一种蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀装置，包括真空腔体、拾取机构、蒸镀源以及挡板，拾取机构设置于真空腔体内，用于拾取待蒸镀的基板置于真空腔体中，蒸镀源设置于真空腔体内，蒸镀源朝向于基板的有机蒸镀面喷射有机物，挡板覆盖在基板远离蒸镀源的无机蒸镀面上。该蒸镀装置能够在有机蒸镀时确保蒸镀源不会附着到基板的无机蒸镀面上，从而提升良品率。从而提升良品率。从而提升良品率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置


[0001]本技术涉及液晶面板制作的
，尤其涉及一种蒸镀装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，蒸镀装置利用电阻产生热能，将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在基板表面析出。OLED蒸镀分为有机蒸镀和无机蒸镀，有机蒸镀是在真空腔室中设置多个内置有机材料的蒸镀源，加热蒸镀源蒸镀有机材料至基板的一面上，在完成有机蒸镀后，翻转基板进行另一面的无机蒸镀。现有技术存在以下缺陷：由于在有机蒸镀时，蒸镀源易从基板的四周上升至基板的上方堆积并附着至待无机蒸镀的一面上，在无机蒸镀时基板的无机蒸镀面上便有异物产生，导致良品率低。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种蒸镀装置，能够在有机蒸镀时确保蒸镀源不会附着到基板的无机蒸镀面上，提升良品率。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种蒸镀装置，包括：
[0006]真空腔体；
[0007]拾取机构，所述拾取机构设置于所述真空腔体内，用于拾取待蒸镀的基板置于所述真空腔体中；
[0008]蒸镀源，所述蒸镀源设置于所述真空腔体内，所述蒸镀源朝向于所述基板的有机蒸镀面喷射有机物；以及
[0009]挡板，所述挡板覆盖在所述基板远离所述蒸镀源的无机蒸镀面上。
[0010]作为优选，所述挡板的周侧与所述真空腔体的内壁相贴触。
[0011]作为优选，所述基板呈水平状态置于所述真空腔体中，所述拾取机构位于所述真空腔体的顶部，所述蒸镀源位于所述真空腔体的底部并自下而上朝向于所述基板的有机蒸镀面喷射。
[0012]作为优选，所述拾取机构包括连接板和电磁铁，所述电磁铁设置有多个，多个所述电磁铁可拆卸地设置于所述连接板上，用于吸附所述基板，所述电磁铁连接有电磁阀。
[0013]作为优选，所述连接板上开设有与多个所述电磁铁的数量相对应的通孔，所述通孔内对应设置有螺栓，所述螺栓的端部螺纹连接于所述电磁铁上。
[0014]作为优选，所述挡板上开设有与所述连接板的大小相适配的安装孔，所述连接板的周侧与所述通孔的内壁相贴触。
[0015]作为优选，所述挡板的厚度大于所述连接板和所述基板之间的间隙。
[0016]作为优选，所述连接板的顶面设置有与所述真空腔体相连接，用于带动所述连接板升降的驱动件。
[0017]作为优选，所述连接板上设置有与所述挡板相连接的连接件。
[0018]作为优选，所述连接件包括设置于所述连接板周侧的磁性板体，所述挡板由具有磁性的材料制得，所述挡板磁性吸附于所述磁性板体上。
[0019]本技术的有益效果：本技术提供一种蒸镀装置通过在基板远离蒸镀源的无机蒸镀面覆盖上挡板进行遮挡，当蒸镀源向基板的有机蒸镀面喷射有机物时，扩散的部分有机物被挡板隔档，有效地确保基板待无机沉淀的无机蒸镀面上不会附着有机物，使无机蒸镀时基板的无机蒸镀面的表面无异物，从而提高了良品率。
附图说明
[0020]图1是本技术具体实施方式中蒸镀装置的结构示意图。
[0021]图中：
[0022]10、真空腔体；
[0023]20、拾取机构；21、连接板；211、通孔；212、磁性板体；22、电磁铁；23、螺栓；24、驱动件；
[0024]30、蒸镀源；
[0025]40、挡板；401、安装孔；
[0026]500、基板。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0028]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0031]结合图1所示，本实施例提供了一种蒸镀装置，其包括真空腔体10、拾取机构20、蒸镀源30以及挡板40。拾取机构20设置于真空腔体10内并位于真空腔体10的顶部，用于拾取待蒸镀的基板500保持水平状态的置于真空腔体10中，蒸镀源30设置于真空腔体10内并位
于真空腔体10的底部，蒸镀源30被配置为自下而上地朝向于基板500的有机蒸镀面喷射有机物。挡板40位于真空腔体10的内壁与基板500远离蒸镀源30的端面之间，挡板40覆盖在基板500远离蒸镀源30的无机蒸镀面上。
[0032]可以理解的是，通过在基板500远离蒸镀源30的无机蒸镀面覆盖上挡板40进行遮挡，当蒸镀源30向基板500的有机蒸镀面喷射有机物时，扩散的部分有机物被挡板40隔档，有效地确保基板500待无机沉淀的无机蒸镀面上不会附着有机物，使无机蒸镀时基板500的无机蒸镀面的表面无异物，从而提高了良品率。
[0033]如图1所示，本实施例的拾取机构20包括连接板21和电磁铁22，电磁铁22设置有多个，电磁铁22连接有电磁阀，本实施例设置有四个且每个上面均设置有两个吸块，电磁铁22可拆卸地设置于连接板21上用于吸附基板500于真空腔体10内。具体地，连接板21上开设有与电磁铁22的数量相对应的通孔211，通孔211内对应设置有螺栓23，螺栓23的杆部自上而下穿入通孔211内，且螺栓23的头部搁置于连接板21的顶面上，螺栓23的杆部的端部螺纹连接于电磁铁22上，从而通过旋拧电磁铁22可将其自连接板21上拆下，以便后续维修或更换。当然，本实施例对于电磁铁22的数量不作限定，在其他实施例中也可为任何数量，能够实现基板500的吸附抓取即可。
[0034]进一步地，拾取机构20还包括设置于连接板21的顶面并与真空腔体10相连接用于带动连接板21升降的驱动件24，本实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：真空腔体；拾取机构，所述拾取机构设置于所述真空腔体内，用于拾取待蒸镀的基板置于所述真空腔体中；蒸镀源，所述蒸镀源设置于所述真空腔体内，所述蒸镀源朝向于所述基板的有机蒸镀面喷射有机物；以及挡板，所述挡板覆盖在所述基板远离所述蒸镀源的无机蒸镀面上。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述挡板的周侧与所述真空腔体的内壁相贴触。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述基板呈水平状态置于所述真空腔体中，所述拾取机构位于所述真空腔体的顶部，所述蒸镀源位于所述真空腔体的底部并自下而上朝向于所述基板的有机蒸镀面喷射。4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述拾取机构包括连接板和电磁铁，所述电磁铁设置有多个，多个所述电磁铁可拆卸地设置于所述连接板上，用于吸附所述基板，所述电磁铁连接有电磁阀。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：高超帆，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：