一种三轴传输石英舟的传输机构制造技术

本实用新型专利技术公开一种三轴传输石英舟的传输机构，包括输送单元、升降单元以及机架，升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备，第一升降动力设备安装于机架上并带动第一过渡支架升降，输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二水平输送设备，第一水平输送设备安装于第一过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第一水平方向移动，第二升降动力设备安装于第一过渡支架上并带动第二过渡支架升降，第二水平输送设备安装于第二过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第二水平方向移动。本实用新型专利技术通过将第一水平输送设备和第二水平输送设备各自设置，传输机构的尺寸不会过大，而且承载式传输保证了石英舟传输的可靠性。舟传输的可靠性。舟传输的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种三轴传输石英舟的传输机构


[0001]本技术属于石英舟传输领域，具体涉及一种三轴传输石英舟的传输机构。

技术介绍

[0002]在太阳能电池制程工艺中，需要对硅片进行扩散、退火以及热氧等处理，需要通过石英舟承载硅片在扩散设备、退火设备、热氧设备等工艺设备中进行工艺处理。处理前和处理后的硅片一般被存放在花篮中，因此还需要通过石英舟承载硅片在工艺设备与花篮之间转运。由于各个工艺设备和花篮之间具有高度差，石英舟通常需要被传输到不同的高度。授权公开号为CN207967028U的中国技术专利公开了一种石英舟传输系统，包括插片机、若干扩散炉、检测装置和机械手，上述机械手设置在上述插片机和若干上述扩散炉之间，上述机械手与上述扩散炉之间设置有第一缓存台和第二缓存台，上述检测装置与上述扩散炉相对应设置，上述检测装置包括滑台、检测单元和处理单元，上述技术中通过机械手将石英舟抓取到扩散炉口的滑台上，机械手适合抓取体积和重量较小的部件，石英舟尺寸和重量较大，通过机械手抓取石英舟存在不可靠性。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种三轴传输石英本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三轴传输石英舟的传输机构，包括用于承载和带动石英舟组件水平移动的输送单元、用于带动所述输送单元升降的升降单元以及用于安装所述升降单元的机架，所述升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备，所述第一升降动力设备安装于所述机架上并带动所述第一过渡支架升降，其特征在于，所述输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二水平输送设备，所述第一水平输送设备安装于所述第一过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第一水平方向移动，所述第二升降动力设备安装于所述第一过渡支架上并带动所述第二过渡支架升降，所述第二水平输送设备安装于所述第二过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第二水平方向移动，所述第一水平方向与所述第二水平方向非平行设置。2.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第一水平输送设备设置为两个，两个所述第一水平输送设备并列输送同一石英舟组件，所述第二水平输送设备设于两个所述第一水平输送设备之间。3.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第二水平输送设备设置为两个，两个所述第二水平输送...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，梁齐辉，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：