【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆加工相关，尤其涉及一种bar条切割装置。
技术介绍
1、bar条切割是将bar条通过矩阵形式均匀排布在标准尺寸钢环上，并通过膜使其与钢环固定，最终排布完成的产品结构形式为钢环内呈矩形排布结构的bar条等间距阵列，加工时对首条bar切割，再步进到下一条bar切割。
2、当前使用的切割装置有两类，一是使用晶圆切割装置进bar条切割，该设备因晶圆切割工艺需求，使用能覆盖晶圆直径尺寸的大长度切割刀片，且移动平台只有伺服电机加滚珠丝杠传动的单向步进轴和伺服电机加同步带传动的旋转轴。使用此装置对bar条进行切割，因等间距阵列排布的bar条因排布位置误差，无法对同一钢环上的所有bar条同时进行切割，因此只能对单条切割完成后平台装置步进到下一条进行切割，使用晶圆裂片装置切割bar条，因其配套的大长度切割刀片，无法对矩阵排列的bar条进行切割，因此只能一只钢环粘贴一根bar条，切割完成后替换下一根bar条，极大减缓加工效率，增加bar条切割成本，降低设备使用率。
3、二是由针尖形刀对bar条宽度方向进行完全划裂的方式进行切割，该类切割装置因刀片的结构形式，在对单颗芯片切割时，由z方向步进装置将刀片切入bar条内部时，还需搭载bar条的平台装置步进与bar条宽度等长的距离，从而完成一颗芯片的切割，此装置在切割时动作步骤多，且依靠平台装置步进方向的直线度较难保证切割截面的平整性，又因为刀片的切割方式，bar条截面为应力释放形式的破裂，此种切割装置切割完成的芯片截面粗糙，平整性差，后期增加打磨工序，装置切割效率
4、有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种bar条切割装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种bar条切割装置。
2、为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
3、一种bar条切割装置，包括加工z轴组件、三轴平台和支撑及下影像组件，三轴平台包括基板、x&y轴双向运动平台和旋转吸附平台，安装在基板上的x&y轴双向运动平台与上方的旋转吸附平台相连接，在旋转吸附平台的上方设置有加工z轴组件，加工z轴组件安装在基板上，旋转吸附平台内侧的基板上安装有支撑及下影像组件；
4、加工z轴组件包括加工立架、z轴滑板和加工z轴伺服电机，加工立架沿着x轴方向的两侧分别通过左立柱和右立柱安装在基板上，加工z轴伺服电机通过加工z轴立板安装在加工立架上的中间位置，加工z轴伺服电机底部的驱动端通过加工z轴丝杆模组与下方的z轴滑板相连接，在z轴滑板上安装有电动击锤，在电动击锤正下方的z轴滑板上安装有刀架，刀架上的中间位置安装有劈刀安装板，在劈刀安装板的底部中间位置安装有劈刀压块，劈刀压块的底部安装有劈刀；
5、支撑及下影像组件包括第一支撑y轴步进电机、第一支撑y轴滑块、第二支撑y轴滑块、第二支撑y轴步进电机和下影像组件，第一支撑y轴滑块和第二支撑y轴滑块依次沿着y轴的正方向安装在下方的x&y轴双向运动平台上，第一支撑y轴步进电机的驱动端通过第一支撑y轴传动丝杆与第一支撑y轴滑块相连接，第二支撑y轴步进电机的驱动端通过第二支撑y轴传动丝杆与第二支撑y轴滑块相连接，在第一支撑y轴滑块的顶部安装有第一支撑y轴承板，在第二支撑y轴滑块的顶部安装有第二支撑y轴承板，且下影像组件位于第一支撑y轴滑块和第二支撑y轴滑块的下方。
6、作为本专利技术的进一步改进，在加工立架上沿着x轴方向的一侧还安装有圈边相机，在圈边相机正下方的基板上安装有圈边光源。
7、作为本专利技术的进一步改进，在旋转吸附平台沿着y轴正方向一侧的基板上设置有圈边搬运轴，圈边搬运轴包括柔性吸盘、圈边搬运运动支座、单轴丝杆运动模组和圈边搬运伺服电机，单轴丝杆运动模组沿着x轴方向安装在基板上，在单轴丝杆运动模组沿着x轴方向一侧的基板上安装有圈边搬运伺服电机，圈边搬运伺服电机的驱动端通过单轴丝杆运动模组驱动上方的圈边搬运运动支座沿着x轴方向移动，圈边搬运运动支座上的顶部安装有用于抓取钢环的柔性吸盘。
