本实用新型专利技术公开了一种无水无氧的全封闭式SMIF装置，属于半导体技术领域，其包括装置主体，所述装置主体的下方设置有防护底座，所述装置主体的底端滑动连接在防护底座的内壁，所述装置主体的下表面固定连接有四个防护齿板。该无水无氧的全封闭式SMIF装置，通过设置有防护齿板、万向轮、防护滑槽、第一弹性伸缩杆和防护滑板，当该SMIF装置受到震动影响时会向下滑动，通过防护齿板和防护齿轮会带动万向轮旋转，两侧的万向轮带动防护滑板上升利用两侧的第一防护铰接杆带动对应的防护滑块向中部滑动压缩第一弹性伸缩杆，通过第一弹性伸缩杆的反作用力进行缓冲，从而减少震动对该SMIF装置内部电子元件所造成的损伤，保证该SMIF装置正常的使用寿命。正常的使用寿命。正常的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种无水无氧的全封闭式SMIF装置
[0001]本技术属于半导体
，具体为一种无水无氧的全封闭式SMIF装置。
技术介绍
[0002]目前，在半导体的制造过程中，晶圆输送对IC制造至关重要。为了确保晶圆在不同的制程间运送时的品质，避免晶圆受到尘粒或其它污染，越来越多的运送工作采用标准的运送容器，即采用了标准机械界面(standard mechanical interface,简称SMIF)技术。
[0003]传统的无水无氧的全封闭式SMIF装置在移动是产生的震动会对内部的电子元件造成一定的损伤，从而会影响无水无氧的全封闭式SMIF装置正常使用，且侧面板的防护效果较差，受到碰撞两侧的侧面板会凹陷甚至破损，安全防护效果较差。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供了一种无水无氧的全封闭式SMIF装置，解决了传统的无水无氧的全封闭式SMIF装置在移动是产生的震动会对内部的电子元件造成一定的损伤，从而会影响无水无氧的全封闭式SMIF装置正常使用，且侧面板的防护效果较差，受到碰撞两侧的侧面板会凹陷甚至破损，安全防护效果较差的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种无水无氧的全封闭式SMIF装置，包括装置主体，所述装置主体的下方设置有防护底座，所述装置主体的底端滑动连接在防护底座的内壁，所述装置主体的下表面固定连接有四个防护齿板，所述防护底座内壁的正面通过销轴转动连接有四个防护齿轮，所述防护齿板的左侧面与防护齿轮的外表面相啮合，所述防护齿轮的正面固定连接有防护转杆，所述防护底座下表面的四角处均固定连接有万向轮，所述防护底座内壁的下表面开设有两个防护滑槽，所述防护滑槽的内壁滑动连接有两个防护滑块，两个防护滑块相互靠近的一面固定连接有同一个第一弹性伸缩杆，所述防护底座的正面开设有两个限位滑槽，所述限位滑槽的内壁滑动连接有防护滑板，所述防护滑板的下表面通过销轴转动连接有两个第一防护铰接杆。
[0008]作为本技术的进一步方案：所述装置主体的左侧面与右侧面均固定连接有四个限位伸缩杆，对应四个限位伸缩杆远离装置主体的一端固定连接有同一个防护侧板。
[0009]作为本技术的进一步方案：所述防护侧板的左侧面通过销轴转动连接有四个第二防护铰接杆，所述装置主体的左侧面与右侧面均开设有四个侧面防护限位槽。
[0010]作为本技术的进一步方案：所述侧面防护限位槽的内壁滑动连接有侧面防护板，所述装置主体的左侧面与右侧面均固定连接有四个第二弹性伸缩杆。
[0011]作为本技术的进一步方案：所述第二弹性伸缩杆的底端固定连接在侧面防护板的上表面，所述防护滑板的左右两端、防护转杆的底端和第二防护铰接杆的左端均通过轴承转动连接有防护滚轮。
[0012]作为本技术的进一步方案：所述第一防护铰接杆的底端通过销轴转动连接在防护滑块的上表面，所述防护滑板的左右两端与两个防护转杆的外表面紧密贴合。
[0013](三)有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0015]1、该无水无氧的全封闭式SMIF装置，通过设置有防护齿板、万向轮、防护滑槽、第一弹性伸缩杆和防护滑板，当该SMIF装置受到震动影响时会向下滑动，通过防护齿板和防护齿轮会带动万向轮旋转，两侧的万向轮带动防护滑板上升利用两侧的第一防护铰接杆带动对应的防护滑块向中部滑动压缩第一弹性伸缩杆，通过第一弹性伸缩杆的反作用力进行缓冲，从而减少震动对该SMIF装置内部电子元件所造成的损伤，保证该SMIF装置正常的使用寿命。
