本发明专利技术涉及一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，包括固定支撑系统、光学系统、上振镜加工系统和侧振镜加工系统，固定支撑系统上设置有运动模组，固定支撑系统包括大理石底座，大理石底座沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁，大理石横梁沿着X轴方向设置且通过大理石立柱安装在大理石底座上。本发明专利技术光学系统的激光器经过分光模组分光进入垂直振镜和水平振镜，配合多轴组合运动平台，实现高精度三维立体空间的多面体微加工。三维立体空间的多面体微加工。三维立体空间的多面体微加工。
【技术实现步骤摘要】
组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备
[0001]本专利技术涉及显示器加工相关
，尤其涉及一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备。
技术介绍
[0002]电子信息产业是经济和社会高质量发展、数字化转型的关键性基础行业。是“十四五”规划加强原创性引领性科技攻关，旨在事关国家安全和发展全局的基础核心领域，制定实施战略性科学计划和科学工程。其中新型显示领域为重要一环。
[0003]新型显示领域中，Micro LED显示具有自发光、高效率、低功耗、高稳定等特性，是下一代主流显示技术的重要选择，在众多领域均有替代现有技术的潜力。Micro LED阵列可以达到超高密度像素并具备自发光的特性，相比OLED和LCD有更高的发光效率、更长的寿命和更高的亮度，同时具备轻薄、省电和全天候使用的优势，在显示领域将获得广泛应用。
[0004]传统导电银浆移印或线路丝网印刷，在精度以及密度上难以达到Micro LED高分辨率对线路的要求。市面上常见的三维刻蚀设备多使用五轴平台加带Z轴振镜来实现，造价成本较高，五轴运动精度较差，在应对高精度(加工精度达到正负1微米)的刻蚀要求，很难调出效果。
[0005]显示器的三面驱动线路激光雕刻工艺成为Micro LED工艺制程中不可或缺的一环，为了实现更高的像素密度、更小的显示器边框及拼接缝隙，要求显示器单位面积下的驱动线路更密集。通过激光雕刻三面线路的方式，可实现更高的驱动电路密度，同时通过三面雕刻拼接的方式，将驱动线路由显示面移动至显示背面，实现了极窄边框、极窄拼缝的显示方案。<br/>[0006]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
[0007]为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备。
[0008]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0009]组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，包括固定支撑系统、光学系统、上振镜加工系统和侧振镜加工系统，固定支撑系统上设置有运动模组，固定支撑系统包括大理石底座，大理石底座沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁，大理石横梁沿着X轴方向设置且通过大理石立柱安装在大理石底座上，运动模组包括Y轴移动模组、旋转模组、第一X轴移动模组、第一Z轴移动模组、第二Z轴移动模组和第二X轴移动模组，Y轴移动模组设置在大理石底座上，Y轴移动模组顶部的驱动端与上方的旋转模组沿着Y轴方向驱动连接设置，旋转模组顶部的驱动端与上方的吸附平台驱动连接设置，大理石横梁底部且靠近大理石横梁沿着Y轴正方向一侧的大理石底座上设置有第一X轴移动模组，第一X轴移动模组顶部的驱动端与
上方的第二Z轴移动模组沿着X轴方向驱动连接设置，第二Z轴移动模组上的驱动端与侧振镜加工系统沿着Z轴方向驱动连接设置，大理石横梁上设置有第二X轴移动模组，第二X轴移动模组顶部的驱动端与光学系统以及第一Z轴移动模组沿着X轴方向驱动连接设置，第一Z轴移动模组上的驱动端与上振镜加工系统沿着Z轴方向驱动连接设置。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，光学系统包括激光器、若干个分光模组、若干个光学上振镜和若干个光学侧振镜，激光器通过若干个分光模组、若干个光学上振镜和若干个光学侧振镜将激光分成两路的加工光束并分别进入到上振镜加工系统和侧振镜加工系统中。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，光学系统还包括若干个光闸。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，分光模组包括电机架、分光镜和分光架，电机架和分光架并列设置，电机架上第一侧靠近底部的位置设置有伺服电机，伺服电机的驱动端与电机架上第二侧靠近底部位置的主动轮驱动连接设置，主动轮通过皮带与上方的从动轮相连接，从动轮与安装在分光架上的分光镜相连接。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，上振镜加工系统包括上振镜支架，上振镜支架与第一Z轴移动模组上的驱动端相连接，上振镜支架上设置有第一反射镜、上振镜和上场镜，上场镜的底部设置有上振镜集尘盒，上场镜一侧的上振镜支架上设置有定位CCD相机。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，侧振镜加工系统包括侧振镜支架，侧振镜支架与第二Z轴移动模组上的驱动端相连接，侧振镜支架上设置有第二反射镜、侧振镜和侧场镜，侧场镜上设置有侧振镜集尘盒，侧场镜一侧的侧振镜支架上设置有校正影像CCD相机。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，还包括检测系统，运动模组还包括第三X轴移动模组，第三X轴移动模组设置在大理石横梁沿着Y轴负方向的一侧，第三X轴移动模组上的驱动端与检测系统沿着X轴方向驱动连接设置。
