一种用于晶圆解胶的UV照射机制造技术

本实用新型专利技术公开的属于晶圆切片技术领域，具体为一种用于晶圆解胶的UV照射机，包括外框架和流水线，所述流水线贯穿框架，所述外框架的内腔前后侧均安装有导向杆，两侧所述导向杆的上方活动安装有滑行机构，所述滑行机构的本体上安装有LED灯，本装置在框架的内腔中设置有导向杆，然后将滑行机构与导向杆活动连接，滑行机构可以带着LED灯沿着导向杆进行移动，通过调节滑行机构的位置，可以使得当晶圆需要照射时，晶圆正好流动到滑行机构的下方，从而使得LED灯可以对晶圆进行照射解胶，进而使得UV照射机可以对不同规格的晶圆进行解胶。UV照射机可以对不同规格的晶圆进行解胶。UV照射机可以对不同规格的晶圆进行解胶。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆解胶的UV照射机


[0001]本技术涉及晶圆切片
，具体为一种用于晶圆解胶的UV照射机。

技术介绍

[0002]UVLED光源照射机简称UV照射机，它是一种可根据需要选择365nm、385nm、395nm、405nm波长的不同功率的LED。晶圆在切片过程中，需要先用UV胶把晶圆固定起来，然后进行划片加工处理，随后通过UV照射机对固定好的晶圆进行照射，使晶元上的UV胶膜发生硬化，这时晶圆与UV胶膜之间的粘性便会降低，从而使得UV胶膜可以被从晶圆切片上取下来。
[0003]UV照射机中采用多个独立的LED照射头组成多个独立工位，这样可以通过电脑编程模式来控制LED照射头的照射次序及照射功率，从而减少人为操作而导致的时间误差，但是现有的UV照射机中的多个独立LED照射头均是固定的，晶圆在流水线上移动时，受于移动速度限制，当对其它规格的晶圆进行解胶时，会出现在尚未到达照射时间时，晶圆就流动到LED照射头的下方情况，此时会导致晶圆无法被正常照射。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于晶圆解胶的UV照射机，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的UV照射机中的多个独LED照射头无法移动的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆解胶的UV照射机，包括外框架和流水线，所述流水线贯穿框架，所述外框架的内腔前后侧均安装有导向杆，两侧所述导向杆的上方活动安装有滑行机构，所述滑行机构的本体上安装有LED灯。
[0006]优选的，所述滑行机构包括下框架和照射板，所述下框架的上方安装有直线导轨，所述直线导轨的上端贯穿照射板并连接有顶板，所述顶板的上方安装有气缸，所述气缸的伸缩杆贯穿顶板并与照射板连接。
[0007]优选的，所述外框架的本体前后侧均通过合页连接有防护门。
[0008]优选的，所述滑行机构的左右侧均设置有定位块，所述定位块套设在导向杆的外侧。
[0009]优选的，两侧所述导向杆上的定位块之间连接有支撑板，所述支撑板的上下侧均设置有挡光板。
[0010]优选的，两侧所述导向杆的外侧均设置有刻度标尺。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]本装置在框架的内腔中设置有导向杆，然后将滑行机构与导向杆活动连接，滑行机构可以带着LED灯沿着导向杆进行移动，通过调节滑行机构的位置，可以使得当晶圆需要照射时，晶圆正好流动到滑行机构的下方，从而使得LED灯可以对晶圆进行照射解胶，进而使得UV照射机可以对不同规格的晶圆进行解胶。
附图说明
[0013]图1为本技术结构示意图；
[0014]图2为本技术主视图局部剖视结构示意图；
[0015]图3为本技术滑行机构左视结构示意图；
[0016]图4为本技术定位块左视结构示意图。
[0017]图中：1框架、2流水线、3防护门、4导向杆、5定位块、6挡光板、7滑行机构、71下框架、72直线导轨、73照射板、74顶板、75气缸、8支撑板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0021]实施例：
[0022]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种用于晶圆解胶的UV照射机，包括外框架1和流水线2，流水线2贯穿框架1，晶圆放置在流水线2的上方，然后随着流水线2的流动进入到外框架1的内部，外框架1包括支撑框架和防护框架，防护框架盖在支撑框架的上方，通过防护框架可以避免LED灯射出的紫外线反射到本装置的外侧，支撑框架的上方前后均设置有支撑柱，外框架1内腔中的导向杆4分别位于前后侧支撑柱的上方，两侧导向杆4的上方活动安装有滑行机构7，滑行机构7可以左右滑动，滑行机构7的本体上安装有LED灯，多若干个LED灯组成一个LED照射头，通过调节滑行机构7的位置，可以使有LED照射头位于需要的位置。
[0023]滑行机构7包括下框架71和照射板73，下框架71的上方安装有直线导轨72，直线导轨72的上端贯穿照射板73并连接有顶板74，顶板74的上方安装有气缸75，气缸75的伸缩杆贯穿顶板74并与照射板73连接，LED照射头位于照射板73的下方，LED照射头与晶圆之间的距离也会影响晶圆的解胶效果，通过气缸75可以控制照射板73升降，照射板73可以带动LED照射头升降，从而改变LED照射头与晶圆之间的间距。
[0024]外框架1的本体前后侧均通过合页连接有防护门3，打开防护门3后，操作人员可以进入到外框架1的内腔中并对滑行机构7的位置进行调节。
[0025]滑行机构7的左右侧均设置有定位块5，定位块5与滑行机构7固定连接，定位块5套
设在导向杆4的外侧，定位块5的本体上方设置有紧定螺钉，拧紧紧定螺钉后定位块5被固定到导向杆4上，拧松紧定螺钉后，可以推着定位块5左右滑动。
[0026]两侧导向杆4上的定位块5之间连接有支撑板8，支撑板8的上下侧均设置有挡光板6，上侧挡光板6靠近顶板74的一侧与顶板74焊接，通过挡光板6可以确保单个LED照射头的照射面只位于滑行机构7的下方，从而避免其余位置受到该组LED照射头的影响。
[0027]两侧导向杆4的外侧均设置有刻度标尺，通过刻度标尺可以准确了解到滑行机构7的位置。
[0028]工作原理：需要调节滑行机构7的位置时，打开防护门3，操作工人进入到框架1的内腔中，然后拧松定位块5上的紧定螺钉，随后将滑行机构7推动到需要的位置，随后拧紧定位块5上的紧定螺钉即可将定位块5固定，此时与定位块5连接的滑行机构7也被固定。
[0029]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆解胶的UV照射机，包括外框架(1)和流水线(2)，其特征在于：所述流水线(2)贯穿框架(1)，所述外框架(1)的内腔前后侧均安装有导向杆(4)，两侧所述导向杆(4)的上方活动安装有滑行机构(7)，所述滑行机构(7)的本体上安装有LED灯。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆解胶的UV照射机，其特征在于：所述滑行机构(7)包括下框架(71)和照射板(73)，所述下框架(71)的上方安装有直线导轨(72)，所述直线导轨(72)的上端贯穿照射板(73)并连接有顶板(74)，所述顶板(74)的上方安装有气缸(75)，所述气缸(75)的伸缩杆贯穿顶板(74)并与照射板(7...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘胜英，徐长远，
申请(专利权)人：沈阳汉为科技有限公司，
类型：新型
国别省市：