真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种真空镀膜设备，包括蒸镀室主体、门体、密封件、紧固螺栓和螺母，密封件设置于蒸镀室主体和门体之间，蒸镀室主体在与门体贴合的侧面上设置有安装槽，门体和密封件上均设置有与安装槽连通的通孔。紧固螺栓包括相连接的螺杆和螺栓头，安装槽的槽口设置有限位部，螺栓头穿过通孔插入至安装槽内，螺杆远离螺栓头的一端依次穿过安装槽、通孔延伸至门体外，转动紧固螺栓预设角度后，螺栓头能够抵接限位部，而后通过紧固螺栓和螺母的配合，即可使门体、密封件和蒸镀室主体之间稳定连接，以保证对蒸镀室的密封效果。因并未在蒸镀室主体上设置螺纹孔，因此若螺纹连接处损坏，则只需更换紧固螺栓和螺母，维修成本低。维修成本低。维修成本低。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备


[0001]本技术涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]显示设备的显示面板在加工时，需要使用真空镀膜设备对显示面板进行镀膜处理，真空镀膜设备由真空抽气系统和蒸镀室组成，在进行镀膜处理之前，需要先将显示面板放置于蒸镀室内，而后再利用真空抽气系统对蒸镀室进行抽空处理。为保证抽空效果，蒸镀室在关闭的情况下应处于密封状态，一般需要在蒸镀室主体和门体之间夹设密封圈，而后再利用紧固螺栓穿过门体和密封圈并螺纹连接于蒸镀室主体上。现有技术存在以下缺陷：因真空镀膜设备在长期使用过程中需要频繁进行抽空操作，这导致门体和蒸镀室主体之间的相互作用力频繁变化，从而使得紧固螺栓与蒸镀室主体之间的螺纹连接容易受到破坏，即蒸镀室主体上设置的内螺纹结构和紧固螺栓上的外螺纹结构都容易损坏，紧固螺栓在损坏后容易更换，但蒸镀室主体作为真空镀膜设备的主要部件，对其更换不仅需要花费一定的时间，影响生产效率，同时还需要耗费更多的财力，增加生产成本。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：提供一种真空镀膜设备，其蒸镀室主体和门体之间的密封效果好，且连接结构简单，维修更换容易。
[0004]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供一种真空镀膜设备，包括蒸镀室主体和门体，所述蒸镀室主体上开设开口，所述门体可拆卸设置在所述蒸镀室主体上用于封堵所述开口，所述蒸镀室主体和所述门体之间设置密封件，所述蒸镀室主体在与所述门体贴合的侧面上设置有安装槽，所述门体和所述密封件上均设置有与所述安装槽连通的通孔；
[0006]紧固螺栓，包括相连接的螺杆和螺栓头，所述安装槽的槽口设置有限位部，所述螺栓头穿过所述通孔插入至所述安装槽内，所述螺杆远离所述螺栓头的一端依次穿过所述安装槽、所述通孔延伸至所述门体外，转动所述紧固螺栓预设角度后，所述螺栓头能够抵接所述限位部；
[0007]螺母，螺纹连接于所述螺杆并抵压于所述门体背离所述密封件的一侧面。
[0008]作为真空镀膜设备的一种优选方案，所述螺栓头为矩形结构，所述通孔的形状和所述螺栓头的形状一致。
[0009]作为真空镀膜设备的一种优选方案，所述真空镀膜设备还包括限位件，所述限位件能够插设于所述安装槽内且抵接所述螺栓头，所述限位件用于使所述螺栓头始终抵接所述限位部。
[0010]作为真空镀膜设备的一种优选方案，所述限位件包括相连接的限位本体和第一弯折部，所述限位件插设于所述安装槽内，所述第一弯折部抵接所述螺栓头，所述限位本体沿自身长度方向伸出所述安装槽，所述限位本体沿自身宽度方向抵接所述通孔相对的两个侧
壁。
[0011]作为真空镀膜设备的一种优选方案，所述限位件还包括第二弯折部，所述第二弯折部和所述第一弯折部分别连接于所述限位本体长度方向的两端，且所述第二弯折部和所述第一弯折部的弯折方向相反，所述第二弯折部位于所述通孔外。
[0012]作为真空镀膜设备的一种优选方案，所述限位件设置有两个，两个所述限位件沿所述螺栓头的宽度方向相对设置于所述螺栓头的两侧。
[0013]作为真空镀膜设备的一种优选方案，所述限位部于所述安装槽的槽口围设形成供所述螺栓头穿设的通道，所述通道的形状与所述螺栓头的形状一致。
[0014]作为真空镀膜设备的一种优选方案，所述螺杆仅在伸出所述通孔的一段设置有外螺纹。
[0015]作为真空镀膜设备的一种优选方案，所述安装槽设置有多个，多个所述安装槽沿所述开口的周向间隔设置。
[0016]作为真空镀膜设备的一种优选方案，所述真空镀膜设备还包括垫片，所述垫片夹设于所述螺母和所述门体之间。
