一种三轴传输石英舟的传输机构制造技术

本实用新型专利技术公开一种三轴传输石英舟的传输机构，包括输送单元、升降单元以及机架，升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备，第一升降动力设备安装于机架上并带动第一过渡支架升降，输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二水平输送设备，第一水平输送设备安装于第一过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第一水平方向移动，第二升降动力设备安装于第一过渡支架上并带动第二过渡支架升降，第二水平输送设备安装于第二过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第二水平方向移动。本实用新型专利技术通过将第一水平输送设备和第二水平输送设备各自设置，传输机构的尺寸不会过大，而且承载式传输保证了石英舟传输的可靠性。舟传输的可靠性。舟传输的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种三轴传输石英舟的传输机构


[0001]本技术属于石英舟传输领域，具体涉及一种三轴传输石英舟的传输机构。

技术介绍

[0002]在太阳能电池制程工艺中，需要对硅片进行扩散、退火以及热氧等处理，需要通过石英舟承载硅片在扩散设备、退火设备、热氧设备等工艺设备中进行工艺处理。处理前和处理后的硅片一般被存放在花篮中，因此还需要通过石英舟承载硅片在工艺设备与花篮之间转运。由于各个工艺设备和花篮之间具有高度差，石英舟通常需要被传输到不同的高度。授权公开号为CN207967028U的中国技术专利公开了一种石英舟传输系统，包括插片机、若干扩散炉、检测装置和机械手，上述机械手设置在上述插片机和若干上述扩散炉之间，上述机械手与上述扩散炉之间设置有第一缓存台和第二缓存台，上述检测装置与上述扩散炉相对应设置，上述检测装置包括滑台、检测单元和处理单元，上述技术中通过机械手将石英舟抓取到扩散炉口的滑台上，机械手适合抓取体积和重量较小的部件，石英舟尺寸和重量较大，通过机械手抓取石英舟存在不可靠性。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种三轴传输石英舟的传输机构，可以对石英舟进行稳定可靠的传输。
[0004]为实现上述目的，本技术提供以下的技术方案：一种三轴传输石英舟的传输机构，包括用于承载和带动石英舟组件水平移动的输送单元、用于带动所述输送单元升降的升降单元以及用于安装所述升降单元的机架，所述升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备，所述第一升降动力设备安装于所述机架上并带动所述第一过渡支架升降，所述输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二水平输送设备，所述第一水平输送设备安装于所述第一过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第一水平方向移动，所述第二升降动力设备安装于所述第一过渡支架上并带动所述第二过渡支架升降，所述第二水平输送设备安装于所述第二过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第二水平方向移动，所述第一水平方向与所述第二水平方向非平行设置。
[0005]本技术的其中一个实施例中，所述第一水平输送设备设置为两个，两个所述第一水平输送设备并列输送同一石英舟组件，所述第二水平输送设备设于所述两个第一水平输送设备之间。
[0006]本技术的其中一个实施例中，所述第二水平输送设备设置为两个，两个所述第二水平输送设备并列输送同一石英舟组件。
[0007]本技术的其中一个实施例中，所述第一升降动力设备为电机，所述电机通过丝杆螺母组件带动所述第一过渡支架升降。
[0008]本技术的其中一个实施例中，所述第一过渡支架通过并列设置的两个导轨组件连接所述机架，所述升降单元包括设于所述两个导轨组件之间的一个所述第一升降动力
设备。
[0009]本技术的其中一个实施例中，所述第二升降动力设备为气缸。
[0010]本技术的其中一个实施例中，所述输送单元包括并列支撑所述第二水平输送设备的两个所述第二升降动力设备。
[0011]本技术的其中一个实施例中，所述第一水平输送设备和所述第二水平输送设备均为皮带输送设备。
[0012]本技术的其中一个实施例中，所述输送单元还包括设于所述第二水平输送设备的输出侧的限位阻挡部件。
[0013]本技术的其中一个实施例中，所述石英舟组件包括石英舟和用于承载所述石英舟的舟托。
[0014]由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
[0015]1)本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构，通过将第一水平输送设备和第二水平输送设备各自设置，传输机构的尺寸不会过大，而且承载式传输保证了石英舟传输的可靠性；
[0016]2)本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构，第一水平输送设备包括并列的两个第一水平输送设备，第二水平输送设备包括并列的两个第二水平输送设备，适合较大尺寸石英舟的输送；
[0017]3)本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构，第一升降动力设备采用电机，电机精准度高、适应性好、稳定性好，适合于提升输送单元和石英舟组件；
[0018]4)本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构，通过设置两个导轨组件，提高了石英舟提升稳定性；
[0019]5)本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构，第二升降动力设备为气缸，其体积较小，适合于设置在第一过渡支架上；
[0020]6)本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构，输送单元包括两个第二升降动力设备，可以更加平稳可靠的顶升第二过渡支架；
[0021]7)本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构，通过设置第一输送皮带和第二输送皮带，适合于石英舟的输送；
[0022]8)本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构，第二水平输送设备的输出侧的阻挡装置，可将石英舟限定在设定的位置处；
[0023]9)本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构，石英舟组件包括石英舟和舟托，舟托为平板结构，更适合与输送装置接触。
附图说明
[0024]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0025]图1为本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构的结构示意图；
[0026]图2为图1中A处的局部放大图；
[0027]图3为本技术公开的三轴传输石英舟的传输机构的工作示意图。
[0028]其中，1、石英舟组件；11、石英舟；12、舟托；2、机架；31、第一过渡支架；32、第一升
降动力设备；33、丝杆螺母组件；34、导轨组件；41、第一水平输送设备；42、第二过渡支架；43、第二升降动力设备；44、第二水平输送设备；45、阻挡部件；5、硅片。
具体实施方式
[0029]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。
[0030]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。在本公开中，术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于叙述本公开各部件或元件结构关系而确定的关系词，并非特指本公开中任一部件或元件，不能理解为对本公开的限制。本公开中，术语如“固接”、“相连”、“连接”等应做广义理解，表示可以是固定连接,也可以是一体地连接或可拆卸连接；可以是直接相连，也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三轴传输石英舟的传输机构，包括用于承载和带动石英舟组件水平移动的输送单元、用于带动所述输送单元升降的升降单元以及用于安装所述升降单元的机架，所述升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备，所述第一升降动力设备安装于所述机架上并带动所述第一过渡支架升降，其特征在于，所述输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二水平输送设备，所述第一水平输送设备安装于所述第一过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第一水平方向移动，所述第二升降动力设备安装于所述第一过渡支架上并带动所述第二过渡支架升降，所述第二水平输送设备安装于所述第二过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第二水平方向移动，所述第一水平方向与所述第二水平方向非平行设置。2.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第一水平输送设备设置为两个，两个所述第一水平输送设备并列输送同一石英舟组件，所述第二水平输送设备设于两个所述第一水平输送设备之间。3.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第二水平输送设备设置为两个，两个所述第二水平输送...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，梁齐辉，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：