下载一种三轴传输石英舟的传输机构的技术资料

文档序号:33773145

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本实用新型公开一种三轴传输石英舟的传输机构,包括输送单元、升降单元以及机架,升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备,第一升降动力设备安装于机架上并带动第一过渡支架升降,输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二...
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