[0016]2、该无水无氧的全封闭式SMIF装置，通过设置有限位伸缩杆、防护侧板、第二防护铰接杆、侧面防护板和第二弹性伸缩杆，当该SMIF装置的侧面受到碰撞时，防护侧板在限位伸缩杆的限位下会向装置主体方向滑动，两侧的第二防护铰接杆挤压对应的侧面防护板，侧面防护板在侧面防护限位槽的限位下压缩对应的第二弹性伸缩杆，通过第二弹性伸缩杆的反作用力进行缓冲，从而减少碰撞对该SMIF装置侧面板所造成的损伤，从而提高该SMIF装置的自身防护效果。
附图说明
[0017]图1为本技术正视剖面的结构示意图；
[0018]图2为本技术防护齿板放大的结构示意图；
[0019]图3为本技术图1中A处放大的结构示意图；
[0020]图中：1装置主体、2防护底座、3防护齿板、4防护齿轮、5万向轮、6防护转杆、7防护滑槽、8防护滑块、9第一弹性伸缩杆、10限位滑槽、11防护滑板、12第一防护铰接杆、13限位伸缩杆、14防护侧板、15第二防护铰接杆、16侧面防护限位槽、17侧面防护板、18第二弹性伸缩杆、19防护滚轮。
具体实施方式
[0021]下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0022]如图1
‑
3所示，本技术提供一种技术方案：一种无水无氧的全封闭式SMIF装置，包括装置主体1，装置主体1的下方设置有防护底座2，装置主体1的底端滑动连接在防护底座2的内壁，装置主体1的下表面固定连接有四个防护齿板3，防护底座2内壁的正面通过销轴转动连接有四个防护齿轮4，防护齿板3的左侧面与防护齿轮4的外表面相啮合，防护齿轮4的正面固定连接有防护转杆6，防护底座2下表面的四角处均固定连接有万向轮5，防护底座2内壁的下表面开设有两个防护滑槽7，防护滑槽7的内壁滑动连接有两个防护滑块8，两个防护滑块8相互靠近的一面固定连接有同一个第一弹性伸缩杆9，防护底座2的正面开设有两个限位滑槽10，限位滑槽10的内壁滑动连接有防护滑板11，防护滑板11的下表面通过销轴转动连接有两个第一防护铰接杆12，通过设置有防护齿板3、万向轮5、防护滑槽7、第一弹性伸缩杆9和防护滑板11，当该SMIF装置受到震动影响时会向下滑动，通过防护齿板3和防护齿轮4会带动万向轮5旋转，两侧的万向轮5带动防护滑板11上升利用两侧的第一防
护铰接杆12带动对应的防护滑块8向中部滑动压缩第一弹性伸缩杆9，通过第一弹性伸缩杆9的反作用力进行缓冲，从而减少震动对该SMIF装置内部电子元件所造成的损伤，保证该SMIF装置正常的使用寿命。
[0023]具体的，如图2所示，装置主体1的左侧面与右侧面均固定连接有四个限位伸缩杆13，对应四个限位伸缩杆13远离装置主体1的一端固定连接有同一个防护侧板14，防护侧板14的左侧面通过销轴转动连接有四个第二防护铰接杆15，装置主体1的左侧面与右侧面均开设有四个侧面防护限位槽16,侧面防护限位槽16的内壁滑动连接有侧面防护板17，装置主体1的左侧面与右侧面均固定连接有四个第二弹性伸缩杆18，通过设置有限位伸缩杆13、防护侧板14、第二防护铰接杆15、侧面防护板17和第二弹性伸缩杆18，当该SMIF装置的侧面受到碰撞时，防护侧板14在限位伸缩杆13的限位下会向装置主体1方本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种无水无氧的全封闭式SMIF装置，包括装置主体(1)，其特征在于：所述装置主体(1)的下方设置有防护底座(2)，所述装置主体(1)的底端滑动连接在防护底座(2)的内壁，所述装置主体(1)的下表面固定连接有四个防护齿板(3)，所述防护底座(2)内壁的正面通过销轴转动连接有四个防护齿轮(4)，所述防护齿板(3)的左侧面与防护齿轮(4)的外表面相啮合，所述防护齿轮(4)的正面固定连接有防护转杆(6)，所述防护底座(2)下表面的四角处均固定连接有万向轮(5)，所述防护底座(2)内壁的下表面开设有两个防护滑槽(7)，所述防护滑槽(7)的内壁滑动连接有两个防护滑块(8)，两个防护滑块(8)相互靠近的一面固定连接有同一个第一弹性伸缩杆(9)，所述防护底座(2)的正面开设有两个限位滑槽(10)，所述限位滑槽(10)的内壁滑动连接有防护滑板(11)，所述防护滑板(11)的下表面通过销轴转动连接有两个第一防护铰接杆(12)。2.根据权利要求1所述的一种无水无氧的全封闭式SMIF装置，其特征在于：所述装置主体(1)的左侧面与右侧面均固定连接有四个限位伸缩杆(13)，对应四个限位伸缩...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘欣欣，
申请(专利权)人：西联机械技术无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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