一种匀胶机用硅片传送臂制造技术

本实用新型专利技术是一种匀胶机用硅片传送臂，结构包括本体，所述本体由固定部和托举部组成，所述固定部与托举部固定连接，所述固定部的端部为圆弧形，且其表面设有三个呈正三角形排列的通孔，所述托举部由圆弧段一、连接段、圆弧段二依次相连组成，所述圆弧段一的两端内侧各设有一个凸起一，所述圆弧段二的两端内侧各设有一个凸起二，所述凸起一、凸起二的宽度均与连接段的宽度相同，所述位于连接段侧的凸起一、凸起二的底部均与连接段固定连接，本实用新型专利技术能够成功的避免了手臂与硅片大面积的接触，避免了产品良率损失。免了产品良率损失。免了产品良率损失。

【技术实现步骤摘要】
一种匀胶机用硅片传送臂


[0001]本技术涉及半导体制造用设备领域，特别是一种匀胶机用硅片传送臂。

技术介绍

[0002]匀胶机是用于硅片匀胶的主要设备。其主要功能就是实现在硅片正面和/或背面涂布设定好的光刻胶。此设备为全自动设备，因此需要一个机械手臂将硅片从硅片筐中取出，其工作原理为：将整体手臂安装在运行主轴上，主轴上的真空孔与手臂上的真空孔相对应，当手臂到达硅片下方，接触到硅片中心后，真空阀门打开。手臂将硅片吸住，进而运行主轴的带动下将硅片传送到下一位置。原机械手臂要靠真空吸附硅片，吸附硅片的位置是需要和硅片中心接触，这在实际工艺生产中就出现了问题：被接触表面划伤，特别是双面匀胶工艺中，需要一面涂布光刻胶之后，再次翻转硅片，实现另一面的光刻胶涂布。这期间之前被涂布的光刻胶就必须与手臂接触，光刻胶受损，进而导致中心区域的产品出现问题，影响产品的最终良率，损失大约1％
‑
4％。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种匀胶机用硅片传送臂，成功的避免了手臂与硅片大面积的接触，避免了产品良率损失。
[0004]为达到以上目的，提供以下技术方案：
[0005]一种匀胶机用硅片传送臂，结构包括本体，所述本体由固定部和托举部组成，所述固定部与托举部固定连接，所述固定部的端部为圆弧形，且其表面设有三个呈正三角形排列的通孔，所述托举部由圆弧段一、连接段、圆弧段二依次相连组成，所述圆弧段一的两端内侧各设有一个凸起一，所述圆弧段二的两端内侧各设有一个凸起二，所述凸起一、凸起二的宽度均与连接段的宽度相同，所述位于连接段侧的凸起一、凸起二的底部均与连接段固定连接。
[0006]优选地，所述固定部、圆弧段一、圆弧段二的上平面为同一平面a，所述凸起一、凸起二的上平面为同一平面b，所述平面b的高度小于平面a的高度。
[0007]优选地，所述圆弧段一与圆弧段二的中心为同一中心，且圆弧段一与圆弧段二的直径相同。
[0008]本技术的有益效果为：
[0009]本技术通过其结构设计，硅片与传送臂接触时，硅片的边缘四点面与传送臂接触，而且因为硅片边缘无产品，这样涂布光刻胶没有被破坏，不影响产品良率，而且本技术应用时不需要真空，避免了真空系统的故障问题，应用简便迅捷。
附图说明
[0010]图1为本技术的主视图；
[0011]图2本技术的俯视图；
[0012]图3为本技术的立体图；
[0013]图中所示附图标记为：1
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固定部、2
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圆弧段一、3
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连接段、4
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圆弧段二、5
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凸起一、6
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凸起二、7
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通孔、8
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平面a、9
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平面b。
具体实施方式
[0014]以下结合附图对本设计方案进行详细说明。
[0015]如图1～3所示，一种匀胶机用硅片传送臂，结构包括本体，其中本体采用陶瓷制成，本体由固定部1和托举部组成，固定部1用于与匀胶机的主轴相连，托举部用于托举传送硅片，固定部1与托举部固定连接，固定部1的端部为圆弧形，且其表面设有三个呈正三角形排列的通孔7，通孔7用于穿过螺栓连接主轴，托举部由圆弧段一2、连接段3、圆弧段二4依次相连组成，圆弧段一2与圆弧段二4的中心为同一中心，且圆弧段一2与圆弧段二4的直径相同，圆弧段一2的两端内侧各设有一个凸起一5，圆弧段二4的两端内侧各设有一个凸起二6，凸起一5、凸起二6的宽度均与连接段3的宽度相同，位于连接段3侧的凸起一5、凸起二6的底部均与连接段3固定连接。其中，固定部1、圆弧段一2、圆弧段二4的上平面为同一平面a8，凸起一5、凸起二6的上平面为同一平面b9，平面b9的高度小于平面a8的高度，这样凸起一5、凸起二6自然形成一个凹陷，用于限制硅片的位移，且凸起一5、凸起二6形成四点对硅片的外缘进行支撑，便于对硅片进行传输。
[0016]实施例
[0017]实际应用时通过螺栓连接通孔7，固定本体，使本体水平，此传送臂采用承载硅片边缘的形式(硅片边缘无产品)，将硅片从片筐中取出，置于凸起一5与凸起二6上表面，圆弧段一2与圆弧段二4能够对硅片的位移起到限制作用，送到下一位置。成功的避免了手臂与硅片大面积的接触。避免了产品良率损失。
[0018]本技术的上述实施例仅仅是为清楚地说明本技术所作的举例，而并非是对本技术的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术权利要求的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种匀胶机用硅片传送臂，其特征在于，结构包括本体，所述本体由固定部和托举部组成，所述固定部与托举部固定连接，所述固定部的端部为圆弧形，且其表面设有三个呈正三角形排列的通孔，所述托举部由圆弧段一、连接段、圆弧段二依次相连组成，所述圆弧段一的两端内侧各设有一个凸起一，所述圆弧段二的两端内侧各设有一个凸起二，所述凸起一、凸起二的宽度均与连接段的宽度相同，所述位于连接段侧的...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐会刚，王僖，
申请(专利权)人：吉林瑞能半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：