本实用新型专利技术公开了一种晶圆机械手臂快速定位装置，包括：底座、吸附圆盘避让孔、晶圆手臂对位导向槽边、晶圆置放台阶和干涉避让区，所述吸附圆盘避让孔同心设置在所述底座的中间，所述晶圆手臂对位导向槽边、所述晶圆置放台阶设置在所述底座的一面，所述干涉避让区设置在所述底座的另一面。通过上述方式，本实用新型专利技术晶圆机械手臂快速定位装置通过将吸附圆盘套在本装置的吸附圆盘避让孔实现本装置的圆心与吸附圆盘的圆心快速重和，并与晶圆手臂对位导向槽边、晶圆置放台阶配合使用，达到晶圆放置位置的圆心与吸附圆盘的圆心重和、取得动态旋转时的动平衡，结构新颖、方便实用，在晶圆机械手臂快速定位装置的普及上有着广泛的市场前景。市场前景。市场前景。
A rapid positioning device for wafer manipulator
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆机械手臂快速定位装置
[0001]本技术涉及自动化领域，特别是涉及一种晶圆机械手臂快速定位装置。
技术介绍
[0002]晶圆必须在吸附圆盘上取得同心点，才能在晶圆旋转时取的动态平衡，若晶圆未取得旋转动平衡，会导致晶圆破片或去胶效果不佳或清洁效果不佳。
[0003]针对晶圆取料手臂的调适问题，尤其是在真空吸附圆盘上的取/放动作、找晶圆与吸附圆盘上的同心点，现有技术大多采用人工调适，需要花费大量人工时间，通过人工目视、尝试误方式、取得旋转动态平衡，才能决定晶圆手臂的取放料位置。
技术实现思路
[0004]本技术主要解决的技术问题是提供一种晶圆机械手臂快速定位装置，通过将吸附圆盘套在本装置的吸附圆盘避让孔实现本装置的圆心与吸附圆盘的圆心快速重和，然后将机械手臂的牙叉伸出，牙叉的左右两端调适到不碰触晶圆手臂对位导向槽边，牙叉的高度低于吸附圆盘的水平面，牙叉的前进深度至少前缘端点超过吸附圆盘的一半位置，接着在晶圆置放台阶上放置晶圆，实现晶圆的圆心与本装置的圆心、吸附圆盘的圆心重和，牙叉举升水平超过吸附圆盘的水平面，此时机械手的取料、放料位置，设定为绝对位置，本装置可以快速取得机械手臂取料、放料的绝对位置，达到晶圆放置位置的圆心与吸附圆盘的圆心重和、取得动态旋转时的动平衡，结构新颖、方便实用，在晶圆机械手臂快速定位装置的普及上有着广泛的市场前景。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种晶圆机械手臂快速定位装置，包括：底座、吸附圆盘避让孔、晶圆手臂对位导向槽边、若干晶圆置放台阶和干涉避让区，所述吸附圆盘避让孔同心设置在所述底座的中间，所述晶圆手臂对位导向槽边、所述若干晶圆置放台阶设置在所述底座的一面，所述干涉避让区设置在所述底座的另一面，所述晶圆手臂对位导向槽边包括半圆槽和等距槽，所述半圆槽同心设置在所述吸附圆盘避让孔的外侧，所述等距槽连接所述半圆槽，所述若干晶圆置放台阶设置在所述晶圆手臂对位导向槽边外侧且均与所述吸附圆盘避让孔同心设置，所述若干晶圆置放台阶的直径向远离所述吸附圆盘避让孔的方向逐渐增大。
[0006]在本技术一个较佳实施例中，所述底座的横截面形状为圆形。
[0007]在本技术一个较佳实施例中，所述吸附圆盘避让孔为圆形。
[0008]在本技术一个较佳实施例中，所述晶圆手臂对位导向槽边的所述半圆槽的横截面形状为半圆形。
[0009]在本技术一个较佳实施例中，所述晶圆手臂对位导向槽边的所述等距槽的宽度一致。
[0010]本技术的有益效果是：本技术晶圆机械手臂快速定位装置通过将吸附圆盘套在本装置的吸附圆盘避让孔实现本装置的圆心与吸附圆盘的圆心快速重和，然后将机
械手臂的牙叉伸出，牙叉的左右两端调适到不碰触晶圆手臂对位导向槽边，牙叉的高度低于吸附圆盘的水平面，牙叉的前进深度至少前缘端点超过吸附圆盘的一半位置，接着在晶圆置放台阶上放置晶圆，实现晶圆的圆心与本装置的圆心、吸附圆盘的圆心重和，牙叉举升水平超过吸附圆盘的水平面，此时机械手的取料、放料位置，设定为绝对位置，本装置可以快速取得机械手臂取料、放料的绝对位置，达到晶圆放置位置的圆心与吸附圆盘的圆心重和、取得动态旋转时的动平衡，结构新颖、方便实用，在晶圆机械手臂快速定位装置的普及上有着广泛的市场前景。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
