【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列,其由一第一个信号和一第二个信号驱动,所述薄膜致动镜象阵列包括: 一个基片,该基片具有接收从外界来的该第一个信号,和传送该第一个信号的一个电气线路和一个连接终端; 一个致动器,该致动器包括具有下列元件的第一个致动部分:i)用于接收该第一个信号的第一个底部电极,所述第一个底部电极在所述基片的第一部分上形成;ii)与所述第一个底部电极相应,用于接收该第二个信号和在所述第一个顶部电极和所述第一个底部电极之间,产生一个电场的一第一个顶部电极;和iii)在所述第一个顶部电极和所述第一个底部电极之间形成的、并由该电场的作用产生变形的一第一个有源层;该致动器还包括具有下列元件的第二个致动部分:a)用于接收该第二个信号的一第二个底部电极,所述第二个底部电极在所述基片的第二部分之上形成;b)与所述第二个底部电极相应,用于接收该第一个信号的第二个顶部电极,所述第二个顶部电极在所述第二个顶部电极和所述第二个底部电极之间产生一个电场;和c)在所述第二个顶部电极和所述第二个底部电极之间形成的,并由该电场作用产生变形的第二个有源层,所述第二个有源层与所述第一个有源层 ...
【技术特征摘要】
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