本发明公开了一种用于半导体晶圆转移的高强固定吸盘，涉及半导体加工设备领域。本发明通过多个阵列式分布的吸嘴对晶圆进行吸附转移，使得晶圆吸附转移时其表面中部和外圈均能受到不同位置的吸嘴的吸附作用，从而防止晶圆外圈在自身重力作用下向下弯曲变形...

本发明公开了一种真空腔室及使用真空腔室的半导体处理设备，涉及半导体处理设备领域。本发明中当外腔室密封门转动开闭时，能驱动内腔室密封门在内腔室的外表面沿圆周方向滑动，使得内腔室密封门与外腔室密封门同步开闭；通过将内腔室密封门沿内腔室外表面...

本发明公开了一种漏液检测装置，包括漏液检测模块、信号处理模块和报警模块，所述漏液检测模块包括漏液传感器和连接导线，所述连接导线接入信号处理模块，所述漏液传感器为离子感应器，所述信号处理模块包括第一信号处理电路，包括感应器电源、控制电路、...

本实用新型公开了一种漏液传感器壳体，包括：底壳和面板，所述底壳与面板一起围出所述漏液传感器的控制电路安装腔体，所述面板中间设置有指示灯，所述指示灯正下方的底壳侧壁上设置导线引出口，所述导线引出口上安装有防水套，所述指示灯正上方的底壳侧壁...

本实用新型公开了一种漏液传感器支架，包括：底板和压板，所述底板为磁屏蔽板，所述底板和压板之间铰接，铰接位置安装有弹簧；所述底板背后安装有摩擦垫，所述摩擦垫中间设置多个镂空的通孔，每个通孔内都安装有磁吸片，所述底板正面对称安装两块耳板，所...

本实用新型提供一种硅片周转花篮的装配工装，包括：转台、工装底板、左定位板和右定位板，所述工装底板转动设置在转台上，所述右定位板固定设置在工装底板的右端，所述左定位板滑动设置在工装底板的左端，所述工装底板上还设置有若干对齿杆定位支撑块，位...

本实用新型属于晶圆加工技术领域，尤其为晶圆夹持用钛合金固定爪，针对常规的晶圆夹持用固定爪不便于进行拆装，使得不便于进行更换的问题，现提出如下方案，其包括固定爪本体和安装座，固定爪本体的底部固定安装有两个连接板，安装座的顶部开设有两个连接...

本申请公开了一种晶圆盘夹具，涉及晶圆盘加工技术领域，包括：输送组件、驱动组件以及夹座；输送组件包含底架和转动式装配于底架上的夹持件；驱动组件安装于输送组件侧方位置，包含驱动机构和底盘，所述驱动机构用于驱动底盘进入底架上的工位；夹座可拆卸...

本发明涉及齿轮生产设备领域，具体的公开了一种塑料齿轮生产用检测装置，包括底座，所述底座的顶部开设有安装槽，安装槽的内部一端转动安装有连接板，连接板的侧面两端均安装有套杆，底座的上方安装有检测板，检测板的一端滑动安装在套杆上，检测板的顶部...

本申请提供了一种晶圆夹持用钛合金固定爪，包括设备支架，包括有两组侧支撑架和上支撑架；以及水平横移组件，设置在晶圆加工生产线的设备支架内部；抓取组件下方设置有抓取组件，通过抓取组件来对需要进行加工的晶圆组件进行抓取，其中，驱动块一侧固定安...

本实用新型属于晶圆技术领域，尤其为晶圆气浮式镀铜用网格盘，包括套筒、固定环一、固定环二、固定环三和固定环四，所述套筒、固定环一、固定环二、固定环三和固定环四均为同轴设置，所述固定环一、固定环二、固定环三和固定环四从内之外依次设置，所述固...

本实用新型公开了晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置，包括箱体，所述箱体内壁底部位置固定连接有收集盒滑槽，所述收集盒滑槽的内部滑动连接有收集盒且收集盒一端贯穿箱体，所述收集盒前端中间位置固定连接有把手。本实用新型中，固定以后，滑槽内部的...

本实用新型公开了一种用于产品清洗的洁净度辅助检测装置，包括支撑底座，所述支撑底座的顶端固定连接有三个弹簧，所述弹簧的内部滑动连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有挡块，所述立柱的外部滑动连接有操作台，所述操作台内顶壁设置有电机，所述电机的...

本实用新型公开了一种高精度清洗设备用水量控制装置，包括桌面，所述桌面底端中部固定连接有第一电机，所述第一电机驱动端螺纹连接在活塞杆内部，所述活塞杆顶端贯穿桌面中部并固定连接在活塞环底端，所述活塞杆垂直投影面为矩形，所述活塞环外径滑动连接...

本实用新型公开了一种用于高精度清洗设备的上料装置，包括上料架，所述上料架的右端前后侧的中部分别固定连接在工作台前后端的中部，所述上料架的左端中部设置有传送机构，所述上料架前后侧的下端中部左侧均固定连接在端板的一端，所述端板的另一端分别固...

本实用新型公开了一种晶圆气浮式镀铜用网格盘的载具，包括载物台，所述载物台底部四角位置均固定连接有液压杆，所述载物台底部凹槽内固定连接有两个气浮机，所述载物台顶部前端位置固定连接有第一限位板。本实用新型中，进气口外径设置有螺纹圈，螺纹圈在...

本实用新型公开了晶圆气浮式镀铜用网格盘的加工装置，包括操作台，所述操作台前端右侧位置固定连接有控制面板，中间三个所述凹槽上均滑动连接有限位卡扣，所述操作台顶部左右两侧位置均固定连接有滑杆，所述滑槽上均滑动连接有滑动块，两个所述滑动块顶部...

本实用新型公开了晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置，包括操作台，所述操作台前端左侧位置固定连接有控制面板，所述操作台顶部前端位置固定连接有滑动柱，所述滑动柱前后两端位置均设置有滑槽，所述滑块顶部中心位置固定连接有固定杆，所述操作台顶部...

本实用新型公开了晶圆传动防静电塑料齿轮加工用模具，包括底座，四个所述支撑腿顶端固定连接有顶座，所述顶座底部中间靠两侧位置均固定连接有限位块，所述顶座顶部中间位置固定连接有液压缸。本实用新型中，滑杆外径设置有复位弹簧，加工完成以后可以通过...

本实用新型公开了一种高精度清洗设备用辅助工装，包括底座，所述底座的顶端固定连接护筒，所述护筒的内部固定连接有限位块，所述限位块的顶端滑动连接有升降导柱，所述升降导柱的外部固定连接有条形齿块，所述护筒的右端固定连接有固定板，所述电机的输出...