本发明专利技术涉及一种识别片盒内硅片的自动控制系统及其操作方法，包括识别片盒、平行光光源阵列、光栅片、二维码扫描器、全自动相机、EAP控制系统和MES控制系统；识别片盒用来放置硅片，识别片盒上安装有带有硅片信息的二维码标签；平行光光源阵列位于识别片盒下方，同时平行光光源阵列上安装有光栅片，平行光光源阵列发出平行光穿过光栅片和硅片，形成测定硅片是否发生夹片现象和硅片数量的识别信息。本发明专利技术具有降低管理成本、提高检测核对效率、确保包装准确、避免出现夹片、混片、多片、少片等异常现象等特点。现象等特点。现象等特点。
【技术实现步骤摘要】
一种识别片盒内硅片的自动控制系统及其操作方法
[0001]本专利技术涉及硅片包装
，特别是涉及一种识别片盒内硅片的自动控制系统及其操作方法。
技术介绍
[0002]硅片包装前人工检查标签，核对片数，因硅片在片盒内密封，人工核对困难，硅片间隙小密度高，片数识别有难度，很难保证准确性，片数和实物数量不一致易造成混片，在集成电路领域属于严重异常，其管理成本高，控制难度大。为了解决上述问题，需要设计一种新的硅片识别控制系统
技术实现思路
[0003]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种识别片盒内硅片的自动控制系统及其操作方法，具有降低管理成本、提高检测核对效率、确保包装准确、避免出现夹片、混片、多片、少片等异常现象等特点。
[0004]本技术方案利用平行光光栅干涉原理和拍照成像技术，实现片盒内硅片位置和硅片实物数量的自动识别核对，当硅片位置在片槽内倾斜时提示“夹片”，当识别硅片数量和原标签及MES系统规格要求不一致时提示“数量错误”，MES系统中断该盒产品后续作业，直至该错误得到完全纠正。从而防止半导体硅片加工过程中混片/多片/少片/夹片等异常发生，确保硅片实物和信息对照一致，准确可靠。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种识别片盒内硅片的自动控制系统，包括识别片盒、平行光光源阵列、光栅片、二维码扫描器、全自动相机、EAP控制系统和MES控制系统；
[0006]识别片盒用来放置硅片，识别片盒上安装有带有硅片信息的二维码标签；
[0007]平行光光源阵列位于识别片盒下方，同时平行光光源阵列上安装有光栅片，平行光光源阵列发出平行光穿过光栅片和硅片，形成测定硅片是否发生夹片现象和硅片数量的识别信息；
[0008]二维码扫描器与二维码标签用来识别硅片的信息，同时将信息传输到EAP控制系统内；
[0009]全自动相机位于识别片盒上方，全自动相机将平行光光源阵列透过光栅片和识别片盒后的图像信息记录下来，并传输到EAP控制系统内；
[0010]EAP控制系统与MES控制系统相连的同时，与传感器、全自动相机相连，EAP控制系统存储当前测得的硅片的信息；
[0011]MES控制系统内存储硅片正常放置时的参数信息，用来与EAP控制系统测得信息进行对比。
[0012]一种识别片盒内的自动控制系统的操作方法，具体步骤如下：
[0013]步骤一：将所需包装的硅片尺寸和型号信息输入到MES控制系统内，同时选择适当
尺寸的识别片盒和适当尺寸的光栅片；
[0014]步骤二：将硅片放置在识别片盒内，同时从MES控制系统中导出含有硅片信息的二维码标签，然后将二维码标签贴在识别片盒上；
[0015]步骤三：识别片盒移动到平行光光源阵列上方，平行光光源阵列穿过光栅片和识别片盒从而形成识别信息，全自动相机拍下识别信息的照片，并将照片信息输入到EAP控制系统内，EAP控制系统在将照片信息与MES控制系统内信息进行对比，判断是否夹片以及数量是否相同，夹片时和数量不符时，报警并暂停该批次产品，直至异常完全排除释放产品；
[0016]步骤四：识别片盒移动到二维码扫描器处，二维码扫描器识别二维码标签信息，并将信息输入到EAP控制系统内，EAP控制系统将信息与MES控制系统的信息进行对比，当信息不符时，暂停操作，直至完成检查，并排出影响源后再次启动。
[0017]识别片盒移动到平行光光源阵列上方时，传感器会感应到识别片盒，从而给于全自动相机启动信号。
[0018]有益效果：本专利技术涉及一种识别片盒内硅片的自动控制系统及其操作方法，利用平行光光栅干涉原理和拍照成像技术，实现片盒内硅片位置和硅片实物数量的自动识别核对，当硅片位置在片槽内倾斜时提示“夹片”，当识别硅片数量和原标签及MES系统规格要求不一致时提示“数量错误”，MES系统中断该盒产品后续作业，直至该错误得到完全纠正，具有降低管理成本、提高检测核对效率、确保包装准确、避免出现夹片、混片、多片、少片等异常现象等特点。
附图说明
[0019]图1是本专利技术的系统框图。
