一种带有挡板的蒸发镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有挡板的蒸发镀膜设备，涉及蒸发镀膜设备技术领域；而本实用新型专利技术包括蒸发镀膜设备主体，蒸发镀膜设备主体的内部设置有挡板本体，挡板本体的一侧设置有电机，挡板本体的两侧均设置有螺杆，螺杆的一端固定连接有第二皮带轮，螺杆的侧壁螺纹套设有滑块，滑块的顶面固定连接有立板，立板的侧壁转动连接有第一凸轴，第一凸轴远离立板的一端与挡板本体的侧壁相固定，螺杆的一侧设置有活动架，活动架的一端与挡板本体转动连接，活动架的另一端设置有固定座，固定座的底面与蒸发镀膜设备主体的内壁相连接；本实用新型专利技术可以对挡板本体的遮挡位置以及遮挡角度进行调整，从而使得蒸镀适应场景更加广泛。从而使得蒸镀适应场景更加广泛。从而使得蒸镀适应场景更加广泛。

【技术实现步骤摘要】
一种带有挡板的蒸发镀膜设备


[0001]本技术涉及蒸发镀膜设备
，具体为一种带有挡板的蒸发镀膜设备。

技术介绍

[0002]蒸发镀膜是用于半导体制造领域的一种常见的镀膜沉积工艺。蒸发镀膜设备在进行使用时，需要使用到挡板，挡板能够改善蒸发速率在不同角度的渐变性，提高蒸发镀膜的均匀性，而现有的挡板不能对遮挡位置以及角度进行调整，从而导致蒸镀适应场景有限，针对上述问题，专利技术人提出一种带有挡板的蒸发镀膜设备用于解决上述问题。

