一种键合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种键合装置，包括键合头机构、定位机构和工作平台，其中：工作平台用于承载需要键合的工件；键合头机构位于工作平台的上方并被配置为对工作平台上的工件进行键合；定位机构被配置为对工件的待焊接位置进行定位；定位机构包括物镜部和目镜部；目镜部固定安装在键合头机构的侧边，并被配置为获取待焊接位置的图像，物镜部的固定端与键合头机构固定连接，物镜部的活动端位于目镜部的观测端的正下方，物镜部被配置为可改变物镜部的活动端与目镜部之间的距离。通过改变物镜部的活动端与目镜部之间的距离调节焦距，便于观察键合头机构高度不同的位置。合头机构高度不同的位置。合头机构高度不同的位置。

【技术实现步骤摘要】
一种键合装置


[0001]本技术属于半导体加工
，尤其涉及一种键合装置。

技术介绍

[0002]键合是把电路芯片上已金属化的电路引出端或电极与装配芯片的金属引线或外壳引出电极线一一对应连接起来的焊接工艺。在焊接时需要对工件焊接处进行图像定位，如果引线键合的头部和尾部的所在平面的高度差较大的话，其中一个焊点的位置会拍不清楚，使得定位有误差，影响引线键合效果。

技术实现思路

[0003]为了解决相关技术中的问题，本申请提供了一种键合装置可以有效提高定位相机的定位精度，提高引线键合效果。
[0004]技术方案如下：
[0005]一种键合装置，包括键合头机构、定位机构和工作平台，其中：工作平台用于承载需要键合的工件；键合头机构位于工作平台的上方并被配置为对工作平台上的工件进行键合；定位机构被配置为对工件的待焊接位置进行定位；定位机构包括物镜部和目镜部；目镜部固定安装在键合头机构的侧边，并被配置为获取待焊接位置的图像，物镜部的固定端与键合头机构固定连接，物镜部的活动端位于目镜部的观测端的正下方，物镜部被配置为可改变物镜部的活动端与目镜部之间的距离。
[0006]通过改变物镜部的活动端与目镜部之间的距离调节焦距，便于观察键合头机构高度不同的位置。
[0007]进一步地，物镜部包括物镜、物镜安装板、安装架和驱动装置，其中：物镜设置于目镜部的观测端的正下方；安装架的一端与键合头机构固定连接；驱动装置的固定端与安装架固定连接，驱动装置的驱动端与物镜安装板传动连接，物镜固定安装在物镜安装板上，驱动装置被配置为带动物镜远离或靠近目镜部运动。
[0008]通过驱动装置驱动物镜安装板带动物镜远离或靠近目镜部，实现调焦功能。
[0009]进一步地，物镜部还包括滑轨和同步带结构，其中：同步带结构安装在安装架上；驱动装置的驱动端连接于同步带结构；物镜安装板固定连接于同步带结构的同步带；物镜安装板通过滑轨滑动连接于安装架；同步带结构用于带动物镜安装板沿滑轨滑动，进而改变物镜与目镜部之间的距离。
[0010]设置同步带结构可将驱动装置与物镜安装板传动连接，使驱动装置沿设定方向驱动物镜安装板。
[0011]进一步地，物镜安装板配设有至少一个拉簧，拉簧的两端分别弹性连接于物镜安装板和安装架；拉簧的拉伸方向与滑轨平行。
[0012]设置拉簧可以使物镜安装板结束调焦后自动归位，同时避免物镜安装板受重力影响下垂对调焦精度造成影响。
[0013]进一步地，同步带结构还包括驱动轮和传动轮；驱动轮和传动轮安装于安装架；驱动轮和传动轮的圆心连线方向与滑轨平行；驱动轮连接于驱动装置的驱动端；同步带缠绕连接于驱动轮和传动轮；物镜安装板固定连接于同步带。
[0014]通过驱动轮和传动轮设置同步带的运动轨迹，进而控制物镜安装板的运动方向。
[0015]进一步地，物镜安装板包括第一夹板和第二夹板，第一夹板和第二夹板共同夹合于同步带；第一夹板和第二夹板通过螺栓夹紧同步带。
[0016]设置第一夹板和第二夹板通过螺栓夹紧同步带，使物镜安装板更加稳固地连接同步带，可以进一步提高调焦精度。
[0017]进一步地，目镜部包括相机、目镜、安装块和反射结构，其中：目镜的一端与相机固定连接；目镜的另一端与反射结构的出光端固定连接；反射结构的观测端位于物镜的正上方；反射结构通过安装块固定安装在键合头机构的侧边；相机拍摄反射结构的观测端获取到的工件的图像，实现对工件进行拍照定位。
[0018]设置反射结构可将图像反射至相机，解决了由于相机体积过大无法安装在工件附近的问题。
[0019]进一步地，键合头机构包括升降组件、夹持组件、劈刀组件和切刀组件，其中：目镜部和物镜部通过安装架安装在升降组件上；夹持组件、劈刀组件和切刀组件安装于升降组件；升降组件用于带动目镜部、物镜部、夹持组件、劈刀组件和切刀组件上下运动；夹持组件用于夹持工件；劈刀组件用于将引线按压在工件表面并对其进行键合；切刀组件用于切断焊接完成后的引线。
[0020]进一步地，夹持组件包括夹爪和第一音圈电机，第一音圈电机的驱动端连接于夹爪；第一音圈电机用于控制夹爪的开合。
[0021]进一步地，劈刀组件包括劈刀和超声波换能器；劈刀在升降组件带动下将引线按压在工件表面；超声波换能器用于对引线和工件进行焊接。
