一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置，包括两个安装座，两个所述安装座相对的侧面之间固定连接有两个导向板，两个所述安装座相对的侧面之间中心位置转动连接有螺纹杆；本实用新型专利技术通过伺服电机和螺纹杆的配合使用能够带动晶圆在水平方向进行传输，并且伺服电机的驱动对于位置的控制更加的精准，第一液压伸缩杆能够调节晶圆的竖直位置，使得晶圆在传输的过程中能够在水平和竖直方向都能够移动，传输的更加精准且范围更大，在对晶圆进行固定时，采用无痕吸嘴和夹持臂共同固定的方式进行夹持，保证了晶圆在传输的过程中的稳定性，不会发生掉落所带来的损失，并且夹持臂侧面的卡接座不会对晶圆的外缘造成伤害，保证了晶圆的完整性。保证了晶圆的完整性。保证了晶圆的完整性。

A new type of wafer front-end transmission device without water or oxygen

【技术实现步骤摘要】
一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置


[0001]本技术涉及传输装置
，尤其涉及一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置。

技术介绍

[0002]随着集成电路制造技术的飞速发展，集成电路的特征尺寸也在不断的减小，在一片半导体晶圆上，半导体器件的数量不断增加。为了满足半导体器件数量增多的要求，在一片半导体晶圆上往往包括多层结构的半导体器件，而相邻层的半导体器件通过金属互连结构实现电连接，从而在特定面积的晶圆上增加半导体器件数量，提高半导体器件的集成度。然而，随着集成电路结构的日益复杂，对于晶圆的要求也不断提高。
[0003]在晶圆前端传输的过程中，通常采用吸嘴的方式来将晶圆吸附固定住然后在进行传输，但是吸嘴经过长时间的使用后可能会老化，对于晶圆吸附的不够牢固，在晶圆前端传输的过程中可能会导致晶圆掉落，带来损失；所以，需要设计一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置，包括两个安装座，两个所述安装座相对的侧面之间固定连接有两个导向板，两个所述安装座相对的侧面之间中心位置转动连接有螺纹杆，所述安装座的侧面固定安装有伺服电机，两个所述导向板的外缘上分别滑动套接有滑动箱的两端，所述螺纹杆的外缘上螺纹套接在滑动箱的中心位置，所述滑动箱的底面一侧固定连接有L型支架，所述L型支架的底面安装有第一液压伸缩杆，所述第一液压伸缩杆的伸缩端固定连接有T型板，所述 T型板的底部安装有第二液压伸缩杆，所述第二液压伸缩杆的伸缩端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶面安装有吸附机构，所述T型板的顶面的两侧均转动连接有夹持臂，两个所述夹持臂的一端均固定连接有卡接块，两个所述卡接块相对的侧面之间固定连接有复位弹簧，所述第二液压伸缩杆的伸缩端固定连接有销块。
[0007]优选地，所述吸附机构包括支撑盘，所述支撑盘固定连接在支撑板的中心位置，所述支撑盘的顶面固定安装有四个无痕吸嘴。
[0008]优选地，两个所述夹持臂相对的侧面上均固定连接有卡接座。
[0009]优选地，所述卡接块相对的侧面上均开设有斜面且和销块两端的斜面相平行。
[0010]优选地，所述伺服电机的输出端和螺纹杆的一端均贯穿安装座且侧面固定连接有传动轮。
[0011]优选地，两个所述卡接座采用橡胶材料所制成。
[0012]本技术具有以下有益效果：
[0013]1、通过设置伺服电机、螺纹杆、导向板、滑动箱、第一液压伸缩杆，通过伺服电机和螺纹杆的配合使用能够带动晶圆在水平方向进行传输，并且伺服电机的驱动对于位置的控制更加的精准，第一液压伸缩杆能够调节晶圆的竖直位置，使得晶圆在传输的过程中能够在水平和竖直方向都能够移动，传输的更加精准且范围更大；
[0014]2、通过设置T型板、第二液压伸缩杆、支撑盘、夹持臂，在对晶圆进行固定时，采用无痕吸嘴和夹持臂共同固定的方式进行夹持，保证了晶圆在传输的过程中的稳定性，不会发生掉落所带来的损失，并且夹持臂侧面的卡接座不会对晶圆的外缘造成伤害，保证了晶圆的完整性。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置的主体结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置的T型板俯视剖视结构示意图；
