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本实用新型公开了一种无水无氧的全封闭式晶圆前端传输设备，属于半导体技术领域，其包括设备主体，所述设备主体内壁的左侧面与右侧面通过轴承转动连接有同一个调节螺纹杆，所述设备主体的右侧面与驱动电机的左端固定连接，所述驱动电机的输出端与调节螺纹杆的...
该专利属于西联机械技术（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西联机械技术（无锡）有限公司授权不得商用。

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