一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，包括膜装置支架、第一压送辊单元、第二压送辊单元、第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件、第四转向组件、浮动辊一组件、放料辊组件、浮动辊二组件、贴膜基座支架一、贴膜基座支架二、收料辊组件、贴膜检测组件、取膜辊组件和取膜辅助刀组件。本发明专利技术意在提供一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，以解决现有技术中对晶圆贴膜过程中存在的容易出现气泡的问题，便于后续加工工序进行，同时可实现自动贴膜，省时省力，可提高生产效率。可提高生产效率。可提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置


[0001]本专利技术涉及芯片加工
，尤其涉及一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，通常将晶圆电路面，即完成芯片功能的那一面称为正面，另外一面即为背面。在晶圆加工过程中，通常要经过切割过程，在品圆切割前，为了在切割晶圆时保护晶圆通常会在晶圆的背面贴附一层薄膜，即贴附切割膜。传统的贴膜工艺，薄膜成卷的设置，薄膜卷旋转后不断放出薄膜，薄膜的面积大于晶圆的面积。将薄膜贴附在晶圆表面后,手持或者利用机械手夹持刀片沿晶圆的边缘切割薄膜，将超出晶圆的多余薄膜切除，从而完成在晶圆表面贴膜的工艺。
[0003]现有技术中晶圆仍采用人工手动贴膜方式实现，这种贴膜方式费时费力，严重影响生产效率，而且容易贴偏，不仅易造成贴膜浪费，还容易造成划片、装片时方向错误。
[0004]但是上述的贴膜过程中，由于贴膜操作人员施力大小的不同，时常会造成晶圆与薄膜之间存在气泡。当晶圆表面出现气泡后则需要将已贴的薄膜去除，再进行二次贴膜，不仅浪费原料而且降低了贴膜的效率。
[0005]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0006]为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置。
[0007]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0008]一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，包括膜装置支架、第一压送辊单元、第二压送辊单元、第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件、第四转向组件、浮动辊一组件、放料辊组件、浮动辊二组件、贴膜基座支架一、贴膜基座支架二、收料辊组件、贴膜检测组件、取膜辊组件和取膜辅助刀组件；
[0009]膜装置支架包括沿着Y轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边和沿着Y轴正方向一侧的贴膜支架侧边，贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间通过若干个贴膜支架连接杆连接在一起，贴膜支架电机侧边上设置有贴膜支架筋板，贴膜支架筋板和贴膜支架电机侧边之间设置有贴膜支架连接块，贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间的底部位置还连接设置有贴膜支架连接板，贴膜支架侧边顶部沿着X轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板一，贴膜支架电机侧边靠近顶部沿着X轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板二，贴膜支架侧边靠近中部沿着X轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板三，贴膜支架侧边底部设置有若干个贴膜支架靠边；
[0010]贴膜支架电机侧边沿着X轴正方向一侧的贴膜支架筋板上靠近底部的位置上设置
有三联放大器固定板，三联放大器固定板上安装有三联放大器，贴膜支架侧边沿着X轴负方向一侧靠近顶部的位置上设置有两联放大器固定板，两联放大器固定板上安装有两联放大器；
[0011]贴膜支架侧边设置在贴膜基座支架一上，贴膜支架电机侧边设置在贴膜基座支架二上，贴膜支架电机侧边靠近顶部的位置上沿着Y轴方向设置有放料辊组件，放料辊组件沿着X轴正方向的一侧设置有第一转向组件，第一转向组件通过贴膜支架延伸板二与贴膜支架电机侧边相连接，转向辊组件通过贴膜支架延伸板一与贴膜支架侧边相连接，放料辊组件沿着X轴负方向的一侧依次设置有第二转向组件、浮动辊一组件和第一压送辊单元，第二转向组件、浮动辊一组件和第一压送辊单元均沿着Y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，第一压送辊单元下方的位置依次设置有贴膜检测组件和第三转向组件，第三转向组件沿着X轴负方向的一侧依次设置有取膜辅助刀组件和取膜辊组件，第三转向组件沿着X轴正方向的一侧依次设置有第二压送辊单元、浮动辊二组件、第四转向组件和收料辊组件，贴膜检测组件、第三转向组件、取膜辊组件、取膜辅助刀组件、第二压送辊单元、浮动辊二组件和第四转向组件均沿着Y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，收料辊组件安装在贴膜支架电机侧边靠近底部沿着X轴正方向的一侧位置。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，第一压送辊单元包括沿着X轴正方向依次设置的压送从辊组件和压送主辊组件；