8、作为本专利技术的进一步改进，柔性吸盘可在圈边搬运运动支座上沿着z轴方向自由移动。
9、作为本专利技术的进一步改进，下影像组件包括调焦电机、影像x向调整架、影像y向调整架、定位相机和定倍镜头，影像x向调整架通过下影像支架安装在基座的底部，影像x向调整架可驱动上方的影像y向调整架沿着x轴方向移动，影像y向调整架可驱动上方的调焦电机沿着y轴方向移动，调焦电机可驱动定倍镜头沿着z轴方向移动，定倍镜头的底部安装有定位相机，且在定倍镜头靠近顶部的一侧安装有同轴光源。
10、作为本专利技术的进一步改进，影像x向调整架和影像y向调整架均为滑台气缸。
11、作为本专利技术的进一步改进，刀架沿着x轴方向的两侧顶部均通过弹簧和固定螺栓悬挂在z轴滑板上。
12、作为本专利技术的进一步改进，在劈刀压块沿着y轴方向的两侧分别安装有前压板和后压板，前压板和后压板沿着x轴方向的两侧均通过转接板与上方的导向轴相连接，安装在z轴滑板上的直线轴承与导向轴滑动配合。
13、作为本专利技术的进一步改进，加工z轴丝杆模组包括滚珠丝杆、丝杆固定侧轴承座、螺母连接座和支撑侧丝杆座，滚珠丝杆的顶部和底部分别通过丝杆固定侧轴承座和支撑侧丝杆座安装在加工z轴立板上，滚珠丝杆的中部通过螺母连接座与z轴滑板相连接，加工z轴伺服电机底部的驱动端通过联轴器与下方的滚珠丝杆相连接。
14、作为本专利技术的进一步改进，加工z轴立板沿着y轴方向两侧的加工立架上分别安装有前调节螺母和后调节螺母。
15、借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点：
16、本专利技术的切割装置利用三轴平台在圈边影像及定位影像辅助下，为粘贴在钢环上的bar条阵列排布的布置形式的切割，提供了bar条任意位置和任意角度的移动需求，不再受制于晶圆裂片设备加工该类产品时，因大尺寸切割刀片只能进行单条切割的局限，很好的解决了钢环内阵列排布的bar条切割问题，以及当前市场存在的切割装置切割截面不平整及崩边问题。
17、本专利技术加工z轴组件搭载的电动击锤和劈刀结合切割产品，延长了劈刀的使用寿命，且切割效果稳定，切割截面平整无崩边，提供了一种稳定且有效的切割方法。
18、上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
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1.一种Bar条切割装置，包括加工Z轴组件(1)、三轴平台(2)和支撑及下影像组件(3)，所述三轴平台(2)包括基板、X&Y轴双向运动平台和旋转吸附平台，安装在所述基板上的X&Y轴双向运动平台与上方的旋转吸附平台相连接，在所述旋转吸附平台的上方设置有加工Z轴组件(1)，所述加工Z轴组件(1)安装在基板上，所述旋转吸附平台内侧的基板上安装有支撑及下影像组件(3)；
2.如权利要求1所述的一种Bar条切割装置，其特征在于，在所述加工立架上沿着X轴方向的一侧还安装有圈边相机(4)，在所述圈边相机(4)正下方的基板上安装有圈边光源(5)。
3.如权利要求1所述的一种Bar条切割装置，其特征在于，在所述旋转吸附平台沿着Y轴正方向一侧的基板上设置有圈边搬运轴(6)，所述圈边搬运轴(6)包括柔性吸盘(7)、圈边搬运运动支座(9)、单轴丝杆运动模组(10)和圈边搬运伺服电机(11)，所述单轴丝杆运动模组(10)沿着X轴方向安装在基板上，在所述单轴丝杆运动模组(10)沿着X轴方向一侧的基板上安装有圈边搬运伺服电机(11)，所述圈边搬运伺服电机(11)的驱动端
4.如权利要求3所述的一种Bar条切割装置，其特征在于，所述柔性吸盘(7)可在圈边搬运运动支座(9)上沿着Z轴方向自由移动。
