一种晶圆气浮式镀铜用网格盘的载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆气浮式镀铜用网格盘的载具，包括载物台，所述载物台底部四角位置均固定连接有液压杆，所述载物台底部凹槽内固定连接有两个气浮机，所述载物台顶部前端位置固定连接有第一限位板。本实用新型专利技术中，进气口外径设置有螺纹圈，螺纹圈在安装进气管道时较为方便，也避免了漏气的现象发生，通过进气口对气浮机内部进行输送气体，然后使车体稍微悬浮，气浮机可以悬浮起上吨的货物，运输的货物批量较大，悬浮起以后，工人直接推动车体即可，悬浮以后可以大大减少车体与地面的接触，推起来更为轻便，该设备是两用车体，使用范围较广，可以大大节省人工使用，值得大力推广。值得大力推广。值得大力推广。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆气浮式镀铜用网格盘的载具


[0001]本技术涉及载具的
，尤其涉及一种晶圆气浮式镀铜用网格盘的载具。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。
[0003]中国专利文献202022673149.X公开一种载具，其包括基座、工件安装座以及随动器。基座具有凹槽。工件安装座沿着第一方向滑动设置于凹槽。随动器沿着第一方向设置于工件安装座的一侧。通过随动器与组装设备的定位组件配合，承载工件的工作安装座能够调整其在第一方向上的位置，以使组装过程的定位精确度提高。如此一来，便能够有效地提高产品的质量。该专利不具备气浮式运输功能，运输货量较少，使用范围较小。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆气浮式镀铜用网格盘的载具，包括载物台(1)，其特征在于：所述载物台(1)底部四角位置均固定连接有液压杆(7)，所述载物台(1)底部凹槽内固定连接有两个气浮机(17)，两个所述气浮机(17)前端中间位置贯穿并固定连接有进气口(16)，所述载物台(1)顶部前端位置固定连接有第一限位板(2)，所述第一限位板(2)左右两侧中间位置均贯穿并螺纹连接有第一螺栓(3)，所述载物台(1)顶部后端位置固定连接有第二限位板(9)，所述第二限位板(9)左右两侧中间位置均贯穿并螺纹连接有第二螺栓(10)，所述载物台(1)顶部右侧位置固定连接有挡板(13)，所述挡板(13)右侧顶部位置固定连接有推把(14)，所述推把(14)外径中间位置固定连接有护垫(15)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆气浮式镀铜用网格盘的载具，其特征在于：所述液压杆(7)外径设置有减震弹簧(8)。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷超，
申请(专利权)人：常熟市兆恒众力精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：