一种适用于面板的摇摆喷淋结构制造技术

本实用新型专利技术的一种适用于面板的摇摆喷淋结构，包括驱动组件、供液组件、喷淋管，其特征在于，喷淋结构包括摇杆组件、固定板，摇摆组件包括长摇杆、若干个短摇杆、轴筒、若干个摇晃轴，摇摆组件分别与驱动组件和喷淋管连接，驱动组件通过摇摆组件，使喷淋管往复摆动。该喷淋结构通过摇摆组件，将喷淋管的往复滑动改成了摆动，从而避免了使用导轨，节约了导轨占用的空间。的空间。的空间。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于面板的摇摆喷淋结构


[0001]本技术涉及喷淋结构，具体涉及一种适用于面板的摇摆喷淋结构。

技术介绍

[0002]一般来说，半导体晶圆、LCD、OLED等平板显示用基板或玻璃板等各种基板都是经过多种制造工艺制造的。这些基板的制造工序中，刻蚀工艺属于非常重要的一个环节，刻蚀工艺需要药液对基板喷淋，而且刻蚀工艺对于药液喷洒的均一性具有相当高的工艺要求。
[0003]现有技术提供了一种用于基板喷淋的喷淋结构，它包括驱动部分、连杆部分、导轨、横梁以及喷洒装置。现有的喷淋结构的原理是，驱动部分通过连杆部分，将驱动部分的圆周运动，转化为直线运动，连杆部分又作用在横梁上，让横梁沿导轨直线移动，喷洒装置与横梁连接，实现同步运动，在驱动部分的动力下，喷洒装置来回往复地往面板上喷洒药液。
[0004]可知，现有的药液喷洒方式，是通过横梁的往复直线运动，实现喷洒装置的往复直线运动，这具有一个缺陷：就是要搭设两个导轨供横梁运动，所需空间大。

技术实现思路

[0005]为克服现有技术的不足，本技术提出一种适用于面板的摇摆喷淋结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于面板的摇摆喷淋结构，包括驱动组件、供液组件、喷淋管，其特征在于，所述喷淋结构包括摇杆组件、固定板，所述摇杆组件包括长摇杆、若干个短摇杆、轴筒、若干个摇晃轴，所述摇杆组件分别与驱动组件和喷淋管连接，所述驱动组件通过摇杆组件，使喷淋管往复摆动，所述长摇杆的其中一端与第二连杆铰接，每个所述短摇杆的其中一端铰接在长摇杆上，所述短摇杆的另一端与摇晃轴固定连接，所述摇晃轴相对转动地连接在轴筒上，所述轴筒固定在固定板上，所述摇晃轴与喷淋管连接，每个摇晃轴的顶部都处于固定板的同一高度，每个短摇杆的下侧也处于长摇杆的同一高度。2.根据权利要求1所述的一种适用于面板的摇摆喷淋结构，其特征在于，所述驱动组件包括电机、飞轮、偏心轴、第一连杆、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦明印，孔祥振，李为一，
申请(专利权)人：南京华易泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：