一种非接触式搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种非接触式搬运装置，包括固定座，所述固定座的顶面转动安装有机械臂，所述机械臂的搬运端安装有搬运盘；本实用新型专利技术在对晶圆进行搬运时，采用气泵吸附的方式对晶圆进行夹取并搬运，整个过程中晶圆能够被无痕吸附盘所固定，防止了晶圆的掉落，保证了晶圆在搬运过程中的安全性，同时弹簧减震杆的使用保证了晶圆在吸附和放置的过程中固定板和无痕吸附盘不会对其表面造成过大的压力，不会对晶圆产生挤压和破坏，控制筒能够直接通过控制箱控制气泵的启停，使得晶圆在夹取和放置的过程中气泵能够被精准的控制，采用无痕吸附盘保证了晶圆在被吸附的过程中不会留下刮痕，使其在后续的使用中保证了完整性，更加有助于其直接使用。其直接使用。其直接使用。

A non-contact handling device

【技术实现步骤摘要】
一种非接触式搬运装置


[0001]本技术涉及搬运装置
，尤其涉及一种非接触式搬运装置。

技术介绍

[0002]制作一个晶圆需进行数十甚至数百道工艺，例如氧化、蚀刻、清洗、杂质扩散、离子植入及薄膜沉积等，而随着的科技进步，半导体工艺的精密度越来越高，为了避免人为操作上所产生的污染与误差，几乎所有的工艺皆已迈向自动化控制并于无尘室中操作，以提高良率及增加产能。
[0003]现有技术当中的非接触搬运装置在使用时运用的是机械手进行搬运，使用机械手时机械手上的多个爪片在支撑搬运半导体晶圆时，爪片直接与半导体晶圆接触，爪片会将半导体晶圆表面划伤，因此不益于半导体晶圆的搬运；所以，需要设计一种非接触式搬运装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种非接触式搬运装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种非接触式搬运装置，包括固定座，所述固定座的顶面转动安装有机械臂，所述机械臂的搬运端安装有搬运盘，所述搬运盘的侧面固定安装有四个弹簧减震杆，四个所述弹簧减震杆的伸缩端共同固定连接有固定板，所述固定板的侧面贯通安装有四个无痕吸附盘，所述搬运盘的外缘上固定连接有控制筒，所述控制筒的开口端的内面滑动连接有套接传动杆，所述控制筒的另一端内面固定连接有固定杆，所述套接传动杆的侧面固定连接有导向杆，所述控制筒的内面固定连接有导向板，所述导向杆的贯穿滑动套接在导向板的外缘上，所述导向杆位于导向板和控制筒内面之间的外缘上套接有复位弹簧，所述固定杆和导向杆相对的侧面上均固定安装有控制导电板。
[0007]优选地，所述机械臂的侧面固定安装有控制箱，所述控制箱通过导线和两个控制导电板之间相连接。
[0008]优选地，所述控制箱的侧面固定安装有气泵，所述气泵的出气端通过导管和四个无痕吸附盘之间相联通。
[0009]优选地，所述复位弹簧的一端固定连接在导向板的侧面上，所述复位弹簧的另一端固定连接在导向杆的外缘上。
[0010]优选地，所述控制筒的开口端和无痕吸附盘位于相同的水平位置。
[0011]优选地，所述控制箱中的控制器通过导线和气泵之间相连接。
[0012]本技术具有以下有益效果：
[0013]1、通过设置机械臂、搬运盘、无痕吸附盘、弹簧减震杆，在对晶圆进行搬运时，采用气泵吸附的方式对晶圆进行夹取并搬运，整个过程中晶圆能够被无痕吸附盘所固定，防止
了晶圆的掉落，保证了晶圆在搬运过程中的安全性，同时弹簧减震杆的使用保证了晶圆在吸附和放置的过程中固定板和无痕吸附盘不会对其表面造成过大的压力，不会对晶圆产生挤压和破坏；
[0014]2、通过设置控制筒，控制筒能够直接通过控制箱控制气泵的启停，使得晶圆在夹取和放置的过程中气泵能够被精准的控制，采用无痕吸附盘保证了晶圆在被吸附的过程中不会留下刮痕，使其在后续的使用中保证了完整性，更加有助于其直接使用。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种非接触式搬运装置的主体结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的一种非接触式搬运装置的搬运板结构示意图；
