透镜阵列的制造方法及用于该制造方法的薄膜载持基板以及薄膜贴设用工具技术

本发明专利技术提供一种透镜阵列的制造方法及用于该制造方法的薄膜载持基板及薄膜贴设用工具，可以简单、适当且以低成本实现赋予基于粘合性光学薄膜的特定光学特性的透镜阵列。使工具的针16通过载持基板的第2导孔10，与保持区域及粘合剂(F)贴合后，使针16脱离，在第1剥离薄膜(C)与粘合性光学薄膜(D)之间产生剥离，使3层(D)～(F)自2层(B)、(C)分离，然后，使针16通过透镜阵列本体的第1导孔7，且将薄膜保持用凸部15插入凹部6中，而将薄膜(D)贴设于区域(i)上，然后，使针16脱离，使薄膜(D)与第2剥离薄膜(E)之间产生剥离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透镜阵列的制造方法及用于该制造方法的薄膜载持基板以 及薄膜贴设用工具
本专利技术涉及透镜阵列的制造方法及用于该制造方法的薄膜载持基板及薄膜贴设 用工具；特别是涉及适合于制造贴设有粘合性光学薄膜的透镜阵列的透镜阵列的制造方法 及用于该制造方法的薄膜载持基板以及薄膜贴设用工具。
技术介绍
近年来，作为在系统装置内或装置之间或光模块之间高速传送信号的技术，广泛 地应用所谓的光学互连（Optical Interconnection)。此处，光学互连是指将光学零件处理 成如电气零件，安装于用于电脑、汽车或光收发器等的主机板或电路基板等的技术。 用于像这样的光学互连的光模块，例如用于媒体转换器（media converter)或交 换式集线器（switching hub)的内部连接、光收发器、医疗机器、试验装置、影像系统、高速 计算机集群等的装置内或装置间的零件连接等的各种用途。 因此，作为用于这些光模块的光学零件，对于可有效地以紧密结构实现多通道光 学通信，且使多个小直径的透镜排列配置而成的透镜阵列的需求正日益提高。 此处，在以往的透镜阵列中，可设置具有多个发光元件（例如VCSEL :Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直腔面发射激光器）的光电转换装置，并且可设置作 为光导体的多条光纤。 所以，透镜阵列可以以设置这些光电转换装置及多条光纤的状态，通过在各光纤 端面上光学性结合自光电转换装置的各发光元件所射出的光，以进行多通道的光学传输。 以往，在使用光纤的光学通信中，就通信标准或安全性等的理由而言，要求衰减结 合于光纤上的光的光量，这样的要求即使对透镜阵列而言亦相同。 此处，在专利文献1、2中公开了通过将粘合性连接部件夹于其间的2个光学连接 器彼此相对，以粘合性连接部件的粘合力连接两光学连接器的技术。更具体而言，在专利文 献1、2记载的技术中，使用在插入洞的底面上层叠有剥离薄膜及粘合性连接部件的粘合性 连接部件贴设工具。而且，对该粘合性连接部件贴设工具而言，将光学连接器插入到插入洞 中，以该粘合力将连接器前端面贴设于粘合性连接部件。然后，随着自插入洞拔出光学连接 器，自剥离薄膜剥离被贴设在光学连接器的粘合性连接部件。然后，通过使在该前端面贴设 有粘合性连接部件的光学连接器与对象侧的光学连接器相对，来连接两光学连接器。此时， 可通过相对的应力，在两光学连接器之间以皱褶、气泡、卷曲、干斑等的贴设不良情形少的 状态适当地贴设粘合性连接部件。 进而，将这样的专利文献1、2记载的技术应用于粘合性光衰减薄膜，且以对应透 镜阵列的方式贴设光衰减薄膜，可期待以低成本实现对透镜阵列赋予特定的光学特性（此 处为光衰减特性）。 现有技术文献 专利文献 专利文献1 :日本专利第4644218号 专利文献2 :国际公开TO2010/050183 A1
技术实现思路