[0020]图示：1、识别片盒，2、MES控制系统，3、传感器，4、二维码扫描器，5、平行光光源阵列，6、全自动相机，7、光栅片，8、EAP控制系统，9、二维码标签，10、正常图像，11、第一种夹片图像，12、第二种夹片图像。
具体实施方式
[0021]下面结合具体实施例，进一步阐述本专利技术。应理解，这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。此外应理解，在阅读了本专利技术讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本专利技术作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0022]本专利技术的实施方式涉及一种识别片盒内硅片的自动控制系统及其操作方法，如图1所示，包括识别片盒1、平行光光源阵列5、光栅片7、二维码扫描器4、全自动相机6、EAP控制系统8和MES控制系统2；
[0023]识别片盒1用来放置硅片，识别片盒1上安装有带有硅片信息的二维码标签9；
[0024]平行光光源阵列5位于识别片盒1下方，同时平行光光源阵列5上安装有光栅片7，平行光光源阵列5发出平行光穿过光栅片7和硅片，形成测定硅片是否发生夹片现象和硅片数量的识别信息；
[0025]二维码扫描器4与二维码标签9用来识别硅片的信息，同时将信息传输到EAP控制系统8内；
[0026]全自动相机6位于识别片盒1上方，全自动相机6将平行光光源阵列5透过光栅片7和识别片盒1后的图像信息记录下来，并传输到EAP控制系统8内；
[0027]EAP控制系统8与MES控制系统2相连的同时，与传感器3、全自动相机6相连，EAP控制系统8存储当前测得的硅片的信息；
[0028]MES控制系统2内存储硅片正常放置时的参数信息，用来与EAP控制系统8测得信息进行对比。
[0029]一种识别片盒内的自动控制系统的操作方法，具体步骤如下：
[0030]步骤一：将所需包装的硅片尺寸和型号信息输入到MES控制系统2内，同时选择适当尺寸的识别片盒1和适当尺寸的光栅片7；
[0031]步骤二：将硅片放置在识别片盒1上，同时从MES控制系统中导出含有硅片信息的二维码标签9，然后将二维码标签9贴在识别片盒1上；
[0032]步骤三：识别片盒1移动到平行光光源阵列5上方，平行光光源阵列5穿过光栅片7和识别片盒1从而形成识别信息，全自动相机6拍下识别信息的照片，并将照片信息输入到EAP控制系统8内，EAP控制系统8在将照片信息与MES控制系统2内信息进行对比，判断是否夹片以及数量是否相同，夹片时和数量不符时，报警并暂停该批次产品，直至异常完全排除释放产品；
[0033]步骤四：识别片盒1移动到二维码扫描器4处，二维码扫描器4识别二维码标签9信息，并将信息输入到EAP控制系统8内，EAP控制系统8将信息与MES控制系统2的信息进行对比，当信息不符时，暂停操作，直至完成本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种识别片盒内硅片的自动控制系统，其特征在于：包括识别片盒(1)、平行光光源阵列(5)、光栅片(7)、二维码扫描器(4)、全自动相机(6)、EAP控制系统(8)和MES控制系统(2)；识别片盒(1)用来放置硅片，识别片盒(1)上安装有带有硅片信息的二维码标签(9)；平行光光源阵列(5)位于识别片盒(1)下方，同时平行光光源阵列(5)上安装有光栅片(7)，平行光光源阵列(5)发出平行光穿过光栅片(7)和硅片，形成测定硅片是否发生夹片现象和硅片数量的识别信息；二维码扫描器(4)与二维码标签(9)用来识别硅片的信息，同时将信息传输到EAP控制系统(8)内；全自动相机(6)位于识别片盒(1)上方，全自动相机(6)将平行光光源阵列(5)透过光栅片(7)和识别片盒(1)后的图像信息记录下来，并传输到EAP控制系统(8)内；EAP控制系统(8)与MES控制系统(2)相连的同时，与传感器(3)、全自动相机(6)相连，EAP控制系统(8)存储当前测得的硅片的信息；MES控制系统(2)内存储硅片正常放置时的参数信息，用来与EAP控制系统(8)测得信息进行对比。2.根据权利要求1所述的一种识别片盒内硅片的自动控制系统，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：李慎重，梁兴勃，田达晰，李刚，蒋玉龙，张银光，
申请(专利权)人：浙江金瑞泓科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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