【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及划片机测高，尤其涉及一种带有接触测高装置的划片机。
技术介绍
1、划片机是半导体封装加工
内重要的加工设备，划片机工作时高速旋转的刀片在使用过程中会不断磨损，而且针对不同的加工工件，需要调节划片刀高度，从而保证和满足对工件的切割深度。
2、现有技术对划片机进行测高时，主要对工件表面和刀具的距离进行检测，从而计算和安排后续进刀量，但是现有技术具有一定的局限性，针对一些表面平整性不足的工件，由于其表面存在凹凸不平区域，在精细加工时，容易因为表面缺陷导致切割深度不均匀、切割定位偏差导致的切割质量下降，严重时还会导致切割过程中的振动和摆动加剧，导致出现裂纹影响切割的质量，严重时甚至会使刀片碎片引发安全事故，因此，仅对固定点位进行测高仍具有一定的局限性。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于：为了解决上述问题，而提出的一种带有接触测高装置的划片机。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种带有接触测高装置的划片机，包括切割装置和轨道支架组，切割装置的下方设置有工作盘，轨道支架组轨道内侧传动连接有检测装置，还包括平整度检测机构以及用于检测切割装置刀片磨损程度的磨损程度检测机构；
4、平整度检测机构包括与检测装置限位滑动连接的检测块，检测装置的侧壁设置有驱动马达，驱动马达的端部连接有与检测块保持螺纹传动的螺纹杆，检测块的内部开设有上细下粗的第一传动腔，第一传动腔的底部密封滑动连接有密封滑块，密封滑块的底部
5、优选地，检测块的内部设置有与密封滑块相匹配的电磁铁，密封滑块的内部设置有与电磁铁相匹配的磁极。
6、优选地，清洗机构包括设置于检测块间隙的驱动块，检测装置的侧壁设置有储液箱，驱动块的内部转动连接有传动杆，传动杆的外侧壁固定安装有驱动齿轮，检测装置的底部设置有与驱动齿轮相啮合的齿条，检测块的内部对称开设有第一压缩腔和第二压缩腔，第一压缩腔和第二压缩腔的内部分别设置有第一活塞块和第二活塞块，传动杆的外侧壁设置有与第一活塞块和第二活塞块相匹配的驱动凸块，储液箱与第一压缩腔、第二压缩腔之间设置有供液管，驱动块的侧壁和底部分别设置有前喷液管和后喷液管，需要说明的是，供液管与第一压缩腔和第二压缩腔连接部分设置有用于对第一压缩腔和第二压缩腔内部供液防止倒流的单向阀，而前喷液管和后喷液管的内部设置有朝向外部用于喷液的单向阀。
7、优选地，储液箱的内部设置有多组密封隔断区间盛装有不同的液体，储液箱内部盛装有有机溶剂的区间通过供液管与第一压缩腔相连通，储液箱内部盛装有清水的区间通过供液管与第二压缩腔内部相连通。
8、优选地，磨损程度检测机构包括开设于检测装置表面的检测槽，检测装置的顶部设置有定位块，定位块的顶部为与切割装置刀片转轴外部套筒相贴合的弧形设计，检测槽与切割装置刀片轮廓相匹配，检测槽的底部开设有上粗下细的第二传动腔，第二传动腔的顶部粗端密封滑动连接有刃尖检测轴，第二传动腔的底部细端内部密封滑动连接有第四活塞滑块，检测装置的内部位于第二传动腔的外侧限位滑动连接有一组与第四活塞滑块相匹配的第二磁环，检测槽的内侧设置有垂直于工作盘刀刃的刃端检测轴和垂直于工作盘刀片的刀侧检测轴，检测装置的内部开设有汇集检测腔，汇集检测腔的内侧密封滑动连接有第五活塞滑块，检测装置的内部位于汇集检测腔的外侧限位滑动套接油一组与第五活塞滑块相配合的第三磁环，检测装置的内部设置有一组用于将各组第二传动腔相连通的连通管，第二传动腔、连通管的内部和第五活塞滑块之间填充有液压油。
9、优选地，刃尖检测轴在检测槽内部沿环形设计有多组。
10、优选地，第一活塞滑块、第二活塞滑块、第三活塞滑块、第四活塞滑块、第五活塞滑块内部为永磁体设计，第一磁环、第二磁环、第三磁环为磁性导体设计。
11、综上，由于采用了上述技术方案，本专利技术的有益效果是：
12、1、实现了在对工件进行测高时，可以通过检测块的移动对工件表面的平整度进行检测，不仅可以对工件表面各处区域实现实时检测，并且通过第一传动腔的上细下粗设计对检测结果实现放大，提升区分度和检测的精准度，直接检测出存在较大缺陷的工件，同时可以通过第二检测腔对不平整区域进行记录和统计，可以通过第二检测腔记录的液位高度得出工件表面的整体不平整度，实现对工件整体表面质量的评估，从而根据评估结果选择合适的刀具和调节切削给进速度，保证划片切割工作的稳定进行。
13、2、实现了对工件加工和表面平整度检测前，在测高时对工件进行自动清洗，而且通过前喷液管和后喷液管的错位设计，可以对工件表面进行分级清洗，有效去除溶解工件表面的油渍和污渍，消除半导体加工过程中表面残余硅油和矿物油产生的油膜，不仅便于后续划片加工，而且可以使得装置可以直接与工件表面接触，提升了对工件表面检测的精准度。
14、3、实现了在对划片机刀具进行测高定位的同时，对划片机刀具的磨损程度进行自动检测，通过第二传动腔的放大效果和连通管的汇聚聚集效果，对检测结果进行放大，提高区分度和检测精准度，同时还可以对刀具的不同部位磨损和整体磨损进行同步检测，有效保证了划片切割工作的安全稳定进行。
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1.一种带有接触测高装置的划片机，包括切割装置（100）和轨道支架组（200），所述切割装置（100）的下方设置有工作盘（101），所述轨道支架组（200）轨道内侧传动连接有检测装置（201），其特征在于，还包括平整度检测机构以及用于检测切割装置（100）刀片磨损程度的磨损程度检测机构；
2.根据权利要求1所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述检测块（207）的内部设置有与密封滑块（211）相匹配的电磁铁（209），所述密封滑块（211）的内部设置有与电磁铁（209）相匹配的磁极。