专利技术所欲解决的课题 但是，在透镜阵列的情形下，有要求单独将光衰减薄膜贴设于凹陷的具有一定程 度深度的光学面上且与没有与其他的光学零件接合的情况，在这样的情况下，由于无法直 接直接利用专利文献1、2那样的光学零件（光学连接器）彼此相对的原理，故要求能在贴 设不良（皱褶、气泡、卷曲、干斑等）情形少的状态下贴设光衰减薄膜的其他方法。 而且，在透镜阵列中，由于有互相不同的透镜彼此贴近的位置关系，而有光衰减薄 膜的贴设位置产生偏差的情形，故要求能以不有意赋予透镜具有光衰减特性的方式即可进 行高精度贴设。另外，为进行高精度贴设，必须进行繁杂的位置调整作业，反而导致成本增 大的问题，所以也必须将贴设时的作业生产成本抑制为必要的最小值。 此外，在贴设光衰减薄膜时，为使光衰减薄膜的粘合力产生作用，有时需将光衰减 薄膜一定程度地压附于光学面侧上，但直至贴设完成后，对光衰减薄膜而言徒增有应力作 用，故必须确实地注意避免对光衰减薄膜的光学特性造成显著恶化。具体而言，在透镜阵列 中处理光衰减薄膜时，实际使用时预先考虑至设置光纤及光电转换装置为止，在设置光纤 或光电转换装置时以及设置状态下，要求已贴设于光学面的光衰减薄膜不会因设置而受到 应力作用。 因此，鉴于这样的情形，本专利技术的目的在于提供可简单、适当且以低成本实现赋予 基于粘合性光学薄膜的特定的光学特性的透镜阵列的制造方法及用于该制造方法的薄膜 载持基板以及薄膜贴设用工具。 为达成所述目的时，本专利技术的权利要求1中的透镜阵列的制造方法的特征在于， 是用以制造具备透镜阵列本体（I)与粘合性光学薄膜（D)的透镜阵列的制造方法； 该透镜阵列本体⑴具有： 在光轴方向（以下定义为z方向）上互相隔着间隔而配置的第1面及第2面， 在所述第1面上沿着垂直于z方向的指定的排列方向（以下定义为X方向）而排 列形成的多个透镜面， 作为通过这些多个透镜面的光应通过的所述第2面上的光学面而配置的平面状 光学面，其在所述第2面上形成包含自z方向投影所述多个透镜面时的全部投影区域的所 述第2面的中央的指定区域，且对该区域周边的区域朝所述透镜面侧凹陷而形成凹部，并 垂直于z方向，和 夹住所述第2面的所述周边区域上的所述光学面，且在X方向上彼此相对的位置 上，平行于z方向而配设的一对第1导孔或导针； 该粘合性光学薄膜（D)以自身的粘合力贴设在贴设区域⑴上，该贴设区域⑴ 包括该透镜阵列本体（I)的所述光学面上的所述多个透镜面中的至少部分透镜面的所述 投影区域； 作为载持有所述粘合性光学薄膜（D)的薄膜载持基板（II)，使用如下的薄膜载持 基板（II): 在对应于基板本体（A)的z方向的z方向的一个表面中的与所述贴设区域⑴ 对应的载持区域（ii)上，自该载持区域（ii)侧依序层叠接合层（B)、非粘合性第1剥离薄 膜（C)、所述粘合性光学薄膜（D)、非粘合性第2剥离薄膜（E)及粘合层（F)， 作为所述第1剥离薄膜（C)与所述粘合性光学薄膜（D)的剥离强度的第1剥离强 度被形成为较所述粘合性光学薄膜Φ)与所述第2剥离薄膜（E)的剥离强度的第2 剥尚强度更小， 在所述基板本体（A)的所述一个表面上的所述载持区域（ii)的外侧区域上，在夹 住所述载持区域（ii)且在对应于X方向的X方向上的彼此相对的位置上，与z〃方向平行 地设有分别对应于所述一对第1导孔/导针的一对第2导孔或导针； 作为用以在所述贴设区域（i)上贴设所述粘合性光学薄膜（D)的薄膜贴设用工具 (III)，使用如下的薄膜贴设用工具（III): 该薄膜贴设用工具（III)具有薄膜保持用凸部和一对针或孔， 该薄膜保持用凸部突设在与工具本体的z方向对应的z'方向的一个端面，即在应 与所述薄膜载持基板（II)及所述透镜阵列本体（I)临接的端面上，朝向所述薄膜载持基板 (II)及所述透镜阵列本体（I)的一侧，并平行于z'方向，通过与所述薄膜载持基板（II)及 所述透镜阵列本体（I)协作，可在其前端面的与所述贴设区域（i)及所述载持区域（ii)对 应的保持区域（iii)上，暂时保持所述粘合性光学薄膜（D)， 