本实用新型涉及一种易碎材料的吸附装置，它包括一个真空吸附平台，真空吸附平台的正面为材料吸附平面，材料吸附平面的表面设置有材料吸附治具，材料吸附治具上吸附有易碎材料，所述真空吸附平台的内部为一个真空负压室，材料吸附平面的中间开设有阵列吸附...

本发明涉及基于ETHERCAT总线步进驱动及运动控制集成系统，每个光栅尺接口通过差分转单极性及脉冲滤波电路连接FPGA，FPGA连接ARM，ETHERCAT输入接口和输出接口连接ETHERCAT驱动控制电路，ETHERCAT驱动控制电路...

本发明涉及一种兼容的切割集尘罩装置，包括集尘罩固定基板、侧边集尘装置、正侧集尘装置、集尘吹气装置和集尘罩安装底板，集尘腔体正上方外侧的集尘罩固定基板上设置有集尘吹气装置，集尘移动机构可驱动下方的集尘罩安装底板沿着X轴方向移动，侧边集尘移...

本发明涉及一种FPC切割排废自动化设备，包括机架、加工单元、产品移载组件、隔纸取放组件、上下料盒组件和吸附平台，机架上设置有加工单元，加工单元沿着X轴正方向一侧的机架上设置有产品移载组件，产品移载组件沿着X轴正方向一侧的机架上设置有隔纸...

本发明涉及一种兼容性晶圆载台装置，包括支撑台面和产品载台，产品载台通过载台底座安装在支撑台面上的中间位置，产品载台外侧的支撑台面上沿着圆周方向均匀的设置有若干个弧形结构的支撑座，支撑座上安装有两个抚平机构，其中一个抚平机构位于靠近产品载...

本发明公开了椭圆贝塞尔切割头装置，直接驱动电机通过转接件连接二维平移台，二维平移台通过转接块固定切割头，可驱动切割头旋转和二维平移运动；切割头包含沿光路设置的衍射式锥透镜和聚焦镜，将高斯分布的激光束整形为椭圆贝塞尔分布光束；衍射式锥透镜...

本实用新型涉及激光加工光斑旋转模组，激光从发射器发出后，先射在前反射镜上，前反射镜将激光反射到光学镜片机构后，光学镜片机构再将激光射到后反射镜上，后反射镜最终将激光反射到加工平台上，所述光学镜片机构通过高速电机带着转动。本实用新型激光加...

本实用新型涉及高精度激光功率控制装置，激光光束射在前侧反射镜上，前侧反射镜将激光反射到旋转波片中心，所述旋转波片与激光同波长，通过伺服电机带着旋转波片转动，所述衰减镜片位于旋转波片的后侧且同轴，激光通过旋转波片后射到衰减镜片中心上，所述...

本发明涉及一种柔性对接锁紧装置，包括晶圆机械手、叉臂、对接插头、晶圆丫叉存储库和晶圆丫叉，晶圆机械手上的驱动端设置有若干个叉臂，叉臂上设置有对接插头，晶圆丫叉存储库上沿着Z轴方向均匀的设置有若干个存储架，存储架上沿着X轴方向设置有晶圆丫...

本发明涉及一种自适应旋转吸残材装置，包括Z轴运动模组、切割头组件、对位CCD组件、旋转吸残材装置和中间连接装置，切割头组件、对位CCD组件和旋转吸残材装置通过中间连接装置固定在Z轴运动模组上。本发明的旋转吸残材装置补全了固定式吸残材罩和...

本发明涉及一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，包括固定支撑系统、光学系统、上振镜加工系统和侧振镜加工系统，固定支撑系统上设置有运动模组，固定支撑系统包括大理石底座，大理石底座沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁，大理石横梁沿着X轴方向...

本实用新型涉及激光加工的快速钻孔装置，包含有底板，底板上滑动设置有左右滑动板，左右滑动板上滑动设置有前后滑动板；前后滑动板的上端设置有操作台，操作台上端设置有吸附装置，操作台的上方设置有激光钻头；所述吸附装置包含有负压吸附机构和真空泵，...

本实用新型涉及激光加工自动吸附集成装置，包含有负压吸附机构、真空泵和废料箱；所述负压吸附机构包含有框架、纵杆、横杆和吸气孔，框架内设置有两条纵杆和一条横杆，横杆与纵杆之间交叉；所述框架、纵杆和横杆上均匀设置有吸气孔；所述框架的前后两侧均...

本发明涉及基于振镜与平台轨迹的联动切割系统及控制方法，上位机单元与激光器单元、RTC6

本实用新型涉及的一种激光衍射装置，包括旋转机构、反射镜片（3）和聚焦镜（4）；所述旋转机构包括数量大于一个的折射镜片，折射镜片上设置有防尘膜，旋转结构后设置有45度反射镜片（3），反射镜片（3）下方设置有聚焦镜（4），聚焦镜（4）的下方...

本实用新型涉及陶瓷片表面自动涂色装置，所述装置包含单轴机器人，架设在单轴机器人上的支撑板，支撑板上带有气缸以及可随着气缸上下运动的滚筒刷漆装置，滚筒刷漆装置带有人工加涂料的料斗，滚筒刷漆装置下有陶瓷片固定治具。本实用新型陶瓷片表面自动涂...

本实用新型涉及一种基于LED晶圆裂片的浮动劈刀装置，其特征在于：所述装置包含有安装于裂片运动轴上方的浮动刀架直线导轨，架设于浮动刀架直线导轨上的是刀架底板，刀架底板上设有调刀螺栓，所述浮动刀架底板上方设置有刀架弹簧限位架，限位架通过浮动...

本实用新型涉及一种分光器隐切装置，其特征在于：它包括激光发生器、聚焦镜和底盘；所述激光发生器设置于聚焦镜上方，所述底盘设置于聚焦镜下方；所述聚焦镜包括管体、聚焦镜第一镜片、增透镜、聚焦镜第二镜片和保护镜片，所述聚焦镜第一镜片、增透镜、聚...

本实用新型涉及一种基于激光隐切蓝宝石灯条的旋转劈裂装置，所述装置包含有安装于底板（9）上的两块旋转轴承支架（5），架设于旋转轴承支架（5）上的转轴上套装有破片齿轮（7），旋转轴承支架（5）的顶部设置有导向槽座（1），所述导向槽座（1）上...

本实用新型涉及一种激光加工用同轴集尘罩，所述集尘罩包含有一安装座（1），所述安装座（1）的中心开有激光加工孔（1.1），所述安装座（1）的底部安装有对粉尘进行收集的集尘筒（2），该集尘筒（2）的开口端位于上述安装座（1）的激光加工孔（1...