[0022]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本技术。
附图说明
[0023]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
[0024]图1为本技术的结构示意图；
[0025]图2为本技术的物镜部和目镜部的安装位置示意图；
[0026]图3为本技术的目镜部的结构示意图；
[0027]图4为本技术的物镜部的结构示意图；
[0028]图1
‑
4包括：1、键合头机构；2、物镜部；21、物镜；22、物镜安装板；221、第一夹板；222、第二夹板；223、拉簧；23、安装架；24、驱动装置；25、滑轨；261、驱动轮；262、传动轮；263、同步带；3、目镜部；31、相机；32、目镜；33、安装块；34、反射结构；4、工作平台。
具体实施方式
[0029]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及
附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本技术相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本技术的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0030]如附图1、2所示：
[0031]该实施例中，一种键合装置，包括键合头机构1、定位机构和工作平台4，其中：工作平台4用于承载需要键合的工件；键合头机构1位于工作平台4的上方并被配置为对工作平台4上的工件进行键合；定位机构被配置为对工件的待焊接位置进行定位；定位机构包括物镜部2和目镜部3；目镜部3固定安装在键合头机构1的侧边，并被配置为获取待焊接位置的图像，物镜部2的固定端与键合头机构1固定连接，物镜部2的活动端位于目镜部3的观测端的正下方，物镜部2被配置为可改变物镜部2的活动端与目镜部3之间的距离。
[0032]在键合头机构1工作前，将物镜部2对准键合头机构1的工作端，调整物镜部2的活动端位置改变成像焦距，得到键合头机构1的工作端的清晰图像，以此对键合头机构1的工作端进行调试。
[0033]通过改变物镜部2的活动端与目镜部3之间的距离调节焦距，便于观察键合头机构1高度不同的位置。
[0034]如附图1、2、4所示：
[0035]该实施例中，物镜部2包括物镜21、物镜安装板22、安装架23和驱动装置24，其中：物镜21设置于目镜部3的观测端的正下方；安装架23的一端与键合头机构1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种键合装置，其特征在于，所述键合装置包括键合头机构、定位机构和工作平台，其中：所述工作平台用于承载需要键合的工件；所述键合头机构位于所述工作平台的上方并被配置为对所述工作平台上的工件进行键合；所述定位机构被配置为对所述工件的待焊接位置进行定位；所述定位机构包括物镜部和目镜部；所述目镜部固定安装在所述键合头机构的侧边，并被配置为获取所述待焊接位置的图像，所述物镜部的固定端与所述键合头机构固定连接，所述物镜部的活动端位于所述目镜部的观测端的正下方，所述物镜部被配置为可改变所述物镜部的活动端与所述目镜部之间的距离。2.根据权利要求1所述的键合装置，其特征在于，所述物镜部包括物镜、物镜安装板、安装架和驱动装置，其中：所述物镜设置于所述目镜部的观测端的正下方；所述安装架的一端与所述键合头机构固定连接；所述驱动装置的固定端与所述安装架固定连接，所述驱动装置的驱动端与所述物镜安装板传动连接，所述物镜固定安装在所述物镜安装板上，所述驱动装置被配置为带动所述物镜远离或靠近所述目镜部运动。3.根据权利要求2所述的键合装置，其特征在于，所述物镜部还包括滑轨和同步带结构，其中：所述同步带结构安装在所述安装架上；所述驱动装置的驱动端连接于所述同步带结构；所述物镜安装板固定连接于所述同步带结构的同步带；所述物镜安装板通过所述滑轨滑动连接于所述安装架；所述同步带结构用于带动所述物镜安装板沿所述滑轨滑动，进而改变所述物镜与所述目镜组件之间的距离。4.根据权利要求3所述的键合装置，其特征在于，所述物镜安装板配设有至少一个拉簧，所述拉簧的两端分别弹性连接于所述物镜安装板和所述安装架；所述拉簧的拉伸方向与所述滑轨平行。5.根据权利要求3所述的键合装置，其特征在于，所述同步带结构还包括驱动轮和传动轮；所述驱动轮和所述传动轮安装于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周凡，张倚云，窦宝兴，刘伟，
申请(专利权)人：无锡奥特维科芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：