[0016]作为本专利技术的进一步改进，检测系统包括检测支架，检测支架与第三X轴移动模组上的驱动端相连接，检测支架上靠近顶部的位置设置有上视野相机，检测支架上靠近中部的位置设置有侧视野相机，检测支架上靠近底部的位置设置有下视野相机，上视野相机、侧视野相机和下视野相机上均安装有可度旋转的转角镜。
[0017]作为本专利技术的进一步改进，上视野相机和侧视野相机的检测端均朝向Z轴方向的一侧，下视野相机的检测端朝向Y轴方向的一侧。
[0018]作为本专利技术的进一步改进，检测支架上还设置有用于对上视野相机在Z轴方向移动的Z轴向调整滑台，检测支架上还设置有用于对侧视野相机和下视野相机在X、Y和Z方向上移动的XYZ三轴向调整滑台。
[0019]借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点：
[0020]1、光学系统的激光器经过分光模组分光进入垂直振镜和水平振镜，配合多轴组合运动平台，实现高精度三维立体空间的多面体微加工；
[0021]2、多轴组合的运动模组及配合上影像和侧影像系统对加工振镜进行精度校正和对位的加工方式。
[0022]3、侧振镜通过增加X轴的方式兼容超大产品加工。
[0023]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0025]图1是本专利技术一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备的结构示意图；
[0026]图2是图1中运动模组的结构示意图；
[0027]图3是图1中光学系统的结构示意图；
[0028]图4是图3中分光模组的结构示意图；
[0029]图5是图1中上振镜加工系统的结构示意图；
[0030]图6是图1中侧振镜加工系统的结构示意图；
[0031]图7是图1中检测系统的结构示意图。
[0032]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0033]1 大理石底座
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，包括固定支撑系统、光学系统(4)、上振镜加工系统(5)和侧振镜加工系统(6)，所述固定支撑系统上设置有运动模组，所述固定支撑系统包括大理石底座(1)，所述大理石底座(1)沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁(3)，所述大理石横梁(3)沿着X轴方向设置且通过大理石立柱(2)安装在大理石底座(1)上，所述运动模组包括Y轴移动模组(8)、旋转模组(10)、第一X轴移动模组(12)、第一Z轴移动模组(13)、第二Z轴移动模组(14)和第二X轴移动模组(15)，所述Y轴移动模组(8)设置在大理石底座(1)上，所述Y轴移动模组(8)顶部的驱动端与上方的旋转模组(10)沿着Y轴方向驱动连接设置，所述旋转模组(10)顶部的驱动端与上方的吸附平台(11)驱动连接设置，所述大理石横梁(3)底部且靠近大理石横梁(3)沿着Y轴正方向一侧的大理石底座(1)上设置有第一X轴移动模组(12)，所述第一X轴移动模组(12)顶部的驱动端与上方的第二Z轴移动模组(14)沿着X轴方向驱动连接设置，所述第二Z轴移动模组(14)上的驱动端与侧振镜加工系统(6)沿着Z轴方向驱动连接设置，所述大理石横梁(3)上设置有第二X轴移动模组(15)，所述第二X轴移动模组(15)顶部的驱动端与光学系统(4)以及第一Z轴移动模组(13)沿着X轴方向驱动连接设置，所述第一Z轴移动模组(13)上的驱动端与上振镜加工系统(5)沿着Z轴方向驱动连接设置。2.如权利要求1所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，所述光学系统(4)包括激光器(17)、若干个分光模组(18)、若干个光学上振镜(20)和若干个光学侧振镜(21)，所述激光器(17)通过若干个分光模组(18)、若干个光学上振镜(20)和若干个光学侧振镜(21)将激光分成两路的加工光束并分别进入到上振镜加工系统(5)和侧振镜加工系统(6)中。3.如权利要求2所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，所述光学系统(4)还包括若干个光闸(19)。4.如权利要求2所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，所述分光模组(18)包括电机架(22)、分光镜(24)和分光架(29)，所述电机架(22)和分光架(29)并列设置，所述电机架(22)上第一侧靠近底部的位置设置有伺服电机(23)，所述伺服电机(23)的驱动端与电机架(22)上第二侧靠近底部位置的主动轮(25)驱动连接设置，所述主动轮(25)通过皮带(26)与上...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，袁浩，何雄飞，
申请(专利权)人：江阴德力激光设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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