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本实用新型公开了一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置,包括两个安装座,两个所述安装座相对的侧面之间固定连接有两个导向板,两个所述安装座相对的侧面之间中心位置转动连接有螺纹杆;本实用新型通过伺服电机和螺纹杆的配合使用能够带动晶圆在水平方向进行传...该专利属于西联机械技术(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西联机械技术(无锡)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种新型无水无氧的晶圆前端传输装置,包括两个安装座,两个所述安装座相对的侧面之间固定连接有两个导向板,两个所述安装座相对的侧面之间中心位置转动连接有螺纹杆;本实用新型通过伺服电机和螺纹杆的配合使用能够带动晶圆在水平方向进行传...