[0013]压送从辊组件包括压送从辊转接板一、压送从辊转接板三、压送从辊转接板二、压送从辊滚筒和压送从辊心轴，压送从辊转接板二沿着Y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，压送从辊转接板二上沿着X轴负方向的一侧安装有压送从辊转接板三，压送从辊转接板三沿着Y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一，两个压送从辊转接板一之间沿着Y轴方向安装有压送从辊滚筒，压送从辊转接板二沿着X轴正方向一侧的贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边上均设置有速度控制阀和滑台气缸，滑台气缸可驱动压送从辊转接板二沿着X轴方向移动，压送从辊滚筒的内侧通过压送从辊轴承与压送从辊心轴相连接，压送从辊心轴沿着Y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一上，压送从辊轴承外侧的压送从辊心轴上设置有压送从辊固定环；
[0014]压送主辊组件包括包括压送主辊伺服电机、压送主辊减速器、压送主辊支撑立柱、压送主辊电机板和压送主辊包胶辊，压送主辊伺服电机和压送主辊减速器通过压送主辊电机板和若干个压送主辊支撑立柱安装在贴膜支架电机侧边上，压送主辊伺服电机和压送主辊减速器通过压送主辊联轴器与压送主辊包胶辊相连接，压送主辊包胶辊通过压送主辊法兰一安装在贴膜支架电机侧边上，压送主辊包胶辊通过压送主辊法兰二安装在贴膜支架侧边上，压送主辊包胶辊通过压送主辊轴承与压送主辊法兰一和压送主辊法兰二相连接，压送主辊包胶辊位于压送从辊滚筒沿着X轴正方向的一侧。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，第二压送辊单元包括沿着Z轴负方向依次设置的压送从辊组件和压送主辊组件；
[0016]压送从辊组件包括压送从辊转接板一、压送从辊转接板三、压送从辊转接板二、压送从辊滚筒和压送从辊心轴，压送从辊转接板二沿着Y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，压送从辊转接板二上沿着Z轴正方向的一侧安装有压送从辊转接板三，压送从辊转接板三沿着Y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一，两个压送从辊转
接板一之间沿着Y轴方向安装有压送从辊滚筒，压送从辊转接板二沿着Z轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边上均设置有速度控制阀和滑台气缸，滑台气缸可驱动压送从辊转接板二沿着Z轴方向移动，压送从辊滚筒的内侧通过压送从辊轴承与压送从辊心轴相连接，压送从辊心轴沿着Y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一上，压送从辊轴承外侧的压送从辊心轴上设置有压送从辊固定环，压送从辊转接板三和压送从辊转接板二之间设置有压送从辊调整块；
[0017]压送主辊组件包括包括压送主辊伺服电机、压送主辊减速器、压送主辊支撑立柱、压送主辊电机板和压送主辊包胶辊，压送主辊伺服电机和压送主辊减速器通过压送主辊电机板和若干个压送主辊支撑立柱安装在贴膜支架电机侧边上，压送主辊伺服电机和压送主辊减速器通过压送主辊联轴器与压送主辊包胶辊相连接，压送主辊包胶辊通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，包括膜装置支架(1)、第一压送辊单元、第二压送辊单元、第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件、第四转向组件、浮动辊一组件(7)、放料辊组件(8)、浮动辊二组件(9)、贴膜基座支架一(10)、贴膜基座支架二(11)、收料辊组件(12)、贴膜检测组件(18)、取膜辊组件(19)和取膜辅助刀组件(20)；所述膜装置支架(1)包括沿着Y轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边(104)和沿着Y轴正方向一侧的贴膜支架侧边(106)，所述贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间通过若干个贴膜支架连接杆(101)连接在一起，所述贴膜支架电机侧边(104)上设置有贴膜支架筋板(102)，所述贴膜支架筋板(102)和贴膜支架电机侧边(104)之间设置有贴膜支架连接块(110)，所述贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间的底部位置还连接设置有贴膜支架连接板(107)，所述贴膜支架侧边(106)顶部沿着X轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板一(109)，所述贴膜支架电机侧边(104)靠近顶部沿着X轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板二(103)，所述贴膜支架侧边(106)靠近中部沿着X轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