[0017]本技术的有益效果为：通过在真空镀膜设备的蒸镀室主体上设置安装槽，门体和密封件上设置有与安装槽连通的通孔，使得紧固螺栓可穿过通孔伸入安装槽内，而后转动紧固螺栓以将其限制于安装槽内，以此通过紧固螺栓和螺母的配合，即可使门体、密封件和蒸镀室主体之间稳定连接，以保证对蒸镀室的密封效果。具体地，紧固螺栓包括相连接的螺杆和螺栓头，安装槽的槽口设置有限位部，螺栓头穿过通孔插入至安装槽内，螺杆远离螺栓头的一端依次穿过安装槽、通孔延伸至门体外，转动紧固螺栓预设角度后，螺栓头能够抵接限位部。因该结构无须在蒸镀室主体上设置螺纹孔，因此若螺纹连接处损坏，则只需更换紧固螺栓和螺母，维修成本低。
附图说明
[0018]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0019]图1为本技术实施例的真空镀膜设备的部分结构示意图；
[0020]图2为本技术实施例的真空镀膜设备第一视角的局部剖视图(安装后)；
[0021]图3为本技术实施例的真空镀膜设备第一视角的局部俯视图(安装后)；
[0022]图4为本技术实施例的真空镀膜设备第二视角的局部剖视图(安装中，使用一个限位件)；
[0023]图5为本技术实施例的真空镀膜设备第二视角的局部俯视图(安装中，使用一个限位件)；
[0024]图6为本技术实施例的真空镀膜设备第二视角的局部剖视图(安装中，使用两个限位件)；
[0025]图7为本技术实施例的真空镀膜设备第二视角的局部俯视图(安装中，使用两个限位件)；
[0026]图8为本技术实施例的紧固螺栓和安装槽、通孔的一种位置示意图；
[0027]图9为本技术实施例的紧固螺栓和安装槽、通孔的另一种位置示意图。
[0028]图1至图9中：
[0029]1、门体；10、通孔；
[0030]2、密封件；
[0031]3、蒸镀室主体；30、安装槽；301、限位部；
[0032]4、紧固螺栓；41、螺杆；42、螺栓头；
[0033]5、螺母；
[0034]6、限位件；61、限位本体；62、第一弯折部；63、第二弯折部；
[0035]7、垫片。
具体实施方式
[0036]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0037]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0038]如图1所示，本技术实施例的真空镀膜设备包括蒸镀室主体3和门体1，蒸镀室主体3上开设开口，门体1可拆卸设置在蒸镀室主体3上用于封堵开口，且蒸镀室主体3和门体1之间还设置密封件2，可进一步保证门体1对于该开口的封堵效果，以使蒸镀室能够处于密封状态。
[0039]如图2和图3所示，本实施例中，蒸镀室主体3在与门体1贴合的侧面上设置有安装槽30，在门体1和密封件2上均设置与安装槽30连通的通孔10。可选地，安装槽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备，包括蒸镀室主体和门体，所述蒸镀室主体上开设开口，所述门体可拆卸设置在所述蒸镀室主体上用于封堵所述开口，所述蒸镀室主体和所述门体之间设置密封件，其特征在于，所述蒸镀室主体在与所述门体贴合的侧面上设置有安装槽，所述门体和所述密封件上均设置有与所述安装槽连通的通孔；紧固螺栓，包括相连接的螺杆和螺栓头，所述安装槽的槽口设置有限位部，所述螺栓头穿过所述通孔插入至所述安装槽内，所述螺杆远离所述螺栓头的一端依次穿过所述安装槽、所述通孔延伸至所述门体外，转动所述紧固螺栓预设角度后，所述螺栓头能够抵接所述限位部；螺母，螺纹连接于所述螺杆并抵压于所述门体背离所述密封件的一侧面。2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述螺栓头为矩形结构，所述通孔的形状和所述螺栓头的形状一致。3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括限位件，所述限位件能够插设于所述安装槽内且抵接所述螺栓头，所述限位件用于使所述螺栓头始终抵接所述限位部。4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述限位件包括相连接的限位本体和第一弯折部，所述限位件插设于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：林松涛，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：