一种活动夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种活动夹具，包括旋转夹具、抓取手臂和至少三个活动支撑脚，所述活动支撑脚的形状与所述抓取手臂的抓取端适配；其中，所述抓取手臂被配置为：将所述活动支撑脚固定在所述旋转夹具上以及将所述活动支撑脚从所述旋转夹具上分离；所述旋转夹具被配置为可拆卸地固定所述活动支撑脚，并用于通过放置在其上的至少三个所述活动支撑脚支撑待支撑对象。本实用新型专利技术提供的活动夹具，通过抓取手臂改变放置在所述旋转夹具上的活动支撑脚的数量和位置，并通过转动所述旋转夹具改变所述活动支撑脚与所述晶圆的接触位置，从而真实模拟出所述晶圆在机台中不同位置处的状态，并由此量测出所述晶圆在机台不同位置处时真实的翘曲程度。翘曲程度。翘曲程度。

【技术实现步骤摘要】
一种活动夹具


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种活动夹具。

技术介绍

[0002]半导体器件制成的产品应用到包括计算机领域、网络通信领域、消费电子领域和工业控制领域等。但半导体器件在背金工艺制程中需要对晶圆进行研磨减薄，而经过研磨减薄后的晶圆会翘曲严重，因此容易导致机台发生报警停机。目前晶圆因为翘曲大的缘故易造成碎片的风险，且大多数情况下是用塞规来表征晶圆的翘曲程度，而晶圆翘曲的量测大多是使用固定的夹具托取晶圆中间部位。但由于晶圆的翘曲和晶圆的重量有很大关系，且晶圆在机台进行工艺时一般都是正面朝下，所以使用塞规并不能反映晶圆在机台真实的翘曲情况。另外机台内的腔室或机械手臂与晶圆的接触点都是在晶圆的边缘，而当晶圆各个位置的接触点不一样时，晶圆的翘曲程度也会相应地发生变化，目前并未有合适的量测机台来表征晶圆的翘曲。
[0003]因此，如何提供一种活动夹具，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种活动夹具，以解决现有技术存在的因测量时无法真实模拟晶圆在机台内的情况，而导致晶圆翘曲程度测量不准的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种活动夹具，包括：旋转夹具、抓取手臂和至少三个活动支撑脚，所述活动支撑脚的形状与所述抓取手臂的抓取端适配；
[0006]其中，所述抓取手臂被配置为：将所述活动支撑脚固定在所述旋转夹具上以及将所述活动支撑脚从所述旋转夹具上分离；
[0007]所述旋转夹具被配置为可拆卸地固定所述活动支撑脚，并用于通过放置在其上的至少三个所述活动支撑脚支撑待支撑对象。
[0008]可选的，所述旋转夹具包括一旋转柱和一旋转台，所述旋转台位于所述旋转柱上方，所述旋转柱能够带动所述旋转台转动。
[0009]可选的，所述旋转台为圆柱体形，所述旋转台的上底面上具有一安装槽，所述安装槽沿所述上底面的周向设置，所述活动支撑脚能够与所述安装槽卡接。
[0010]可选的，所述待支撑对象包括晶圆，所述安装槽的环径与所述晶圆的直径相适应。
[0011]可选的，所述安装槽包括周向排布的数个卡槽，所述卡槽能够与所述活动支撑脚卡接。
[0012]可选的，所述活动支撑脚的第一端插入所述卡槽，所述活动支撑脚的第二端凸出所述旋转台的上底面并用于支撑所述晶圆。
[0013]可选的，所述活动支撑脚的所述第二端与所述晶圆接触的一面为光滑平面；和/或所述第二端的尺寸大于所述第一端的尺寸。
[0014]可选的，所述抓取手臂包括相连的第一段抓取手臂和第二段抓取手臂，所述第一段抓取手臂和所述第二段抓取手臂在连接处能够转动形成任意角度。
[0015]可选的，所述抓取手臂的抓取端设置在所述第二段抓取手臂远离所述第一段抓取手臂的端部，所述抓取端为具有一开口的C型环柱，所述抓取端通过所述开口抓取所述活动支撑脚。
[0016]可选的，所述预设数量为四个或六个。
[0017]与现有技术相比，本技术提供的一种活动夹具具有以下有益效果：
[0018]本技术提供的一种活动夹具，包括：旋转夹具、抓取手臂和至少三个活动支撑脚，所述活动支撑脚的形状与所述抓取手臂的抓取端适配；其中，所述抓取手臂被配置为：将所述活动支撑脚固定在所述旋转夹具上以及将所述活动支撑脚从所述旋转夹具上分离；所述旋转夹具被配置为可拆卸地固定所述活动支撑脚，并用于通过放置在其上的至少三个所述活动支撑脚支撑待支撑对象。使用本技术提供的活动夹具，可以依据所述晶圆在机台内的机械手臂或腔室内的位置状态，通过所述抓取手臂将所述活动支撑脚按照预设数量可拆卸的固定在所述旋转夹具上，随后将所述待支撑对象放置在所述活动支撑脚上，并通过转动所述旋转夹具改变支撑所述晶圆的所述活动支撑脚的位置和数量，从而能够真实模拟出所述晶圆在机台中不同位置处的状态，并由此量测出晶圆在机台不同位置处时真实的翘曲程度。
附图说明
[0019]图1为本技术一实施例提供的活动夹具的结构示意图；
[0020]图2为本技术一实施例提供的旋转夹具的俯视图；
