本发明专利技术公开了一种推舟机构密封装置及反应设备，推舟机构密封装置包括固定组件、密封组件、桨及限位组件，固定组件包括筒体与两个端盖，筒体的端部与端盖包覆于所述密封组件内，桨穿设于所述筒体、靠近炉门一侧的端盖以及炉门内，限位组件均包括多个限位体与抵持体，限位体位于筒体与桨的外壁之间，抵持体与限位体抵持，使限位体夹紧桨；反应设备包括推舟机构密封装置。本发明专利技术中，桨被限位组件固定于筒体内部，桨与炉门之间没有密封结构，对桨的加工要求低，降低了桨的制作成本，两个密封结构分别包覆筒体的端部，使固定组件、固定组件内部的桨、限位组件得到密封，并且炉门与密封结构连接，炉门盖住炉口后即可实现炉体的密封。封。封。
【技术实现步骤摘要】
推舟机构密封装置及反应设备
[0001]本专利技术涉及半导体及光伏材料加工
，尤其涉及一种推舟机构密封装置及反应设备。
技术介绍
[0002]半导体或光伏材料加工过程中，需通过推舟机构将基片送入反应炉或者将基片从反应炉内取出，反应过程中会向反应炉通入有毒、腐蚀等气体，反应炉的密封性能要求较高。相关技术中，通过推舟机构中的桨取送基片，桨上配置炉门，炉门盖住炉口，桨与炉门之间设置密封结构，密封结构直接作用在桨表面，桨表面应具有较高的粗糙度与平整度，由于桨制作成型后的表面比较粗糙，需经过精加工才能达到较高的表面要求，容易降低桨的结构强度，桨的加工要求高，导致桨的制作成本高，良品率低。
技术实现思路
[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种推舟机构密封装置，能够实现炉体的密封，且降低了桨的加工要求以及加工成本。
[0004]本专利技术还提出一种具有上述推舟机构密封装置的反应设备。
[0005]根据本专利技术的第一方面实施例的推舟机构密封装置，用于连接反应炉的炉门，并密封炉体，包括：
[0006]固定组件，包括筒体与两个端盖，两个所述端盖分别连接于所述筒体的两端；
[0007]密封组件，设有两个，两个所述密封组件分设于所述筒体的两端，所述筒体的端部与所述端盖包覆于所述密封组件内，其中一个所述密封组件与所述炉门连接；
[0008]桨，穿设于所述筒体、靠近所述炉门一侧的所述端盖以及所述炉门内；
[0009]限位组件，设有两个，且位于所述筒体的两端，每一所述限位组件均包括多个限位体与抵持体，所述限位体位于所述筒体与所述桨的外壁之间，并绕所述桨的周向间隔分布，所述筒体的内壁设有第一斜坡，所述限位体的外壁设有第二斜坡，所述第一斜坡与所述第二斜坡接触，并在所述桨的径向上朝所述筒体的外端倾斜，两个所述限位组件中的抵持体分别与两个所述端盖连接，所述抵持体穿设于所述端盖，所述抵持体朝向所述限位体的一端与所述限位体抵持，以使所述限位体夹紧所述桨。
[0010]根据本专利技术实施例的推舟机构密封装置，至少具有如下有益效果：
[0011]本专利技术实施例中的推舟机构密封装置，桨穿设于筒体内，并被限位组件固定于筒体内部，桨与炉门之间没有密封结构，对桨的加工要求低，降低了桨的制作成本，两个密封结构分别包覆筒体的端部，使固定组件以及位于固定组件内部的桨、限位组件得到密封，并且炉门与密封结构连接，炉门盖住炉口后即可实现炉体的密封。
[0012]根据本专利技术的一些实施例，所述端盖具有通孔，所述限位体朝向端盖的一端设有操作部，所述通孔用于供工具穿过并与所述操作部连接。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，所述限位组件还包括多个限位柱，多个所述限位柱沿
所述桨的周向间隔分布，所述限位体朝向所述端盖的一端设有限位孔，每一所述限位柱均穿设于所述端盖，并且一端插入所述限位孔内。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，至少其中一个所述限位组件的所述限位体包括限位部与抵持部，所述抵持部连接于所述限位部朝向所述桨的一侧，位于所述抵持部朝向所述端盖的一端，所述抵持部沿所述桨的长度方向与所述桨抵持。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，所述限位组件还包括限位柄，所述桨的内壁连接有限位杆，所述限位柄的一端与所述限位体或所述筒体的内壁连接，所述限位柄的另一端朝靠近所述端盖的方向抵持所述限位杆，所述限位柄能够沿所述桨的长度方向移动。
[0016]根据本专利技术的一些实施例，所述限位组件还包括限位板与连接件，所述限位板与所述限位体朝向所述端盖的一端抵持，所述限位柄穿设于所述限位板，所述连接件螺接于所述限位柄朝向所述端盖的一端。