板三(108)，所述贴膜支架侧边(106)底部设置有若干个贴膜支架靠边(105)；所述贴膜支架电机侧边(104)沿着X轴正方向一侧的贴膜支架筋板(102)上靠近底部的位置上设置有三联放大器固定板(13)，所述三联放大器固定板(13)上安装有三联放大器(14)，所述贴膜支架侧边(106)沿着X轴负方向一侧靠近顶部的位置上设置有两联放大器固定板(3)，所述两联放大器固定板(3)上安装有两联放大器(4)；所述贴膜支架侧边(106)设置在贴膜基座支架一(10)上，所述贴膜支架电机侧边(104)设置在贴膜基座支架二(11)上，所述贴膜支架电机侧边(104)靠近顶部的位置上沿着Y轴方向设置有放料辊组件(8)，所述放料辊组件(8)沿着X轴正方向的一侧设置有第一转向组件，所述第一转向组件通过贴膜支架延伸板二(103)与贴膜支架电机侧边(104)相连接，所述转向辊组件(6)通过贴膜支架延伸板一(109)与贴膜支架侧边(106)相连接，所述放料辊组件(8)沿着X轴负方向的一侧依次设置有第二转向组件、浮动辊一组件(7)和第一压送辊单元，所述第二转向组件、浮动辊一组件(7)和第一压送辊单元均沿着Y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述第一压送辊单元下方的位置依次设置有贴膜检测组件(18)和第三转向组件，所述第三转向组件沿着X轴负方向的一侧依次设置有取膜辅助刀组件(20)和取膜辊组件(19)，所述第三转向组件沿着X轴正方向的一侧依次设置有第二压送辊单元、浮动辊二组件(9)、第四转向组件和收料辊组件(12)，所述贴膜检测组件(18)、第三转向组件、取膜辊组件(19)、取膜辅助刀组件(20)、第二压送辊单元、浮动辊二组件(9)和第四转向组件均沿着Y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述收料辊组件(12)安装在贴膜支架电机侧边(104)靠近底部沿着X轴正方向的一侧位置。2.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述第一压送辊单元包括沿着X轴正方向依次设置的压送从辊组件(2)和压送主辊组件(5)；所述压送从辊组件(2)包括压送从辊转接板一(204)、压送从辊转接板三(205)、压送从辊转接板二(206)、压送从辊滚筒(207)和压送从辊心轴(209)，所述压送从辊转接板二(206)沿着Y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述压送从辊转接板二(206)上沿着X轴负方向的一侧安装有压送从辊转接板三(205)，所述压送从辊
转接板三(205)沿着Y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一(204)，两个所述压送从辊转接板一(204)之间沿着Y轴方向安装有压送从辊滚筒(207)，所述压送从辊转接板二(206)沿着X轴正方向一侧的贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)上均设置有速度控制阀(201)和滑台气缸(202)，所述滑台气缸(202)可驱动压送从辊转接板二(206)沿着X轴方向移动，所述压送从辊滚筒(207)的内侧通过压送从辊轴承(210)与压送从辊心轴(209)相连接，所述压送从辊心轴(209)沿着Y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一(204)上，所述压送从辊轴承(210)外侧的压送从辊心轴(209)上设置有压送从辊固定环(208)；所述压送主辊组件(5)包括包括压送主辊伺服电机(501)、压送主辊减速器(502)、压送主辊支撑立柱(503)、压送主辊电机板(507)和压送主辊包胶辊(508)，所述压送主辊伺服电机(501)和压送主辊减速器(502)通过压送主辊电机板(507)和若干个压送主辊支撑立柱(503)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述压送主辊伺服电机(501)和压送主辊减速器(502)通过压送主辊联轴器(504)与压送主辊包胶辊(508)相连接，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊法兰一(505)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊法兰二(509)安装在贴膜支架侧边(106)上，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊轴承(506)与压送主辊法兰一(505)和压送主辊法兰二(509)相连接，所述压送主辊包胶辊(508)位于压送从辊滚筒(207)沿着X轴正方向的一侧。3.