一种无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备制造技术

技术编号:33809625 阅读:29 留言:0更新日期:2022-06-16 10:18
本实用新型专利技术公开了一种无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备,属于半导体技术领域,其包括设备主体,所述设备主体内壁的左侧面与右侧面通过轴承转动连接有同一个调节螺纹杆,所述设备主体的右侧面与驱动电机的左端固定连接,所述驱动电机的输出端与调节螺纹杆的右端固定连接。该无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备,通过设置有调节螺纹杆、驱动电机、横向传输板、限位滑槽和竖向电动伸缩杆,在对晶圆吸附在吸盘下表面后,驱动电机带动调节螺纹杆旋转会使横向传输板在两侧第一限位杆的限位下左右滑动,控制竖向电动伸缩杆可对负压设备进行竖向滑动,从而可对晶圆多方向进行传输,结构简单,降低制造成本。降低制造成本。降低制造成本。

【技术实现步骤摘要】
一种无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备


[0001]本技术属于半导体
,具体为一种无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备。

技术介绍

[0002]晶圆在无水无氧的全封闭式手套箱内进行加工时需要利用传输设备进行传输,传统的传输方式是通过真空吸附的方式进行转移,但是真空吸附盘对晶圆固定的效果不够稳定,由于吸附气压不稳定从而会导致晶圆在传输的过程中掉落而损坏,对晶圆的防护效果较差,从而降低了传统传输设备的安全防护效果。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]为了克服现有技术的上述缺陷,本技术提供了一种无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备,解决了传统的传输方式是通过真空吸附的方式进行转移,但是真空吸附盘对晶圆固定的效果不够稳定,由于吸附气压不稳定从而会导致晶圆在传输的过程中掉落而损坏,对晶圆的防护效果较差,从而降低了传统传输设备的安全防护效果的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备,包括设备主体,所述设备主体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备,包括设备主体(1),其特征在于:所述设备主体(1)内壁的左侧面与右侧面通过轴承转动连接有同一个调节螺纹杆(2),所述设备主体(1)的右侧面与驱动电机(3)的左端固定连接,所述驱动电机(3)的输出端与调节螺纹杆(2)的右端固定连接,所述设备主体(1)内壁的左侧面与右侧面固定连接有两个第一限位杆(9),两个第一限位杆(9)的外表面滑动连接有同一个横向传输板(4),所述横向传输板(4)的背面螺纹连接在调节螺纹杆(2)的外表面,所述横向传输板(4)的正面开设有两个限位滑槽(6),两个限位滑槽(6)的内壁滑动连接有同一个负压设备(5),所述横向传输板(4)的正面固定连接有竖向电动伸缩杆(7),所述竖向电动伸缩杆(7)的底端固定连接在负压设备(5)的上表面,所述负压设备(5)的左侧面设置有吸盘(8)。2.根据权利要求1所述的一种无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备,其特征在于:所述吸盘(8)的外表面固定连接有连接杆(14),所述连接杆(14)的底端通过销轴转动连接有联动齿轮(15)。3.根据权利要求2所述的一种无水无氧的全封闭...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘欣欣
申请(专利权)人:西联机械技术无锡有限公司
类型:新型
国别省市:

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