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本发明涉及一种柔性对接锁紧装置，包括晶圆机械手、叉臂、对接插头、晶圆丫叉存储库和晶圆丫叉，晶圆机械手上的驱动端设置有若干个叉臂，叉臂上设置有对接插头，晶圆丫叉存储库上沿着Z轴方向均匀的设置有若干个存储架，存储架上沿着X轴方向设置有晶圆丫叉，...
该专利属于江阴德力激光设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴德力激光设备有限公司授权不得商用。

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