技术实现思路

[0003]为了解决现有的挡板不能对遮挡位置以及角度进行调整，从而导致蒸镀适应场景有限的问题；本技术的目的在于提供一种带有挡板的蒸发镀膜设备。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种带有挡板的蒸发镀膜设备，包括蒸发镀膜设备主体，蒸发镀膜设备主体的内部设置有挡板本体，挡板本体的一侧设置有电机，启动电机，转轴在电机的作用下带动第一皮带轮进行转动，进而同步带可以带动第二皮带轮进行转动，通过基座可以对电机进行支撑固定，以便对电机进行安装，挡板本体的两侧均设置有螺杆，螺杆的侧壁转动连接有轴承座，轴承座的底面与挡板本体的内壁相连接，轴承座用于对螺杆进行支撑限位，第二皮带轮在进行转动时会带动螺杆进行转动，通过螺杆与滑块内螺纹孔的相互配合，从而可以使得滑块带动挡板本体进行移动，螺杆的一端固定连接有第二皮带轮，螺杆的侧壁螺纹套设有滑块，滑块的数量有两个且对称位于挡板本体的两侧，滑块的侧壁贯穿设置有螺纹孔，螺杆与螺纹孔相配合，滑块的顶面固定连接有立板，立板的侧壁转动连接有第一凸轴，第一凸轴远离立板的一端与挡板本体的侧壁相固定，螺杆的一侧设置有活动架，活动架的一端与挡板本体转动连接，活动架的另一端设置有固定座，固定座的底面与蒸发镀膜设备主体的内壁相连接。
[0005]优选地，电机的一端延伸至有转轴，转轴远离电机的一端固定连接有第一皮带轮，第一皮带轮的侧壁设置有同步带，同步带远离第一皮带轮的一端与第二皮带轮相配合，启动电机，转轴在电机的作用下带动第一皮带轮进行转动，进而同步带可以带动第二皮带轮进行转动。
[0006]优选地，活动架为L型，活动架的数量有两个且对称位于挡板本体的两侧，当滑块进行移动时，在活动架的作用下可以使得挡板本体进行角度调整，以使得蒸镀适应场景更加广泛。
[0007]优选地，固定座的侧壁固定连接有第二凸轴，第二凸轴远离固定座的一端与活动架转动连接，通过第二凸轴可以使得活动架与固定座转动连接。
[0008]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：可以对挡板本体的遮挡位置以及遮挡角度进行调整，启动电机，在同步带的带动下可以使得第二皮带轮进行转动，转动的第二皮带轮会带动螺杆进行转动，通过螺杆与滑块内螺纹孔的相互配合，从而可以使得滑块
带动挡板本体进行移动，且当滑块进行移动时，在活动架的作用下可以使得挡板本体进行角度调整，以使得蒸镀适应场景更加广泛。
附图说明
[0009]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0010]图1为本技术整体结构示意图。
[0011]图2为本技术挡板结构示意图。
[0012]图3为本技术挡板调整后结构示意图。
[0013]图4为本技术A处放大图。
[0014]图5为本技术B处放大图。
[0015]图6为本技术C处放大图。
[0016]图中：1、蒸发镀膜设备主体；2、挡板本体；3、电机；4、转轴；5、第一皮带轮；6、同步带；7、螺杆；8、第二皮带轮；9、轴承座；10、滑块；11、立板；12、第一凸轴；13、活动架；14、第二凸轴；15、固定座。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]实施例：如图1
‑
6所示，本技术提供了一种带有挡板的蒸发镀膜设备，包括蒸发镀膜设备主体1，蒸发镀膜设备主体1的内部设置有挡板本体2，挡板本体2的一侧设置有电机3，挡板本体2的两侧均设置有螺杆7，螺杆7的一端固定连接有第二皮带轮8，螺杆7的侧壁螺纹套设有滑块10，滑块10的顶面固定连接有立板11，立板11的侧壁转动连接有第一凸轴12，第一凸轴12远离立板11的一端与挡板本体2的侧壁相固定，螺杆7的一侧设置有活动架13，活动架13的一端与挡板本体2转动连接，活动架13的另一端设置有固定座15，固定座15的底面与蒸发镀膜设备主体1的内壁相连接。
[0019]电机3的一端延伸至有转轴4，转轴4远离电机3的一端固定连接有第一皮带轮5，第一皮带轮5的侧壁设置有同步带6，同步带6远离第一皮带轮5的一端与第二皮带轮8相配合。
[0020]通过采用上述技术方案，启动电机3，转轴4在电机3的作用下可以带动第一皮带轮5进行转动，进而同步带6可以带动第二皮带轮8进行转动，第二皮带轮8在进行转动时会带动螺杆7进行转动，通过螺杆7与滑块10内螺纹孔的相互配合，从而可以使得滑块10带动挡板本体2进行移动。
[0021]电机3的侧壁设置有基座，电机3通过基座与挡板本体2的内壁相连接。
[0022]通过采用上述技术方案，通过基座可以对电机3进行支撑固定，以便对电机3进行安装。
[0023]螺杆7的侧壁转动连接有轴承座9，轴承座9的底面与挡板本体2的内壁相连接。
[0024]通过采用上述技术方案，轴承座9用于对螺杆7进行支撑限位，第二皮带轮8在进行转动时会带动螺杆7进行转动，通过螺杆7与滑块10内螺纹孔的相互配合，从而可以使得滑块10带动挡板本体2进行移动。
[0025]滑块10的数量有两个且对称位于挡板本体2的两侧。
[0026]通过采用上述技术方案，滑块10的侧壁贯穿设置有螺纹孔，螺杆7与螺纹孔相配合。
[0027]活动架13为L型，活动架13的数量有两个且对称位于挡板本体2的两侧。
[0028]通过采用上述技术方案，当滑块10进行移动时，在活动架13的作用下可以使得挡板本体2进行角度调整，以使得蒸镀适应场景更加广泛。
[0029]固定座15的侧壁固定连接有第二凸轴14，第二凸轴14远离固定座15的一端与活动架13转动连接。
[0030]通过采用上述技术方案，通过第二凸轴14可以使得活动架13与固定座15转动连接。
[0031]工作原理：本技术在使用时，当需对挡板本体2进行调整时，启动电机3，转轴4在电机3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有挡板的蒸发镀膜设备，包括蒸发镀膜设备主体(1)，其特征在于：所述蒸发镀膜设备主体(1)的内部设置有挡板本体(2)，所述挡板本体(2)的一侧设置有电机(3)，所述挡板本体(2)的两侧均设置有螺杆(7)，所述螺杆(7)的一端固定连接有第二皮带轮(8)，所述螺杆(7)的侧壁螺纹套设有滑块(10)，所述滑块(10)的顶面固定连接有立板(11)，所述立板(11)的侧壁转动连接有第一凸轴(12)，所述第一凸轴(12)远离立板(11)的一端与挡板本体(2)的侧壁相固定，所述螺杆(7)的一侧设置有活动架(13)，所述活动架(13)的一端与挡板本体(2)转动连接，所述活动架(13)的另一端设置有固定座(15)，所述固定座(15)的底面与蒸发镀膜设备主体(1)的内壁相连接。2.如权利要求1所述的一种带有挡板的蒸发镀膜设备，其特征在于，所述电机(3)的一端延伸至有转轴(4)，所述转轴(4)远离电机(3)的一端固定连接有第一皮带轮(5)，所述第一皮带轮(5)的侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕秋艳，何永琳，孙晓东，
申请(专利权)人：山东中正器材有限公司，
类型：新型
国别省市：