5.如权利要求1所述的一种Bar条切割装置，其特征在于，所述下影像组件包括调焦电机(20)、影像X向调整架(21)、影像Y向调整架(22)、定位相机(23)和定倍镜头(25)，所述影像X向调整架(21)通过下影像支架安装在基座的底部，所述影像X向调整架(21)可驱动上方的影像Y向调整架(22)沿着X轴方向移动，所述影像Y向调整架(22)可驱动上方的调焦电机(20)沿着Y轴方向移动，所述调焦电机(20)可驱动定倍镜头(25)沿着Z轴方向移动，所述定倍镜头(25)的底部安装有定位相机(23)，且在所述定倍镜头(25)靠近顶部的一侧安装有同轴光源(24)。
6.如权利要求5所述的一种Bar条切割装置，其特征在于，所述影像X向调整架(21)和影像Y向调整架(22)均为滑台气缸。
7.如权利要求1所述的一种Bar条切割装置，其特征在于，所述刀架(29)沿着X轴方向的两侧顶部均通过弹簧(38)和固定螺栓(39)悬挂在Z轴滑板(31)上。
8.如权利要求1所述的一种Bar条切割装置，其特征在于，在所述劈刀压块(26)沿着Y轴方向的两侧分别安装有前压板(34)和后压板(35)，所述前压板(34)和后压板(35)沿着X轴方向的两侧均通过转接板与上方的导向轴(37)相连接，安装在所述Z轴滑板(31)上的直线轴承(36)与导向轴(37)滑动配合。
9.如权利要求1所述的一种Bar条切割装置，其特征在于，所述加工Z轴丝杆模组包括滚珠丝杆(42)、丝杆固定侧轴承座(43)、螺母连接座(44)和支撑侧丝杆座(45)，所述滚珠丝杆(42)的顶部和底部分别通过丝杆固定侧轴承座(43)和支撑侧丝杆座(45)安装在加工Z轴立板上，所述滚珠丝杆(42)的中部通过螺母连接座(44)与Z轴滑板(31)相连接，所述加工Z轴伺服电机(40)底部的驱动端通过联轴器(41)与下方的滚珠丝杆(42)相连接。
10.如权利要求1所述的一种Bar条切割装置，其特征在于，所述加工Z轴立板沿着Y轴方向两侧的加工立架上分别安装有前调节螺母(46)和后调节螺母(47)。
...【技术特征摘要】
1.一种bar条切割装置，包括加工z轴组件(1)、三轴平台(2)和支撑及下影像组件(3)，所述三轴平台(2)包括基板、x&y轴双向运动平台和旋转吸附平台，安装在所述基板上的x&y轴双向运动平台与上方的旋转吸附平台相连接，在所述旋转吸附平台的上方设置有加工z轴组件(1)，所述加工z轴组件(1)安装在基板上，所述旋转吸附平台内侧的基板上安装有支撑及下影像组件(3)；
2.如权利要求1所述的一种bar条切割装置，其特征在于，在所述加工立架上沿着x轴方向的一侧还安装有圈边相机(4)，在所述圈边相机(4)正下方的基板上安装有圈边光源(5)。
3.如权利要求1所述的一种bar条切割装置，其特征在于，在所述旋转吸附平台沿着y轴正方向一侧的基板上设置有圈边搬运轴(6)，所述圈边搬运轴(6)包括柔性吸盘(7)、圈边搬运运动支座(9)、单轴丝杆运动模组(10)和圈边搬运伺服电机(11)，所述单轴丝杆运动模组(10)沿着x轴方向安装在基板上，在所述单轴丝杆运动模组(10)沿着x轴方向一侧的基板上安装有圈边搬运伺服电机(11)，所述圈边搬运伺服电机(11)的驱动端通过单轴丝杆运动模组(10)驱动上方的圈边搬运运动支座(9)沿着x轴方向移动，所述圈边搬运运动支座(9)上的顶部安装有用于抓取钢环(8)的柔性吸盘(7)。
4.如权利要求3所述的一种bar条切割装置，其特征在于，所述柔性吸盘(7)可在圈边搬运运动支座(9)上沿着z轴方向自由移动。
5.如权利要求1所述的一种bar条切割装置，其特征在于，所述下影像组件包括调焦电机(20)、影像x向调整架(21)、影像y向调整架(22)、定位相机(23)和定倍镜头(25)，所述影像x向调整架(21)通过下影像支架安装在基座的底部，所述影像x向调...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，卢铎文，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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