光投影系统中的薄膜激励镜列技术方案

披露了薄膜ＡＭＡ。薄膜ＡＭＡ由一个活性矩阵，一个支持件（１７５），激励元件（２１０，２１１）和反射器（２６０）构成。支持件（１７５）由一条支持线（１７４），方环形支持层１７０和锚（１７１，１７２）构成。绝缘件（２２０，２２１）从顶电极（２００，２０１）直到支持层（１７０）。支撑激励元件（２１０，２１１）的锚（１７１，１７２）垂直于激励元件（２１０，２１１）。由于不会产生应力集中线，避免了激励元件（２１０，２１１）的初始倾斜。这样，反射器（２６０）的反射角就有规可循，从而提高了光效率，优化了屏幕上投影图像的画质。而且，通过绝缘件（２２０，２２１）避免了顶电极（２００，２０１）和底电极（１８０，１８１）间的短路现象，从而有效减少了像素中的点缺陷。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
被第一和第二信号激励的光投影系统中的薄膜激励镜列，所述的薄膜激励镜列包括： 一个活性矩阵，具有：一个基体，其内部装有进行开关操作的金属氧化物半导体晶体管；第一金属层，其中有从传送第一信号的金属氧化物半导体的漏外延伸出的漏衬底； 一个支持件，包括：１）一条在所述的活性矩阵上方的支持线；２）方环形的支持层，所述的支持层与支持线制成整体；３）第一锚和两个第二锚，第一锚和第二锚分别位于所述的活性矩阵和邻近所述的支持线的支持层之间； 一个第一激励元件，包括：ａ）接收第一信号的第一底电极，所述的第一底电极位于所述的支持层与所述的支持线垂直的第一部分；ｂ）响应所述的第一底电极的第一顶电极，所述的第一顶电极接收第二信号，产生第一电场；ｃ）第一活性层位于所述的第一顶电极和所述的第一底电极之间，在第一电场作用下发生变形； 一个第二激励元件具有：ｉ）接收第一信号的第二底电极，所述的第二底电极位于所述的支持层与所述的支持线垂直的第二部分；ｉｉ）对应所述的第二底电极的第二顶电极，所述的第二顶电极接收第二信号，产生第二电场，ｉｉｉ）位于第二顶电极和第二底电极之间的第二活性层，在第二电场作用下发生变形；和 一个反射光的反射器，所述的反射器位于所述的第一激励元件和所述的第二激励元件的上方。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄圭昊，
申请(专利权)人：大宇电子有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]