[0012]图1是本技术的晶圆机械手臂快速定位装置一较佳实施例的结构示意图；
[0013]图2是本技术的晶圆机械手臂快速定位装置一较佳实施例的俯视剖面结构示意图；
[0014]图3是本技术的晶圆机械手臂快速定位装置一较佳实施例的前视剖面结构示意图。
具体实施方式
[0015]下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]请参阅图1
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图3，本技术实施例包括：
[0017]一种晶圆机械手臂快速定位装置，包括：底座1、吸附圆盘避让孔2、晶圆手臂对位导向槽边3、若干晶圆置放台阶4和干涉避让区5。
[0018]所述吸附圆盘避让孔2同心设置在所述底座1的中间，所述晶圆手臂对位导向槽边3、所述若干晶圆置放台阶4设置在所述底座1的一面，所述干涉避让区5设置在所述底座1的另一面，设置所述干涉避让区5为了能水平放置，对于周围机构有干涉的区域，可以根据需求仿型捞除，因此外型上根据避让的形状，所述干涉避让区5可以有不同的外观出现，本装置不做特殊形状限定。所述晶圆手臂对位导向槽边3包括半圆槽301和等距槽302，所述半圆槽301同心设置在所述吸附圆盘避让孔2的外侧，所述等距槽302连接所述半圆槽301，所述若干晶圆置放台阶4设置在所述晶圆手臂对位导向槽边3外侧且均与所述吸附圆盘避让孔2同心设置，所述若干晶圆置放台阶4的直径向远离所述吸附圆盘避让孔2的方向逐渐增大。不同尺寸的晶圆可对应设置到不同尺寸的晶圆机械手臂快速定位装置上，此时所述若干晶圆置放台阶4的数量可仅设置一个；也可以将不同晶圆的尺寸整合到同一个晶圆机械手臂快速定位装置，即以不同对应尺寸的晶圆置放台阶4对应相应的晶圆的尺寸，尺寸越大的晶圆放置在越往上层的晶圆置放台阶4上。所述晶圆置放台阶4盛放的晶圆尺寸可以由4寸至
16寸不等，但不以此为限，本领域技术人员可根据需求等比例放大或缩小以适应不同尺寸的晶圆。
[0019]优选地，所述底座1的横截面形状为圆形。
[0020]优选地，所述吸附圆盘避让孔2为圆形。
[0021]优选地，所述晶圆手臂对位导向槽边3的所述半圆槽301的横截面形状为半圆形。
[0022]优选地，所述晶圆手臂对位导向槽边3的所述等距槽302的宽度一致。
[0023]本装置的使用方法为：首先，将吸附圆盘套在本装置的吸附圆盘避让孔2上以实现本装置的圆心与吸附圆盘的圆心快速重和，然后，将机械手臂的牙叉伸出，牙叉的左右两端调适到不碰触晶圆手臂对位导向槽边3，牙叉的高度低于吸附圆盘的水平面，牙叉的前进深度至少前缘端点超过吸附圆盘的一半位置，接着在晶圆置放台阶4上放置晶圆，实现晶圆的圆心与本装置的圆心、吸附圆盘的圆心重和，牙叉举升水平超过吸附圆盘的水平面，此时机械手的取料、放料位置，设定为绝对位置。吸附圆盘、机械手臂的牙叉等装置不是本装置的组成部分、不在本装置的保护范围内，仅是在本装置使用时与本装置配合使用的装置，因此本技术对于吸附圆盘、机械手臂的牙叉不做赘述。
[0024]本技术本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆机械手臂快速定位装置，其特征在于，包括：底座、吸附圆盘避让孔、晶圆手臂对位导向槽边、若干晶圆置放台阶和干涉避让区，所述吸附圆盘避让孔同心设置在所述底座的中间，所述晶圆手臂对位导向槽边、所述若干晶圆置放台阶设置在所述底座的一面，所述干涉避让区设置在所述底座的另一面，所述晶圆手臂对位导向槽边包括半圆槽和等距槽，所述半圆槽同心设置在所述吸附圆盘避让孔的外侧，所述等距槽连接所述半圆槽，所述若干晶圆置放台阶设置在所述晶圆手臂对位导向槽边外侧且均与所述吸附圆盘避让孔同心设置，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：余丞宏，
申请(专利权)人：苏州汇富弘自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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