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本实用新型公开了一种非接触式搬运装置，包括固定座，所述固定座的顶面转动安装有机械臂，所述机械臂的搬运端安装有搬运盘；本实用新型在对晶圆进行搬运时，采用气泵吸附的方式对晶圆进行夹取并搬运，整个过程中晶圆能够被无痕吸附盘所固定，防止了晶圆的掉落...
该专利属于西联机械技术（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西联机械技术（无锡）有限公司授权不得商用。

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