3.根据权利要求2所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述清洗机构包括设置于检测块（207）间隙的驱动块（219），所述检测装置（201）的侧壁设置有储液箱（204），所述驱动块（219）的内部转动连接有传动杆（227），所述传动杆（227）的外侧壁固定安装有驱动齿轮（229），所述检测装置（201）的底部设置有与驱动齿轮（229）相啮合的齿条，所述检测块（207）的内部对称开设有第一压缩腔（220）和第二压缩腔（223），所述第一压缩腔（220）和第
4.根据权利要求3所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述储液箱（204）的内部设置有多组密封隔断区间盛装有不同的液体，所述储液箱（204）内部盛装有有机溶剂的区间通过供液管（226）与所述第一压缩腔（220）相连通，所述储液箱（204）内部盛装有清水的区间通过供液管（226）与第二压缩腔（223）内部相连通。
5.根据权利要求4所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述磨损程度检测机构包括开设于检测装置（201）表面的检测槽（202），所述检测装置（201）的顶部设置有定位块（203），所述定位块（203）的顶部为与切割装置（100）刀片转轴外部套筒相贴合的弧形设计，所述检测槽（202）与切割装置（100）刀片轮廓相匹配，所述检测槽（202）的底部开设有上粗下细的第二传动腔（232），所述第二传动腔（232）的顶部粗端密封滑动连接有刃尖检测轴（230），所述第二传动腔（232）的底部细端内部密封滑动连接有第四活塞滑块（233），所述检测装置（201）的内部位于第二传动腔（232）的外侧限位滑动连接有一组与第四活塞滑块（233）相匹配的第二磁环（234），所述检测槽（202）的内侧设置有垂直于工作盘（101）刀刃的刃端检测轴（236）和垂直于工作盘（101）刀片的刀侧检测轴（239），所述检测装置（201）的内部开设有汇集检测腔（231），所述汇集检测腔（231）的内侧密封滑动连接有第五活塞滑块（237），所述检测装置（201）的内部位于汇集检测腔（231）的外侧限位滑动套接油一组与第五活塞滑块（237）相配合的第三磁环（238），所述检测装置（201）的内部设置有一组用于将各组第二传动腔（232）相连通的连通管（235），所述第二传动腔（232）、连通管（235）的内部和第五活塞滑块（237）之间填充有液压油。
6.根据权利要求5所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述刃尖检测轴（230）在检测槽（202）内部沿环形设计有多组。
7.根据权利要求5所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述第一活塞滑块（212）、第二活塞滑块（214）、第三活塞滑块（215）、第四活塞滑块（233）、第五活塞滑块（237）内部为永磁体设计，所述第一磁环（213）、第二磁环（234）、第三磁环（238）为磁性导体设计。
...【技术特征摘要】
1.一种带有接触测高装置的划片机，包括切割装置（100）和轨道支架组（200），所述切割装置（100）的下方设置有工作盘（101），所述轨道支架组（200）轨道内侧传动连接有检测装置（201），其特征在于，还包括平整度检测机构以及用于检测切割装置（100）刀片磨损程度的磨损程度检测机构；
2.根据权利要求1所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述检测块（207）的内部设置有与密封滑块（211）相匹配的电磁铁（209），所述密封滑块（211）的内部设置有与电磁铁（209）相匹配的磁极。
3.根据权利要求2所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述清洗机构包括设置于检测块（207）间隙的驱动块（219），所述检测装置（201）的侧壁设置有储液箱（204），所述驱动块（219）的内部转动连接有传动杆（227），所述传动杆（227）的外侧壁固定安装有驱动齿轮（229），所述检测装置（201）的底部设置有与驱动齿轮（229）相啮合的齿条，所述检测块（207）的内部对称开设有第一压缩腔（220）和第二压缩腔（223），所述第一压缩腔（220）和第二压缩腔（223）的内部分别设置有第一活塞块（221）和第二活塞块（224），所述传动杆（227）的外侧壁设置有与第一活塞块（221）和第二活塞块（224）相匹配的驱动凸块（228），所述储液箱（204）与第一压缩腔（220）、第二压缩腔（223）之间设置有供液管（226），所述驱动块（219）的侧壁和底部分别设置有前喷液管（222）和后喷液管（225）。
4.根据权利要求3所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述储液箱（204）的内部设置有多组密封隔断区间盛装有不同的液体，所述储液箱（204）内部盛装有有机溶剂的区间通过供液管（226）与所述第一压缩腔（220）相连通，所述储液箱（204）内部盛装有清水的区间通过供液管（226）与第二压缩腔（223）内部相连通。...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙家全，白雪峰，徐长远，
申请(专利权)人：沈阳汉为科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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