该一对针或孔配设在所述工具本体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种的透镜阵列的制造方法，是用以制造具备透镜阵列本体(I)与粘合性光学薄膜(D)的透镜阵列的制造方法，特征在于，该透镜阵列本体(I)具有：在以下定义为z方向的光轴方向上互相隔着间隔而配置的第1面及第2面，在所述第1面上沿着以下定义为x方向的垂直于z方向的指定的排列方向而排列形成的多个透镜面，作为通过这些多个透镜面的光应通过的所述第2面上的光学面而配置的平面状光学面，其在所述第2面上形成包含自z方向投影所述多个透镜面时的全部投影区域的所述第2面的中央的指定区域，且对该区域周边的区域朝所述透镜面侧凹陷而形成凹部，并垂直于z方向，和夹住所述第2面的所述周边区域上的所述光学面，且在x方向上彼此相对的位置上，平行于z方向而配设的一对第1导孔或导针；该粘合性光学薄膜(D)以自身的粘合力贴设在贴设区域(i)上，该贴设区域(i)包括该透镜阵列本体(I)的所述光学面上的所述多个透镜面中的至少部分透镜面的所述投影区域；作为载持有所述粘合性光学薄膜(D)的薄膜载持基板(II)，使用如下的薄膜载持基板(II)：在对应于基板本体(A)的z方向的z”方向的一个表面中的与所述贴设区域(i)对应的载持区域(ii)上，自该载持区域(ii)侧依序层叠接合层(B)、非粘合性第1剥离薄膜(C)、所述粘合性光学薄膜(D)、非粘合性第2剥离薄膜(E)及粘合层(F)，作为所述第1剥离薄膜(C)与所述粘合性光学薄膜(D)的剥离强度的第1剥离强度f(C)‑(D)被形成为较所述粘合性光学薄膜(D)与所述第2剥离薄膜(E)的剥离强度的第2剥离强度f(D)‑(E)更小，在所述基板本体(A)的所述一个表面上的所述载持区域(ii)的外侧区域上，在夹住所述载持区域(ii)且在对应于x方向的x方向上的彼此相对的位置上，与z方向平行地设有分别对应于所述一对第1导孔/导针的一对第2导孔或导针；作为用以在所述贴设区域(i)上贴设所述粘合性光学薄膜(D)的薄膜贴设用工具(III)，使用如下的薄膜贴设用工具(III)：该薄膜贴设用工具(III)具有薄膜保持用凸部和一对针或孔，该薄膜保持用凸部突设在与工具本体的z方向对应的z’方向的一个端面，即在应与所述薄膜载持基板(II)及所述透镜阵列本体(I)临接的端面上，朝向所述薄膜载持基板(II)及所述透镜阵列本体(I)的一侧，并平行于z’方向，通过与所述薄膜载持基板(II)及所述透镜阵列本体(I)协作，可在其前端面的与所述贴设区域(i)及所述载持区域(ii)对应的保持区域(iii)上，暂时保持所述粘合性光学薄膜(D)，该一对针或孔配设在所述工具本体的所述一个端面上的、夹住所述薄膜保持用凸部且在对应于x方向的x’方向上彼此相对的位置上，平行于z’方向，分别对应于所述一对第1导孔/导针，同时，分别对应所述一对第2导孔/导针；此外，对于所述透镜阵列本体(I)、所述薄膜载持基板(II)及所述薄膜贴设用工具(III)而言，为了在所述薄膜保持用凸部的前端面上确保位置、尺寸对应于所述载持区域(ii)的所述保持区域(iii)，且在所述光学面上确保对应于所述保持区域(iii)的位置、尺寸的所述贴设区域(i)，以及确保所述薄膜保持用凸部插入所述第2面的所述凹部，要求以所述第1导孔/导针、所述第2导孔/导针及所述针/孔的各中心为基准来设定所述载持区域(ii)、所述薄膜保持用凸部、所述光学面和及所述透镜面的位置、尺寸；以上述为前提，依序实施：第1阶段：在所述薄膜载持基板(II)的所述载持区域(ii)上的所述层叠物(B)～(F)上，以临接所述薄膜贴设用工具(III)的所述薄膜保持用凸部的前端面的状态，使所述薄膜贴设用工具(III)的所述一对针/孔通过所述薄膜载持基板(II)的所述一对第2导孔/导针，以所述粘合层(F