本发明专利技术涉及一种柔性对接锁紧装置，包括晶圆机械手、叉臂、对接插头、晶圆丫叉存储库和晶圆丫叉，晶圆机械手上的驱动端设置有若干个叉臂，叉臂上设置有对接插头，晶圆丫叉存储库上沿着Z轴方向均匀的设置有若干个存储架，存储架上沿着X轴方向设置有晶圆丫叉，对接插头与晶圆丫叉沿着X轴负方向的一侧相连接，存储架的底部沿着X轴方向均匀的设置有若干个夹持调整机构。本发明专利技术通过双轴定位、双卡槽自锁和双弹簧实现常态锁紧，防止松脱，夹持兼顾解锁功能。能。能。
【技术实现步骤摘要】
柔性对接锁紧装置
[0001]本专利技术涉及晶圆加工相关
，尤其涉及一种柔性对接锁紧装置。
技术介绍
[0002]随着半导体领域在国内大大规模发展，国内半导体制造对新技术、新工艺开发激增，晶圆加工作为半导体制程的核心工艺制程，晶圆加工对设备需求量在较短时间内短板快速增长，给半导体领域配套的设备厂商提供了很大技术研发的动力，对于半导体制造领域的高标准、高可靠性的特点，要求设备尽量少的人工干预过程管控，避免人为因素的制造缺陷和制造误差；以全产线统一的信息交互和信息传递为目标，全程信息追溯跟踪每一个产品的质量信息管控；对于设备的全自动运行，全信息交互，做到无人参与全自动化生产；开发设备需求的全自动化模块是全自动设备的必要技术和必要功能。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种柔性对接锁紧装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种柔性对接锁紧装置。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0006]一种柔性对接锁紧装置，包括晶圆机械手、叉臂、对接插头、晶圆丫叉存储库和晶圆丫叉，晶圆机械手上的驱动端设置有若干个叉臂，叉臂上设置有对接插头，晶圆丫叉存储库上沿着Z轴方向均匀的设置有若干个存储架，存储架上沿着X轴方向设置有晶圆丫叉，对接插头与晶圆丫叉沿着X轴负方向的一侧相连接，存储架的底部沿着X轴方向均匀的设置有若干个夹持调整机构，夹持调整机构包括夹持气缸和柔性支撑座，夹持气缸沿着Y轴方向两侧的驱动端连接设置有夹持块，夹持块从下往上穿过存储架后且位于晶圆丫叉沿着Y轴方向两侧的位置，柔性支撑座包括安装座和连接座，安装座沿着Y轴负方向的一侧安装在存储架上，安装座沿着Y轴正方向的一侧通过板簧与连接座相连接，连接座上设置有轴承，轴承底部的轴承座沿着Y轴方向的两侧分别与连接座之间连接设置有平衡轴，轴承的顶部与上方的存储架相连接。
[0007]作为本专利技术的进一步改进，对接插头沿着X轴正方向的一侧设置有两个联结轴，联结轴插接入晶圆丫叉沿着X轴负方向一侧的插接槽内。
[0008]作为本专利技术的进一步改进，插接槽的外侧沿着X轴方向设置有若干个分离顶针，分离顶针与外侧的夹持块相连接，插接槽的内侧沿着X轴方向设置有若干个锁紧卡扣。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，锁紧卡扣的内侧设置有锁紧弹簧。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，对接插头和晶圆丫叉插接处的位置还设置有风琴吸盘，对接插头内沿着X轴的正方向依次设置有相互连接的第一真空气道和第二真空气道，晶圆丫叉内沿着X轴的正方向依次设置有相互连接的第三真空气道和第四真空气道，风琴吸盘分别与两侧的第二真空气道和第三真空气道相连通。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，平衡轴的外侧套设有平衡弹簧。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，晶圆机械手上的驱动端设置有两个叉臂，晶圆丫叉存储库上沿着Z轴方向均匀的设置有六个存储架。
[0013]借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点：
[0014]1、本专利技术通过双轴定位、双卡槽自锁和双弹簧实现常态锁紧，防止松脱，夹持兼顾解锁功能；
[0015]2、本专利技术通过双柔性支撑座实现柔性对接，提高自动对接更换的可靠性；
[0016]3、本专利技术的柔性支撑座以Y轴方向、Z轴方向以及旋转轴方向自适应机构，实现多个维度的自适应调整机构。
[0017]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1是本专利技术一种柔性对接锁紧装置的结构示意图；
[0020]图2是图1中对插接头和晶圆丫叉连接时的结构示意图；
[0021]图3是图2另一侧的结构示意图；
[0022]图4是图2或图3中柔性支撑座的结构示意图；
[0023]图5是图2或图3中插接头和晶圆丫叉连接处的内部结构示意图；
[0024]图6是图2正视图的部分结构示意图；
[0025]图7是图6关于A
‑
A的结构示意图。
[0026]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0027]1 晶圆机械手
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2 叉臂
[0028]3 对插接头
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4 晶圆丫叉存储库
[0029]5 存储架
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6 晶圆丫叉
[0030]7 夹持块
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8 夹持气缸
[0031]9 柔性支撑座
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10 安装座
[0032]11 板簧
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12 连接座
[0033]13 平衡轴
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14 轴承
[0034]15 平衡弹簧
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16 联结轴
[0035]17 分离顶针
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18 锁紧卡扣
[0036]19 锁紧弹簧
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20 第一真空气道
[0037]21 第二真空气道
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22 风琴吸盘
[0038]23 第三真空气道
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24 第四真空气道
具体实施方式
[0039]下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。
[0040]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0041]实施例
[0042]如图1～图7所示，
[0043]一种柔性对接锁紧装置，包括晶圆机械手1、叉臂2、对接插头3、晶圆丫叉存储库4和晶圆丫叉6，晶圆机械手1上的驱动端设置有若干个叉臂2，叉臂2上设置有本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.柔性对接锁紧装置，包括晶圆机械手(1)、叉臂(2)、对接插头(3)、晶圆丫叉存储库(4)和晶圆丫叉(6)，所述晶圆机械手(1)上的驱动端设置有若干个叉臂(2)，所述叉臂(2)上设置有对接插头(3)，所述晶圆丫叉存储库(4)上沿着Z轴方向均匀的设置有若干个存储架(5)，所述存储架(5)上沿着X轴方向设置有晶圆丫叉(6)，其特征在于，所述对接插头(3)与晶圆丫叉(6)沿着X轴负方向的一侧相连接，所述存储架(5)的底部沿着X轴方向均匀的设置有若干个夹持调整机构，所述夹持调整机构包括夹持气缸(8)和柔性支撑座(9)，所述夹持气缸(8)沿着Y轴方向两侧的驱动端连接设置有夹持块(7)，所述夹持块(7)从下往上穿过存储架(5)后且位于晶圆丫叉(6)沿着Y轴方向两侧的位置，所述柔性支撑座(9)包括安装座(10)和连接座(12)，所述安装座(10)沿着Y轴负方向的一侧安装在存储架(5)上，所述安装座(10)沿着Y轴正方向的一侧通过板簧(11)与连接座(12)相连接，所述连接座(12)上设置有轴承(14)，所述轴承(14)底部的轴承座沿着Y轴方向的两侧分别与连接座(12)之间连接设置有平衡轴(13)，所述轴承(14)的顶部与上方的存储架(5)相连接。2.如权利要求1所述的柔性对接锁紧装置，其特征在于，所述对接插头(3)沿...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，白计月，
申请(专利权)人：江阴德力激光设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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