[0017]根据本专利技术的一些实施例，所述密封组件包括第一端座、第二端座与密封件，所述第一端座套设于所述筒体的外部，并连接于所述端盖的外缘，所述第二端座与所述第一端座对接，并遮挡所述端盖，所述密封件夹持于所述第一端座与所述第二端座的对接处。
[0018]根据本专利技术的一些实施例，所述密封组件包括锁紧件与两个夹持件，两个所述夹持件分别连接于所述第一端座与所述第二端座的边缘，且朝相反的方向抵持第一端座与所述第二端座，所述锁紧件穿设于两个所述夹持件内，并能够锁紧所述第一端座与所述第二端座。
[0019]根据本专利技术的一些实施例，还包括柔性管，所述柔性管的一端与所述炉门连接，所述柔性管的另一端与其中一个所述密封组件连接。
[0020]根据本专利技术的第二方面实施例的反应设备，包括：
[0021]第一方面实施例的推舟机构密封装置；
[0022]反应炉，包括炉体与炉门，所述炉门用于开闭所述炉体，所述炉门与所述密封组件连接。
[0023]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0024]下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明，其中：
[0025]图1为本专利技术推舟机构密封装置一个实施例的结构示意图；
[0026]图2为图1中推舟机构密封装置的剖视图；
[0027]图3为图2中A部分的放大图；
[0028]图4为图1中端盖的端面示意图；
[0029]图5为图1中限位组件一个实施例的结构示意图；
[0030]图6为图2中B部分的放大图；
[0031]图7为图6中限位体的放大图。
[0032]附图标记：
[0033]炉门100；炉体200；固定组件300，筒体310，第一斜坡311，端盖320，通孔321；密封组件400，第一端座410，凸出部411，第二端座420，密封件430，锁紧件440，夹持件450；桨
500，限位杆510；限位组件600，限位体610，第二斜坡611，限位孔612，限位部613，抵持部614，抵持体620，限位柱630，限位柄640，限位板650，连接件660；柔性管700。
具体实施方式
[0034]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0035]在本专利技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0036]在本专利技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.推舟机构密封装置，用于连接反应炉的炉门，并密封炉体，其特征在于，包括：固定组件，包括筒体与两个端盖，两个所述端盖分别连接于所述筒体的两端；密封组件，设有两个，两个所述密封组件分设于所述筒体的两端，所述筒体的端部与所述端盖包覆于所述密封组件内，其中一个所述密封组件与所述炉门连接；桨，穿设于所述筒体、靠近所述炉门一侧的所述端盖以及所述炉门内；限位组件，设有两个，且位于所述筒体的两端，每一所述限位组件均包括多个限位体与抵持体，所述限位体位于所述筒体与所述桨的外壁之间，并绕所述桨的周向间隔分布，所述筒体的内壁设有第一斜坡，所述限位体的外壁设有第二斜坡，所述第一斜坡与所述第二斜坡接触，并在所述桨的径向上朝所述筒体的外端倾斜，两个所述限位组件中的抵持体分别与两个所述端盖连接，所述抵持体穿设于所述端盖，所述抵持体朝向所述限位体的一端与所述限位体抵持，以使所述限位体夹紧所述桨。2.根据权利要求1所述的推舟机构密封装置，其特征在于，所述端盖具有通孔，所述限位体朝向端盖的一端设有操作部，所述通孔用于供工具穿过并与所述操作部连接。3.根据权利要求1所述的推舟机构密封装置，其特征在于，所述限位组件还包括多个限位柱，多个所述限位柱沿所述桨的周向间隔分布，所述限位体朝向所述端盖的一端设有限位孔，每一所述限位柱均穿设于所述端盖，并且一端插入所述限位孔内。4.根据权利要求1所述的推舟机构密封装置，其特征在于，至少其中一个所述限位组件的所述限位体包括限位部与抵持部，所述抵持部连接于所述限位部朝向所述桨的一侧，位于所述抵持部朝向所述端盖的一端，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，彭倩，罗伟斌，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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