液管4淹没于液体原料2的底部；
[0027]第一阀门5，其通过输送管道连接出液管4，第一阀门5便于输送管道控制、维护；
[0028]过滤器6，其通过输送管道连接第一阀门5；
[0029]液体质量流量计7，其通过输送管道连接过滤器6；
[0030]气液分离器10，其通过输送管道连接液体质量流量计7；
[0031]第二阀门11，其通过输送管道连接气液分离器10和真空蒸镀机，第二阀门11便于输送管道控制、维护，并控制液体原料2进入真空蒸镀机；
[0032]加热装置，其布置于输送管道上。
[0033]通常来说真空蒸镀机其结构可以采用与现有技术相同，具体的如图1所示，所述真
空蒸镀机包括真空腔体，在真空腔体内设置有工件架14，工件架14连接有旋转马达12，工件架14下方设置有离子源16和金属坩埚17，金属坩埚17连接有蒸发电源18，所述第二阀门11通过输送管道连接至金属坩埚17。
[0034]其中工件架14，用于放置工件15，并且工件架14呈伞状结构，可以在真空外旋转马达12的带动下围绕其中心旋转，在工件架14上具有多个工件15放置区域。
[0035]膜厚测量仪13，优选的采用石英振荡器制备。在镀膜的过程中，它的表面通常也被蒸镀上一层薄膜，从而导致石英振荡器的频率发生变化。通过预先矫正，就可以依据频率变化的大小，来测量蒸镀在工件15上薄膜的厚度。这样，可以在镀膜厚度达到指定要求后，机器就可以自动结束镀膜。
[0036]离子源16，优选的采用霍尔离子源16，该离子源16产生的高能离子，可以用来轰击工件15表面，起到预清洁工件15表面的作用，以提高涂层与工件15表面的粘结力。
[0037]金属坩埚17，优选的由金属钼Mo制作，用作承接液体原材料，由于蒸发的原材料是液体，因此，Mo坩埚上有盖子将其密封，同时，盖子表面有多排细孔，使加热形成的蒸汽均匀地蒸发出来，蒸镀至工件15表面。
[0038]优选的所述储液瓶3的瓶口处设置有密封盖子，所述密封盖子为具有弹性的塑料塞或胶塞，所述进气管1和出液管4均为硬质管，其中在进气管1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含有液体供给系统的镀膜设备，包括供给系统和真空蒸镀机，其特征在于，所述供给系统包括：储液瓶，其用于存储液体原料，储液瓶内部密封，在储液瓶的顶部具有进气管和出液管，进气管连接高压气源，所述进气管高于液体原料的液面，出液管淹没于液体原料的底部；第一阀门，其通过输送管道连接出液管；过滤器，其通过输送管道连接第一阀门；液体质量流量计，其通过输送管道连接过滤器；气液分离器，其通过输送管道连接液体质量流量计；第二阀门，其通过输送管道连接气液分离器和真空蒸镀机；加热装置，其布置于输送管道上。2.根据权利要求1所述的含有液体供给系统的镀膜设备，其特征在于：所述储液瓶的瓶口处设置有密封盖子，所述密封盖子为具有弹性的塑料塞或胶塞，所述进气管和出液管均为硬质管。3.根据权利要求2所述的含有液体供给系统的镀膜设备，其特征在于：所述储液瓶连接有升降机...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂新瑶，田成龙，杨勇，唐云俊，
申请(专利权)人：浙江艾微普科技有限公司，
类型：新型
国别省市：