温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，包括固定支撑系统、光学系统、上振镜加工系统和侧振镜加工系统，固定支撑系统上设置有运动模组，固定支撑系统包括大理石底座，大理石底座沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁，大理石横梁沿着X轴方向设置...
该专利属于江阴德力激光设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴德力激光设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。