[0017]图中：1安装座、2导向板、3螺纹杆、4滑动箱、5伺服电机、 6L型支架、7第一液压伸缩杆、8T型板、9第二液压伸缩杆、10支撑板、11支撑盘、12无痕吸嘴、13夹持臂、14卡接块、15复位弹簧、16销块、17卡接座。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]参照图1
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2，一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置，包括两个安装座1，两个安装座1相对的侧面之间固定连接有两个导向板2，两个安装座1相对的侧面之间中心位置转动连接有螺纹杆3，安装座 1的侧面固定安装有伺服电机5，两个导向板2的外缘上分别滑动套接有滑动箱4的两端，螺纹杆3的外缘上螺纹套接在滑动箱4的中心位置，滑动箱4的底面一侧固定连接有L型支架6，L型支架6的底面安装有第一液压伸缩杆7，第一液压伸缩杆7的伸缩端固定连接有 T型板8，T型板8的底部安装有第二液压伸缩杆9，第二液压伸缩杆 9的伸缩端固定连接有支撑板10，支撑板10的顶面安装有吸附机构， T型板8的顶面的两侧均转动连接有夹持臂13，两个夹持臂13的一端均固定连接有卡接块14，两个卡接块14相对的侧面之间固定连接有复位弹簧15，第二液压伸缩杆9的伸缩端固定连接有销块16。
[0020]参照图2，吸附机构包括支撑盘11，支撑盘11固定连接在支撑板10的中心位置，支撑盘11的顶面固定安装有四个无痕吸嘴12。
[0021]参照图2，两个夹持臂13相对的侧面上均固定连接有卡接座17。
[0022]参照图2，卡接块14相对的侧面上均开设有斜面且和销块16两端的斜面相平行。
[0023]参照图1，伺服电机5的输出端和螺纹杆3的一端均贯穿安装座 1且侧面固定连接有传动轮。
[0024]参照图2，两个卡接座17采用橡胶材料所制成。
[0025]本技术的具体工作原理如下：
[0026]使用该晶圆前端传输装置时，首先开启伺服电机5通过同步带带动螺纹杆3转动，螺纹杆3转动后能够带动滑动箱4沿导向板2在水平方向移动将吸附机构移动到合适的水平位置，随后开启第一液压伸缩杆7带动T型板8移动，从而调节吸附机构在竖直方向上的位置，当吸附机构调节到合适位置后，开启第二液压伸缩杆9使其伸长，随着第二液压伸缩杆9的伸长能够带动销块16从两个卡接块14之间移动出来，在复位弹簧15的作用下两个卡接块14相互靠近，使得夹持臂13的另一端相互远离，并且带动支撑板10移动至晶圆的正下方，随后开启无痕吸嘴12将晶圆吸附固定住，在缩短第二液压伸缩杆9，随着第二液压伸缩杆9缩至原来的位置，销块16在卡接进入到两个卡接块14之间时使得两个卡接块14相互远离，此时夹持臂13的另一端相互靠近，通过卡接座17将晶圆的两侧外缘所夹持，将晶圆固定住，随后开启第一液压伸缩杆7和伺服电机5带动晶圆进行传输。
[0027]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置，包括两个安装座(1)，其特征在于，两个所述安装座(1)相对的侧面之间固定连接有两个导向板(2)，两个所述安装座(1)相对的侧面之间中心位置转动连接有螺纹杆(3)，所述安装座(1)的侧面固定安装有伺服电机(5)，两个所述导向板(2)的外缘上分别滑动套接有滑动箱(4)的两端，所述螺纹杆(3)的外缘上螺纹套接在滑动箱(4)的中心位置，所述滑动箱(4)的底面一侧固定连接有L型支架(6)，所述L型支架(6)的底面安装有第一液压伸缩杆(7)，所述第一液压伸缩杆(7)的伸缩端固定连接有T型板(8)，所述T型板(8)的底部安装有第二液压伸缩杆(9)，所述第二液压伸缩杆(9)的伸缩端固定连接有支撑板(10)，所述支撑板(10)的顶面安装有吸附机构，所述T型板(8)的顶面的两侧均转动连接有夹持臂(13)，两个所述夹持臂(13)的一端均固定连接有卡接块(14)，两个所述卡接块(14)相对的侧面之间固定连接有复位弹簧(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘欣欣，
申请(专利权)人：西联机械技术无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：