[0021]图3为本技术一实施例提供的活动支撑脚放置在所述旋转夹具上的结构示意图；
[0022]其中，附图标记如下：
[0023]100
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旋转夹具，101
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旋转柱，102
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旋转台，103
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安装槽，200
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抓取手臂，201
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第一段抓取手臂，202
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第二段抓取手臂，203
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抓取端，300
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活动支撑脚，301
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第一端，302
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第二端，400
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卡槽。
具体实施方式
[0024]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本技术的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本技术某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本技术的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0025]在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。
[0026]本技术一实施例提供了一种活动夹具，具体的请参见附图1
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附图3，其中，图1为本技术一实施例提供的活动夹具的结构示意图；图2为本技术一实施例提供的旋转夹具100的俯视图；图3为本技术一实施例提供的活动支撑脚300放置在所述旋转夹具100上的结构示意图；结合图1
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图3可以明显看出，本实施例提供的所述活动夹具包括：旋转夹具100、抓取手臂200和至少三个活动支撑脚300；其中，所述抓取手臂200被配置为：将所述活动支撑脚300固定在所述旋转夹具100上以及将所述活动支撑脚300从所述旋转夹具100上分离；所述旋转夹具100被配置为可拆卸地固定所述活动支撑脚300，并用于通过放置在其上的至少三个所述活动支撑脚300支撑待支撑对象。
[0027]如此设置，使用本技术提供的活动夹具，可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种活动夹具，其特征在于，包括：旋转夹具、抓取手臂和至少三个活动支撑脚，所述活动支撑脚的形状与所述抓取手臂的抓取端适配；其中，所述抓取手臂被配置为：将所述活动支撑脚固定在所述旋转夹具上以及将所述活动支撑脚从所述旋转夹具上分离；所述旋转夹具被配置为可拆卸地固定所述活动支撑脚，并用于通过放置在其上的至少三个所述活动支撑脚支撑待支撑对象。2.如权利要求1所述的一种活动夹具，其特征在于，所述旋转夹具包括一旋转柱和一旋转台，所述旋转台位于所述旋转柱上方，所述旋转柱能够带动所述旋转台转动。3.如权利要求2所述的一种活动夹具，其特征在于，所述旋转台为圆柱体形，所述旋转台的上底面上具有一安装槽，所述安装槽沿所述上底面的周向设置，所述活动支撑脚能够与所述安装槽卡接。4.如权利要求3所述的一种活动夹具，其特征在于，所述待支撑对象包括晶圆，所述安装槽的环径与所述晶圆的直径相适应。5.如权利要求4所述的一种活动夹具，其特征在于，所述安装槽包括周向排布的...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓培基，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：