[0017]图3为本技术提出的一种非接触式搬运装置的控制筒剖视结构示意图；
[0018]图中：1固定座、2机械臂、3搬运盘、4弹簧减震杆、5固定板、6无痕吸附盘、7控制筒、8固定杆、9套接传动杆、10导向杆、11导向板、12复位弹簧、13控制导电板、14控制箱、15气泵。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]参照图1
‑
3，一种非接触式搬运装置，包括固定座1，固定座1的顶面转动安装有机械臂2，机械臂2的搬运端安装有搬运盘3，搬运盘3的侧面固定安装有四个弹簧减震杆4，四个弹簧减震杆4的伸缩端共同固定连接有固定板5，固定板5的侧面贯通安装有四个无痕吸附盘6，搬运盘3的外缘上固定连接有控制筒7，控制筒7的开口端的内面滑动连接有套接传动杆9，控制筒7的另一端内面固定连接有固定杆8，套接传动杆9的侧面固定连接有导向杆10，控制筒7的内面固定连接有导向板11，导向杆10的贯穿滑动套接在导向板11的外缘上，导向杆10位于导向板11和控制筒7内面之间的外缘上套接有复位弹簧12，固定杆8和导向杆10相对的侧面上均固定安装有控制导电板13。
[0021]参照图1，机械臂2的侧面固定安装有控制箱14，控制箱14通过导线和两个控制导电板13之间相连接。
[0022]参照图1，控制箱14的侧面固定安装有气泵15，气泵15的出气端通过导管和四个无痕吸附盘6之间相联通。
[0023]参照图3，复位弹簧12的一端固定连接在导向板11的侧面上，复位弹簧12的另一端固定连接在导向杆10的外缘上。
[0024]参照图2，控制筒7的开口端和无痕吸附盘6位于相同的水平位置。
[0025]参照图1，控制箱14中的控制器通过导线和气泵15之间相连接。
[0026]本技术的具体工作原理如下：
[0027]使用该搬运装置时，首先将机械臂2带动搬运盘3移动到晶圆的正上方，随后在向下移动机械臂2，使得搬运盘3侧面的无痕吸附盘6和晶圆的表面相接触，随着搬运盘3向下移动，控制筒7也向下移动，当控制筒7接触到存放晶圆的存储盘侧边时套接传动杆9能够被
压缩移动进入到控制筒7的内面当中，此时套接传动杆9带动导向杆10在导向板11的内面移动，两个控制导电板13能够接触，两者第一次接触后通过控制器启动气泵15使得四个无痕吸附盘6产生负压力从而将晶圆的表面吸附起来，随后启动机械臂2搬运晶圆，达到晶圆存放处时，重复上述过程，晶圆放置到存储盘当中后套接传动杆9继续移动，使得两个控制导电板13发生二次接触，此时控制箱14接收到信号后通过控制器停止气泵15的运转，晶圆能够放置在需要存储的位置。
[0028]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非接触式搬运装置，包括固定座(1)，其特征在于，所述固定座(1)的顶面转动安装有机械臂(2)，所述机械臂(2)的搬运端安装有搬运盘(3)，所述搬运盘(3)的侧面固定安装有四个弹簧减震杆(4)，四个所述弹簧减震杆(4)的伸缩端共同固定连接有固定板(5)，所述固定板(5)的侧面贯通安装有四个无痕吸附盘(6)，所述搬运盘(3)的外缘上固定连接有控制筒(7)，所述控制筒(7)的开口端的内面滑动连接有套接传动杆(9)，所述控制筒(7)的另一端内面固定连接有固定杆(8)，所述套接传动杆(9)的侧面固定连接有导向杆(10)，所述控制筒(7)的内面固定连接有导向板(11)，所述导向杆(10)的贯穿滑动套接在导向板(11)的外缘上，所述导向杆(10)位于导向板(11)和控制筒(7)内面之间的外缘上套接有复位弹簧(12)，所述固定杆(8)和导向杆(10)相对的侧面上均固定安装有控制导电...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘欣欣，郭浩严，
申请(专利权)人：西联机械技术无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：