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述第二压送辊单元包括沿着Z轴负方向依次设置的压送从辊组件(2)和压送主辊组件(5)；所述压送从辊组件(2)包括压送从辊转接板一(204)、压送从辊转接板三(205)、压送从辊转接板二(206)、压送从辊滚筒(207)和压送从辊心轴(209)，所述压送从辊转接板二(206)沿着Y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述压送从辊转接板二(206)上沿着Z轴正方向的一侧安装有压送从辊转接板三(205)，所述压送从辊转接板三(205)沿着Y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一(204)，两个所述压送从辊转接板一(204)之间沿着Y轴方向安装有压送从辊滚筒(207)，所述压送从辊转接板二(206)沿着Z轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)上均设置有速度控制阀(201)和滑台气缸(202)，所述滑台气缸(202)可驱动压送从辊转接板二(206)沿着Z轴方向移动，所述压送从辊滚筒(207)的内侧通过压送从辊轴承(210)与压送从辊心轴(209)相连接，所述压送从辊心轴(209)沿着Y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一(204)上，所述压送从辊轴承(210)外侧的压送从辊心轴(209)上设置有压送从辊固定环(208)，所述压送从辊转接板三(205)和压送从辊转接板二(206)之间设置有压送从辊调整块(203)；所述压送主辊组件(5)包括包括压送主辊伺服电机(501)、压送主辊减速器(502)、压送主辊支撑立柱(503)、压送主辊电机板(507)和压送主辊包胶辊(508)，所述压送主辊伺服电机(501)和压送主辊减速器(502)通过压送主辊电机板(507)和若干个压送主辊支撑立柱(503)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述压送主辊伺服电机(501)和压送主辊减速器(502)通过压送主辊联轴器(504)与压送主辊包胶辊(508)相连接，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊法兰一(505)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊法兰二(509)安装在贴膜支架侧边(106)上，所述压送主辊包胶辊(508)
通过压送主辊轴承(506)与压送主辊法兰一(505)和压送主辊法兰二(509)相连接，所述压送主辊包胶辊(508)位于压送从辊滚筒(207)的正下方位置。4.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件和第四转向组件均为转向辊组件(6)，所述转向辊组件(6)包括转向辊轴(603)和转向辊辊筒(605)，所述转向辊辊筒(605)通过转向辊轴承(601)与内侧的转向辊轴(603)相连接，所述转向辊轴(603)沿着Y轴负方向的一侧通过转向辊固定环(604)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述转向辊轴(603)沿着Y轴正方向的一侧通过转向辊法兰(602)安装在贴膜支架侧边(106)上，沿着Y轴正方向一侧的所述转向辊轴承(601)外侧的转向辊轴(603)上设置有转向辊固定环(604)，且所述转向辊辊筒(605)上还设置有膜限位组件(23)。5.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述浮动辊一组件(7)包括浮动辊一滑板一(701)、浮动辊一滚筒(704)、浮动辊一导轨(706)、浮动辊一轴(707)和浮动辊一滑板二(709)，所述浮动辊一滚筒(704)通过浮动辊一轴承(705)与内侧的浮动辊一轴(707)相连接，所述浮动辊一轴(707)沿着Y轴负方向的一侧通过浮动辊一轴套(708)安装在贴膜支架电机侧边(104)上的浮动辊一滑板二(709)上，所述浮动辊一轴(707)沿着Y轴正方向的一侧通过球面轴承(702)安装在贴膜支架侧边(106)上的浮动辊一滑板一(701)上，所述浮动辊一滑板一(701)与沿着Z轴方向安装在贴膜支架侧边(106)上的浮动辊一导轨(706)相连接，所述浮动辊一滑板二(709)与沿着Z轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)上的浮动辊一导轨(706)相连接，沿着Y轴负方向一侧的所述浮动辊一轴套(708)外侧的浮动辊一轴(707)上设置有浮动辊一固定环(703)，所述浮动辊一滑板二(709)上设置有浮动辊一感应片(710)，所述浮动辊一滚筒(704)上还设置有膜限位组件(23)；所述浮动辊一滑板二(709)一侧的贴膜支架电机侧边(104)上还设置有浮动辊一感应组件(21)，所述浮动辊一感应组件(21)包括沿着Z轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)上的浮动辊一感应条(2103)，浮动辊一感应器(2102)通过浮动辊一感应器滑块(2101)可沿着Z轴方向移动的安装在所述浮动辊一感应条(2103)上；所述浮动辊二组件(9)包括浮动辊二滑板一(901)、浮动辊二导轨(902)、浮动辊二辊筒(903)、浮动辊二滑板二(905)和浮动辊二轴(906)，所述浮动辊二辊筒(903)通过浮动辊二轴承二(909)与内侧的浮动辊二轴(906)相连接，所述浮动辊二轴(906)沿着Y轴负方向的...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，王乾宝，高峰，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：发明
国别省市：