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本实用新型公开的属于晶圆切片技术领域，具体为一种用于晶圆解胶的UV照射机，包括外框架和流水线，所述流水线贯穿框架，所述外框架的内腔前后侧均安装有导向杆，两侧所述导向杆的上方活动安装有滑行机构，所述滑行机构的本体上安装有LED灯，本装置在框架...
该专利属于沈阳汉为科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳汉为科技有限公司授权不得商用。

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