)的粘合力贴合所述薄膜保持用凸部的所述保持区域(iii)和作为最上层的所述粘合层(F)的上表面；第2阶段：在该第1阶段后，使所述一对针/孔自所述一对第2导孔/导针脱离，以所述第1剥离强度f(C)‑(D)与所述第2剥离强度f(D)‑(E)的大小关系，在所述第1剥离薄膜(C)与所述粘合性光学薄膜(D)之间产生剥离，以使上层侧的3层(D)～(F)保持在所述薄膜保持用凸部的所述保持区域(iii)上的状态，自残留于基板本体(A)侧的下层侧的2层(B)、(C)分离；第3阶段：在该第2阶段后，在所述透镜阵列本体(I)的所述光学面上，以临接被保持于所述薄膜保持用凸部的所述保持区域(iii)上的所述3层(D)～(F)的状态，使所述一对针/孔通过所述透镜阵列本体(I)的所述一对第1导孔/导针，同时，将所述薄膜保持用凸部与所述3层(D)～(F)同时插入所述第2面的所述凹部，以所述粘合性光学薄膜(D)的粘合力使所述3层(D)～(F)中作为最下层的所述粘合性光学薄膜(D)的下表面贴附于所述光学面的所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.01.30 JP 2012-0169591. 一种的透镜阵列的制造方法，是用以制造具备透镜阵列本体（I)与粘合性光学薄膜 (D)的透镜阵列的制造方法，特征在于， 该透镜阵列本体（I)具有： 在以下定义为z方向的光轴方向上互相隔着间隔而配置的第1面及第2面， 在所述第1面上沿着以下定义为X方向的垂直于z方向的指定的排列方向而排列形成 的多个透镜面， 作为通过这些多个透镜面的光应通过的所述第2面上的光学面而配置的平面状光学 面，其在所述第2面上形成包含自z方向投影所述多个透镜面时的全部投影区域的所述第 2面的中央的指定区域，且对该区域周边的区域朝所述透镜面侧凹陷而形成凹部，并垂直于 z方向，和 夹住所述第2面的所述周边区域上的所述光学面，且在X方向上彼此相对的位置上，平 行于z方向而配设的一对第1导孔或导针； 该粘合性光学薄膜（D)以自身的粘合力贴设在贴设区域（i)上，该贴设区域（i)包括 该透镜阵列本体（I)的所述光学面上的所述多个透镜面中的至少部分透镜面的所述投影 区域； 作为载持有所述粘合性光学薄膜（D)的薄膜载持基板（II)，使用如下的薄膜载持基板 (II) ： 在对应于基板本体（A)的z方向的z方向的一个表面中的与所述贴设区域（i)对应的 载持区域（ii)上，自该载持区域（ii)侧依序层叠接合层（B)、非粘合性第1剥离薄膜（C)、 所述粘合性光学薄膜（D)、非粘合性第2剥离薄膜（E)及粘合层（F)， 作为所述第1剥离薄膜（C)与所述粘合性光学薄膜（D)的剥离强度的第1剥离强度 ffcHD)被形成为较所述粘合性光学薄膜（D)与所述第2剥离薄膜（E)的剥离强度的第2剥 尚强度更小， 在所述基板本体（A)的所述一个表面上的所述载持区域（ii)的外侧区域上，在夹住所 述载持区域（ii)且在对应于X方向的X方向上的彼此相对的位置上，与z〃方向平行地设 有分别对应于所述一对第1导孔/导针的一对第2导孔或导针； 作为用以在所述贴设区域（i)上贴设所述粘合性光学薄膜（D)的薄膜贴设用工具 (III) ，使用如下的薄膜贴设用工具（III): 该薄膜贴设用工具（III)具有薄膜保持用凸部和一对针或孔， 该薄膜保持用凸部突设在与工具本体的z方向对应的z'方向的一个端面，即在应与所 述薄膜载持基板（II)及所述透镜阵列本体（I)临接的端面上，朝向所述薄膜载持基板（II) 及所述透镜阵列本体（I)的一侧，并平行于z'方向，通过与所述薄膜载持基板（II)及所述 透镜阵列本体（I)协作，可在其前端面的与所述贴设区域（i)及所述载持区域（ii)对应的 保持区域（iii)上，暂时保持所述粘合性光学薄膜（D)， 该一对针或孔配设在所述工具本体的所述一个端面上的、夹住所述薄膜保持用凸部且 在对应于X方向的X'方向上彼此相对的位置上，平行于z'方向，分别对应于所述一对第1 导孔/导针，同时，分别对应所述一对第2导孔/导针； 此外，对于所述透镜阵列本体（I)、所述薄膜载持基板（Π )及所述薄膜贴设用工具 (III)而言，为了在所述薄膜保持用凸部的前端面上确保位置、尺寸对应于所述载持区域 (ii)的所述保持区域（iii)，且在所述光学面上确保对应于所述保持区域（iii)的位置、尺 寸的所述贴设区域（i)，以及确保所述薄膜保持用凸部插入所述第2面的所述凹部，要求以 所述第1导孔/导针、所述第2导孔/导针及所述针/孔的各中心为基准来设定所述载持 区域（ii)、所述薄膜保持用凸部、所述光学面和及所述透镜面的位置、尺寸； 以上述为如提，依序实施： 第1阶段：在所述薄膜载持基板（Π )的所述载持区域（ii)上的所述层叠物（B)?（F) 上，以临接所述薄膜贴设用工具（III)的所述薄膜保持用凸部的前端面的状态，使所述薄 膜贴设用工具（III)的所述一对针/孔通过所述薄膜载持基板（II)的所述一对第2导孔/ 导针，以所述粘合层（F)的粘合力贴合所述薄膜保持用凸部的所述保持区域（iii)和作为 最上层的所述粘合层（F)的上表面； 第2阶段：在该第1阶段后，使所述一对针/孔自所述一对第2导孔/导针脱离，以所 述第1剥离强度ffcMD)与所述第2剥离强度f(D)_(E)的大小关系，在所述第1剥离薄膜（C)与 所述粘合性光学薄膜（D)之间产生剥离，以使上层侧的3层（D)?（F)保持在所述薄膜保 持用凸部的所述保持区域（iii)上的状态，自残留于基板本体（A)侧的下层侧的2层（B)、 (C)分离； 第3阶段：在该第2阶段后，在所述透镜阵列本体（I)的所述光学面上，以临接被保持 于所述薄膜保持用凸部的所述保持区域（iii)上的所述3层（D)?（F)的状态，使所述一 对针/孔通过所述透镜阵列本体（I)的所述一对第1导孔/导针，同时，将所述薄膜保持用 凸部与所述3层（D)?（F)同时插入所述第2面的所述凹部，以所述粘合性光学薄膜（D) 的粘合力使所述3层（D)?（F)中作为最下层的所述粘合性光学薄膜（D)的下表面贴附于 所述光学面的所述贴设区域（i)上； 第4阶段：在该第3阶段后，使所述一对针/孔自所述一对第1导孔/导针脱离，在所 述粘合性光学薄膜（D)与所述第2剥离薄膜（E)之间产生剥离，使上层侧的2层（E)、（F) 以直接保持于所述薄膜保持用凸部的所述保持区域（iii)上的状态，自残留于所述贴设区 域（i)侧的所述粘合性光学薄膜（D)分离； 由此制得在所述贴设区域（i)上，所述粘合性光学薄膜（D)以较所述第2面的所述周 边的区域还向所述透镜面侧凹陷的状态来贴设的所述透镜阵列。2.如权利要求1所述的透镜阵列的制造方法，特征在于， 所述透镜阵列本体（I)为： 所述光学面自z方向观察时，呈现为在X方向长且在以下定义为y方向的垂直于X方 向及z方向的方向短的矩形， 连结所述一对第1导孔/导针的中心彼此间且垂直于z方向的第1假想线段，自z方 向观察时为平行于X方向，与所述光学面的y方向上的中心线一致， 将所述第1假想线段分为二等分且平行于y方向的垂直二等分线，自z方向观察时，与 所述光学面的X方向上的中心线一致； 所述薄膜载持基板（II)为： 所述载持区域（ii)上的层叠物（B)?（F)自z方向观察时，呈现为由沿着X方向的 外形线段与沿着垂直于X方向及z方向的y方向的外形线段所构成的矩形状， 连结所述一对第2导孔/导针的中心彼此间且垂直于z方向的第2假想线段为平行 于χ方向； 所述薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：棚泽昌弘，森冈心平，后藤诚，桥本展宏，
申请(专利权)人：恩普乐股份有限公司，株式会社巴川制纸所，
类型：发明
国别省市：日本;JP